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하부 기판;상기 하부 기판의 상측에 위치하고, 아랫면에 제1홈이 형성되고, 상기 제1홈의 내측에는 에어 주입관이 위치하는 상부 기판;상기 하부 기판과 상기 상부 기판의 사이에 위치하고, 윗면에 제2홈이 형성되고, 상기 제2홈의 아랫면에는 유체 챔버가 위치하는 유체 디바이스;상기 에어 주입관의 하단부에 위치하는 폐색부; 및상기 제1홈의 내측에서 상기 폐색부와 상기 제1홈 사이에 위치하는 제1탄성부재를 포함하고,상기 상부기판은 상기 유체 디바이스와 밀착하도록 이동하여 상기 에어 주입관과 상기 유체 챔버가 연결되고, 상기 폐색부는 상기 제2홈에 가압되어 상기 제2홈을 폐색시키는 마이크로 유체 시스템
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청구항 1에 있어서, 상기 상부 기판에 위치하는 클램프와 상기 하부 기판에 형성되어 있는 단턱을 포함하는 체결 수단을 더 포함하는 마이크로 유체 시스템
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청구항 2에 있어서,상기 체결 수단은, 상기 클램프와 상기 상부 기판 사이에 위치하는 제2탄성부재를 더 포함하는 마이크로 유체 시스템
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청구항 1에 있어서,상기 상부 기판에 위치하는 2 이상의 관통홀;2이상의 상기 관통홀 각각에 삽입되고, 상기 하부 기판에 고정된 2 이상의 가이드 포스트;상기 상부기판에 위치하고, 상기 가이드 포스트가 각각 삽입되어 있는 2 이상의 부시; 및상기 부시와 상기 가이드 포스트 사이에 개재되는 2 이상의 볼 베어링을 더 포함하는 마이크로 유체 시스템
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청구항 1에 있어서,상기 폐색부의 상측에 위치하는 지지부를 더 포함하고,상기 제1탄성부재는 스프링으로, 상기 제1홈의 내측에서 상기 지지부의 상측 면과 상기 제1홈의 상측 면 사이에 위치하고,상기 에어 주입관은 외부의 에어 펌프와 연결되는 마이크로 유체 시스템
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청구항 1에 있어서,상기 폐색부는, 오링 또는 플랙서블 패드인 마이크로 유체 시스템
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청구항 1에 있어서, 상기 유체 챔버는, 반응 영역을 더 포함하고,상기 반응 영역에는, 상기 유체 챔버에 채워진 유체와 반응하는 반응 유도 물질이 위치하고,상기 상부기판에는, 상기 반응 영역에서의 반응 정도를 전기 화학적으로 측정할 수 있는 전극 프로브 및 광학적으로 유체를 측정할 수 있는 투명 윈도우 중 적어도 하나가 형성되어 있는 마이크로 유체 시스템
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