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기판 이송장치에 있어서, 이송되는 기판상에 적어도 하나 이상 부착되며, 상기 기판에 가해지는 충격량을 센싱하는 센서;상기 센서와 무선통신을 통해 상기 충격량의 데이터를 수신받는 수신부; 및상기 수신부로부터 상기 충격량 데이터를 전달받아 처리하고 이를 사용자에 현시하는 단말기;를 포함하는 기판이송장치 진단시스템
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제 1항에 있어서, 상기 센서는, 상기 기판에 가해지는 충격량을 센싱하는 가속도 측정부;상기 가속도 측정부의 측정치를 전달받고 이를 데이터로 처리하는 마이크로 컨트롤러 유닛(Micro Controller Unit);상기 마이크로 컨트롤러 유닛의 테이터를 전송받아 이를 무선으로 송신하기 위한 무선통신 인터페이스부; 및상기 무선통신 인터페이스부를 통해 나온 데이터를 상기 수신부에 전송하는 안테나;를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템
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제 2항에 있어서, 상기 센서는, 상기 가속도 측정부, 마이크로 컨트롤러 유닛, 무선통신 인터페이스부 및 안테나에 전원을 공급하는 전원공급부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템
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제 2항에 있어서, 상기 센서는, 상기 마이크로 컨트롤러 유닛에 소정의 주기적인 클럭 신호를 송신하는 클럭신호 발생부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템
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제 1항에 있어서, 상기 센서는, 가로, 세로 및 높이가 각각 50mm, 50mm 및 10mm인 직육면체인 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템
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제 1항에 있어서, 상기 센서는, 그 상부에 작동여부를 나타내는 적어도 하나 이상의 LED를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템
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제 1항에 있어서, 상기 센서는, 상기 기판 상부의 모서리마다 부착되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템
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제 1항에 있어서, 상기 무선통신은 지그비(Zigbee)통신, 블루투스(Blutooth) 통신 또는 와이파이(Wi-Fi)통신 중에서 선택되는 어느 하나의 통신방법을 이용하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템
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제 1항에 있어서, 상기 단말기는, 상기 충격량 데이터를 사용자에 현시할 수 있는 디스플레이부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템
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제 1항에 있어서, 상기 단말기는, 컴퓨터(Computer), 노트북(Note-Book), 타블렛 PC 또는 스마트폰(Smart Phone) 중에서 선택되는 어느 하나의 기기인 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템
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제 1항에 있어서, 상기 단말기는, 상기 충격량 데이터를 처리하고, 사용자에 이를 현시하기 위한 알고리즘부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템
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제 10항에 있어서, 상기 알고리즘부는, 상기 수신부와 시리얼(Serial) 통신으로 데이터를 수신하기 위한 인터페이스부;상기 수신부로부터 수신되는 데이터를 처리하고 관리하기 위한 데이터관리부; 및상기 데이터관리부의 데이터를 사용자에 현시하는 데이터 디스플레이부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템
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제 1항에 있어서, 상기 충격량 데이터는, 상기 기판의 x축, y축 및 z축의 가속도 값을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템
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제 1항에 있어서, 상기 충격량 데이터는, 상기 센서의 전원공급부의 전압치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템
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제 1항에 있어서, 상기 기판은 FDP(Flat Display Panel)인 것을 특징으로 하는 기판이송장치 진단시스템
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(a) 기판에 센서를 부착하는 단계;(b) 기판이송장치를 구동하여 상기 기판을 이송하는 단계;(c) 상기 센서에서 기판에 작용하는 충격량을 센싱하는 단계;(d) 상기 센서에서 센싱된 충격량 데이터를 수신부로 송신하는 단계;(e) 상기 수신부로부터 단말기에 상기 충격량 데이터를 전달하는 단계; 및 (f) 상기 단말기에서 상기 충격량 데이터를 처리하고, 이를 사용자에 디스플레이하는 단계;를 포함하는 기판이송장치의 진단방법
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제 16항에 있어서, 상기 (d)단계는, 상기 센서가 지그비(Zigbee)통신, 블루투스(Blutooth) 통신 또는 와이파이(Wi-Fi)통신 중에서 선택되는 어느 하나의 무선통신방법을 이용하여 상기 충격량 데이터를 수신부에 송신하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치의 진단방법
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제 16항에 있어서, 상기 (f)단계는 상기 단말기가 포함하는 알고리즘부에서 수행되되, 상기 알고리즘부가 포함하는 인터페이스부에서 상기 수신부와 시리얼(Serial) 통신으로 데이터를 수신하는 단계;상기 알고리즘부가 포함하는 데이터관리부에서 상기 데이터를 처리하고 관리하는 단계; 및 상기 알고리즘부가 포함하는 데이터 디스플레이부에서 상기 상기 데이터를 사용자에 현시하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치의 진단방법
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