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베이스;상기 베이스 상에 형성되어 러버 척이 안착되는 안착 부재;상기 러버 척 상에 템플레이트 어셈블리가 배치되도록 내주면이 러버 척의 가장자리 일부를 덮는 가이드 링; 및상기 베이스 상의 일측에 형성되어 가이드 링을 정렬하는 정렬 부재;를 포함하는 템플레이트 어셈블리 정렬장치
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청구항 1에 있어서,상기 정렬 부재는 베이스 상에 형성된 가이드 레일과, 상기 가이드 레일을 따라 이동하여 가이드 링을 정렬시키는 정렬 유닛을 포함하는 템플레이트 어셈블리 정렬장치
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청구항 1에 있어서,상기 정렬 부재는 가이드 링의 외측에 다수개가 구비되며, 다수개의 정렬 부재는 일정 간격으로 이격 형성되는 템플레이트 어셈블리 정렬장치
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청구항 3에 있어서,상기 정렬 부재는 동시에 작동되는 템플레이트 어셈블리 정렬장치
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청구항 1에 있어서,상기 가이드 링을 러버 척 상부에 안착시키는 회전암을 더 포함하는 템플레이트 어셈블리 정렬장치
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청구항 5에 있어서,상기 가이드 링의 내경은 러버 척의 외경보다 작은 템플레이트 어셈블리 정렬장치
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7
청구항 1에 있어서,상기 안착 부재는 제1 플레이트와 제2 플레이트를 포함하고, 상기 제1 플레이트 및 제2 플레이트를 마주보는 방향 또는 멀어지는 방향으로 동시에 작동시키는 구동 유닛을 더 포함하는 템플레이트 어셈블리 정렬장치
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8
러버 척을 안착시키는 단계;상기 러버 척 상에 가이드 링을 안착시키는 단계;상기 가이드 링을 정렬하는 단계; 및상기 가이드 링의 내측에 템플레이트 어셈블리를 배치시키는 단계;를 포함하는 템플레이트 어셈블리 정렬방법
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청구항 8에 있어서,상기 가이드 링의 내경은 러버 척의 외경보다 작은 템플레이트 어셈블리 정렬방법
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청구항 8에 있어서,상기 러버 척을 안착시키는 단계 이후 러버 척을 정렬시키는 단계를 더 포함하는 템플레이트 어셈블리 정렬방법
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