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기판;상기 기판 위에 위치하며, 광 흡수용 제1 진성층을 포함하는 제1 광전 변환부; 및상기 제1 광전 변환부를 투과한 빛을 상기 제1 광전 변환부로 반사하는 후면 반사층을 포함하며,상기 후면 반사층은 n형 불순물 또는 p형 불순물이 도핑된 제1 후면 반사막을 구비하며, 상기 제1 후면 반사막은 상기 제1 광전 변환부의 제1 진성층과 직접 접촉하는 박막 태양전지
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제1항에서,상기 제1 후면 반사막은 700㎚ 이상의 파장을 갖는 태양광 성분에 대하여 400 cm-1 이하의 광 흡수계수를 갖는 물질로 이루어지는 박막 태양전지
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제1항에서,상기 제1 후면 반사막은 800㎚의 파장에서 1
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제3항에서,상기 제1 진성층은 800㎚의 파장에서 3 내지 5의 굴절률을 갖는 물질로 이루어지는 박막 태양전지
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5
제4항에서,상기 제1 진성층은 수소화된 비정질 실리콘(a-Si: H) 또는 수소화된 미세 결정 실리콘(μc-Si: H)을 포함하는 박막 태양전지
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6
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에서,상기 제1 후면 반사막은 n형 불순물 또는 p형 불순물이 도핑된 미세 결정 실리콘 산화물(μc-SiOx: H), 미세 결정 실리콘 질화물(μc-SiNx: H) 및 미세 결정 실리콘 산화질화물(μc-SiOxNy: H) 중 하나로 이루어지는 박막 태양전지
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제6항에서,상기 후면 반사층은 700㎚ 이상의 파장을 갖는 태양광 성분에 대하여 400 cm-1 이상의 광 흡수계수를 갖는 물질로 이루어진 제2 후면 반사막을 더 포함하는 박막 태양전지
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8
제7항에서,상기 제2 후면 반사막은 상기 제1 후면 반사막에 비해 전기 전도도가 높은 박막 태양전지
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제8항에서,상기 제2 후면 반사막은 AZO(Aluminum zinc-oxide) 또는 BZO(Boron zinc-oxide)로 이루어지는 박막 태양전지
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10
제9항에서,상기 제2 후면 반사막은 상기 제1 후면 반사막의 후면에 위치하는 박막 태양전지
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제6항에서,상기 광전 변환부는 상기 제1 광전 변환부와 상기 기판 사이에 위치하는 제2 광전 변환부를 더 포함하며, 상기 제2 광전 변환부는 제2 진성층을 포함하는 박막 태양전지
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제11항에서,상기 제1 광전 변환부와 제2 광전 변환부 사이에 중간 반사층이 위치하는 박막 태양전지
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제12항에서,상기 중간 반사층은 상기 제1 진성층과 직접 접촉하는 제1 중간 반사막을 포함하며, 상기 제1 중간 반사막은 n형 불순물 또는 p형 불순물이 도핑된 미세 결정 실리콘 산화물(μc-SiOx: H), 미세 결정 실리콘 질화물(μc-SiNx: H) 및 미세 결정 실리콘 산화질화물(μc-SiOxNy: H) 중 하나로 이루어지는 박막 태양전지
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제13항에서,상기 중간 반사층은 상기 제1 중간 반사막 및 상기 제2 진성층과 각각 접촉하는 제2 중간 반사막을 더 포함하며, 상기 제2 중간 반사막은 n형 불순물 또는 p형 불순물이 도핑된 미세 결정 실리콘 산화물(μc-SiOx: H), 미세 결정 실리콘 질화물(μc-SiNx: H) 및 미세 결정 실리콘 산화질화물(μc-SiOxNy: H) 중 하나로 이루어지는 박막 태양전지
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15
제12항에서,상기 중간 반사층은 상기 제1 광전 변환부의 p형 도핑층과 직접 접촉하는 제1 중간 반사막을 포함하며, 상기 제1 중간 반사막은 AZO(Aluminum zinc-oxide) 또는 BZO(Boron zinc-oxide)로 이루어지는 박막 태양전지
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제15항에서,상기 중간 반사층은 상기 제1 중간 반사막 및 상기 제2 진성층과 각각 접촉하는 제2 중간 반사막을 더 포함하며, 상기 제2 중간 반사막은 n형 불순물 또는 p형 불순물이 도핑된 미세 결정 실리콘 산화물(μc-SiOx: H), 미세 결정 실리콘 질화물(μc-SiNx: H) 및 미세 결정 실리콘 산화질화물(μc-SiOxNy: H) 중 하나로 이루어지는 박막 태양전지
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제11항에서,상기 광전 변환부는 상기 제2 광전 변환부와 상기 기판 사이에 위치하는 제3 광전 변환부를 더 포함하는 박막 태양전지
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제17항에서,상기 제1 광전 변환부 내지 제3 광전 변환부의 사이에는 적어도 하나의 중간 반사층이 위치하는 박막 태양전지
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제18항에서,상기 적어도 하나의 중간 반사층은 n형 불순물 또는 p형 불순물이 도핑된 미세 결정 실리콘 산화물(μc-SiOx: H), 미세 결정 실리콘 질화물(μc-SiNx: H) 및 미세 결정 실리콘 산화질화물(μc-SiOxNy: H) 중 하나로 이루어지거나, AZO(Aluminum zinc-oxide) 또는 BZO(Boron zinc-oxide)로 이루어진 제1 중간 반사막을 포함하는 박막 태양전지
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제19항에서,상기 적어도 하나의 중간 반사층은 n형 불순물 또는 p형 불순물이 도핑된 미세 결정 실리콘 산화물(μc-SiOx: H), 미세 결정 실리콘 질화물(μc-SiNx: H) 및 미세 결정 실리콘 산화질화물(μc-SiOxNy: H) 중 하나로 이루어진 제2 중간 반사막을 더 포함하는 박막 태양전지
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