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액정표시장치용 고정세 인쇄판 및 그의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015063848
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요약 본 발명은 액정표시장치용 고정세 인쇄판 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 감광층 수지층을 이용한 패턴층 하부에 미세선폭 구현시 밀착력을 향상시키는 층을 형성하고 감광성 수지의 패턴을 형성한 후 상부에 보호층을 코팅함으로써, 대면적 미세 패턴 인쇄용 인쇄판의 제조가 가능하다. 또한, 미세패턴 구현을 용이하게 하고 그에 따라 패턴 해상도, 전사 특성을 향상시키고 인쇄판의 제조 비용 및 인쇄판의 신뢰성과 수율을 향상시킬 수 있다.본 발명에 의한 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법은, (a) 기판상에 밀착층을 형성하는 단계와; (b) 상기 밀착층 상에 감광성 수지층을 형성하는 단계; 및 (c) 상기 감광성 수지층을 이용하여 상기 밀착층의 상부가 일부 노출되도록 패턴을 형성하는 단계;를 포함하고 있다.
Int. CL G02F 1/13 (2006.01) G02F 1/1333 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC G02F 1/133308(2013.01) G02F 1/133308(2013.01) G02F 1/133308(2013.01) G02F 1/133308(2013.01) G02F 1/133308(2013.01) G02F 1/133308(2013.01)
출원번호/일자 1020100130500 (2010.12.20)
출원인 엘지이노텍 주식회사
등록번호/일자 10-1211736-0000 (2012.12.06)
공개번호/일자 10-2012-0069099 (2012.06.28) 문서열기
공고번호/일자 (20121212) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.20)
심사청구항수 22

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지이노텍 주식회사 대한민국 서울특별시 강서구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 구찬규 대한민국 서울특별시 중구
2 강현욱 대한민국 서울특별시 중구
3 이용인 대한민국 서울특별시 중구
4 홍범선 대한민국 서울특별시 중구
5 신준식 대한민국 서울특별시 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김희곤 대한민국 대전시 유성구 문지로 ***-*(문지동) *동(웰쳐국제특허법률사무소)
2 김인한 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 신영빌딩)(특허법인세원)
3 박용순 대한민국 서울특별시 송파구 법원로*길 **, **층 D-****호(문정동)(주심국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지이노텍 주식회사 서울특별시 강서구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2010-0837790-76
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.08.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.09.20 수리 (Accepted) 9-1-2011-0077850-90
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0254799-38
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2012-0520501-22
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.07.26 수리 (Accepted) 1-1-2012-0599577-10
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.07.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0599582-38
8 등록결정서
Decision to grant
2012.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0730876-99
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.10.27 수리 (Accepted) 4-1-2014-0093826-77
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.03.08 수리 (Accepted) 4-1-2017-5035901-08
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.18 수리 (Accepted) 4-1-2018-5136723-03
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.01.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5011221-01
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법에 있어서,(a) 기판상에 밀착층을 형성하는 단계;(b) 상기 밀착층 상에 감광성 수지층을 형성하는 단계;(c) 상기 감광성 수지층을 이용하여 상기 밀착층의 상부가 일부 노출되도록 패턴을 형성하는 단계; 및(d) 상기 감광성 수지층의 상부와, 상기 노출된 밀착층의 상부에 보호층을 형성하는 단계;를 포함하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 기판은:PC(Polycarbonate), PET(polyethylene terephthalate resin), PMMA(Polymethylmethacrylate)를 포함한 고분자, 글래스(Glass), 필름(Film), 금속(Metal)을 포함한 군 중에서 어느 하나의 재료로 형성되는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 밀착층은:금속을 증착 또는 스퍼터링(Sputtering) 하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 밀착층은:Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금으로 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 밀착층은:Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금에 O, N, Cox, Nox를 혼합하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 밀착층은:Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금에 O, N, Cox, Nox과 감광성 수지를 혼합하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 감광성 수지는:상기 감광성 수지층과 동일한 재료로 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법
9 9
제 1 항에 있어서, 상기 감광성 수지층은:스핀 코팅(Spin Coating), 슬릿 코팅(Slit Coating), 스프레이 코팅(Spray Coating)을 포함한 코팅 방법 중 어느 하나를 사용하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법
10 10
제 1 항에 있어서, 상기 감광성 수지층은:포토레지스트(Photoresist), 건식 필름 레지스트(Dry Film Resist), 습식 필름 레지스트(Wet Film Resist), 자외선 경화형 수지를 포함한 감광성 물질 중 어느 하나를 사용하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법
11 11
제 1 항에 있어서, 상기 감광성 수지층은:포지티브(Positive) 또는 네가티브(Negative) 감광성 물질로 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법
12 12
제 1 항에 있어서, 상기 패턴은:상기 감광성 수지층을 포토리소그래피 공법으로 패터닝하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법
13 13
삭제
14 14
제 1 항에 있어서, 상기 보호층은:Cu, Ag, Ni, Au, Al, Cr, Mo, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 금속과;패럴린(Parylene), 테프론(Teflon)을 포함한 유기재료와;산화 실리콘(SiOx), 질화 실리콘(SiNx), 다이아몬 라이크 카본(Diamon liked Carbon)을 포함한 무기재료; 및유·무기 하이브리드계 재료;중에서 상기 감광성 수지층 및 기판의 특성에 따라 선택된 어느 하나를 이용하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법
15 15
제 1 항에 있어서, 상기 보호층은:스핀 코팅(Spin Coating), 슬릿 코팅(Slit Coating), 스프레이 코팅(Spray Coating), 화학기상증착(CVD), 스퍼터링(Sputtering), 증발기(Evaporator)를 포함한 방법 중 어느 하나를 사용하여 형성하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판의 제조 방법
16 16
액정표시장치용 고정세 인쇄판에 있어서,기판상에 형성된 밀착층;상기 밀착층 상에 형성되며, 상기 밀착층의 상부가 일부 노출되는 패턴이 형성된 감광성 수지층; 및상기 감광성 수지층의 상부와, 상기 노출된 밀착층의 상부에 형성되는 보호층;을 포함하는 액정표시장치용 고정세 인쇄판
17 17
제 16 항에 있어서, 상기 기판은:PC(Polycarbonate), PET(polyethylene terephthalate resin), PMMA(Polymethylmethacrylate)를 포함한 고분자, 글래스(Glass), 필름(Film), 금속(Metal)을 포함한 군 중에서 어느 하나의 재료로 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판
18 18
제 16 항에 있어서, 상기 밀착층은:Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금으로 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판
19 19
제 16 항에 있어서, 상기 밀착층은:Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금에 O, N, Cox, Nox를 혼합하여 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판
20 20
제 16 항에 있어서, 상기 밀착층은:Cu, Ag, Ni, Au, Al, Mo, Cr, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 또는 이들 금속을 포함하는 합금에 O, N, Cox, Nox과 감광성 수지를 혼합하여 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판
21 21
제 16 항에 있어서, 상기 감광성 수지층은:포토레지스트(Photoresist), 건식 필름 레지스트(Dry Film Resist), 습식 필름 레지스트(Wet Film Resist), 자외선 경화형 수지를 포함한 감광성 물질 중 어느 하나를 사용하여 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판
22 22
제 16 항에 있어서, 상기 감광성 수지층은:포지티브(Positive) 또는 네가티브(Negative) 감광성 물질로 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판
23 23
삭제
24 24
제 16 항에 있어서, 상기 보호층은:Cu, Ag, Ni, Au, Al, Cr, Mo, Ti, Ta, Ru, Re, Pb, Cr, Sn, In, Zn을 포함하는 금속과;패럴린(Parylene), 테프론(Teflon)을 포함한 유기재료와;산화 실리콘(SiOx), 질화 실리콘(SiNx), 다이아몬 라이크 카본(Diamon liked Carbon)을 포함한 무기재료; 및유·무기 하이브리드계 재료;중에서 상기 감광성 수지층 및 기판의 특성에 따라 선택된 어느 하나를 이용하여 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판
25 25
제 16 항에 있어서, 상기 보호층은:스핀 코팅(Spin Coating), 슬릿 코팅(Slit Coating), 스프레이 코팅(Spray Coating), 화학기상증착(CVD), 스퍼터링(Sputtering), 증발기(Evaporator)를 포함한 방 중 어느 하나를 사용하여 형성된 액정표시장치용 고정세 인쇄판
26 26
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.