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마스크리스 노광 장치

  • 기술번호 : KST2015064089
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 조도를 균일화하여 패턴 불량을 최소화할 수 있는 마스크 리스 노광 장치를 제공하는 것이다.본 발명에 따른 마스크 리스 노광 장치는 광을 생성하는 광원과; 상기 광을 노광할 이미지 정보를 가지는 노광빔으로 변환하는 디지털 마이크로 미러 소자와; 상기 디지털 마이크로 미러 소자로부터의 노광빔을 기판에 형성된 감광막에 조사하는 투영 광학계와; 상기 투영 광학계를 통해 상기 기판에 조사되는 상기 노광빔의 초기 조도 분포 특성과 상반되는 투과율을 가지도록 형성되어 상기 감광막에 조사되는 상기 노광빔의 조도를 균일화하는 조도 보상 필터를 구비하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)
CPC G03F 7/2051(2013.01) G03F 7/2051(2013.01) G03F 7/2051(2013.01) G03F 7/2051(2013.01)
출원번호/일자 1020100140171 (2010.12.31)
출원인 엘지전자 주식회사, 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0078014 (2012.07.10) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 보정승인간주
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.11.19)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
2 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문동희 대한민국 경기도 파주시 쇠재로 **,
2 김문환 대한민국 충청북도 청주시 흥덕구
3 전덕찬 대한민국 경상북도 구미시
4 김기준 대한민국 경기도 고양시 일산서구
5 양남열 대한민국 서울특별시 영등포구
6 김건수 대한민국 서울특별시 영등포구
7 박명주 대한민국 서울특별시 영등포구
8 이창주 대한민국 서울특별시 영등포구
9 신영훈 대한민국 서울특별시 영등포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박영복 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
2 엘지전자 주식회사 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.12.31 수리 (Accepted) 1-1-2010-0880096-06
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2011.09.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-0734798-37
3 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2011.09.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-0735659-78
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
6 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2014.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-1253647-96
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
8 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2015.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2015-1129019-47
9 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.06.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
10 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.08.10 수리 (Accepted) 9-1-2016-0036354-33
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.10.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0714549-47
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.11.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1175106-79
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2016-1175108-60
14 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.04.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0282131-45
15 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.06.07 수리 (Accepted) 1-1-2017-0539332-29
16 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.06.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0539331-84
17 등록결정서
Decision to grant
2017.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0672595-08
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광을 생성하는 광원과;상기 광을 노광할 이미지 정보를 가지는 노광빔으로 변환하는 디지털 마이크로 미러 소자와;상기 디지털 마이크로 미러 소자로부터의 노광빔을 기판에 형성된 감광막에 조사하는 투영 광학계와;상기 투영 광학계를 통해 상기 기판에 조사되는 상기 노광빔의 초기 조도 분포 특성과 상반되는 투과율을 가지도록 형성되어 상기 기판에 형성되는 감광막에 조사되는 노광빔의 조도를 균일화하는 조도 보상 필터와;상기 기판과 상기 조도 보상 필터 사이에 배치되어 상기 기판 상에 도포된 상기 감광막의 높이차를 보상하는 높이 보상 필터를 구비하는 마스크 리스 노광 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 광원과 디지털 마이크로 미러 소자 사이에 형성되어 상기 광원으로부터의 광을 이용해 상기 디지털 마이크로 미러 소자를 조명하며, 상기 광원으로부터의 조도 분포를 균일하게 1차 조정하는 호모지나이저를 포함하는 조명 광학계를 더 구비하며, 상기 투영 광학계는상기 디지털 마이크로 미러 소자로부터의 노광빔을 확대하는 빔익스펜더와;상기 노광빔을 복수개의 노광빔들로 분리하여 집광시키도록 복수개의 렌즈들이 어레이된 멀티 렌즈 어레이와;상기 멀티 렌즈 어레이로부터의 노광빔의 해상도를 조정하여 상기 감광막에 조사하는 프로젝션 렌즈를 구비하며,상기 조도 보상 필터는 상기 빔익스펜더 및 상기 멀티 렌즈 어레이 사이에 배치되어 상기 디지털 마이크로 미러로부터의 노광빔의 조도분포를 균일하게 2차 조정하는 마스크 리스 노광 장치
3 3
제 2 항에 있어서,상기 조도 보상 필터는상기 멀티 렌즈 어레이와 대응하는 크기의 필터 기판과;상기 필터 기판 상에 상기 노광빔의 초기 조도 분포 특성에 따라 두께가 다른 차광막을 구비하는 마스크 리스 노광 장치
4 4
제 3 항에 있어서,상기 차광막은 상기 노광빔의 초기 조도가 높을수록 두께가 높아지며, 상기 노광빔의 초기 조도가 낮을수록 두께가 낮아지는 마스크 리스 노광 장치
5 5
제 2 항에 있어서,상기 호모지나이저는 플라이 아이 렌즈(Fly eye's Lens), 로드 렌즈(Rod Lens) 및 인터그레이터(Integrator) 중 적어도 어느 하나로 형성되는 마스크 리스 노광 장치
6 6
제 1 항에 있어서,상기 기판이 안착된 스테이지에 부착되며, 상기 감광막을 노광하기 전에 상기 노광 장치의 상기 초기 조도 분포를 측정하는 조도 측정계를 추가로 구비하는 마스크 리스 노광 장치
7 7
삭제
8 8
제 1 항에 있어서,상기 높이 보상 필터는상기 기판과 대응하는 크기의 제2 필터 기판과;상기 제2 필터 기판 상에 상기 감광막의 높이에 따라 두께가 다른 제2 차광막을 구비하는 마스크 리스 노광 장치
9 9
제 8 항에 있어서,상기 감광막은 상기 기판의 중앙부에서 상기 기판의 외곽부로 갈수록 두께가 낮아지며, 상기 제2 차광막은 상기 제2 필터 기판의 중앙부에서 상기 제2 필터 기판의 외곽부로 갈수록 두께가 높아지는 마스크 리스 노광 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.