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제조 공정성이 향상된 연마 장치

  • 기술번호 : KST2015064890
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요약 본 발명은 판상형 모재를 연속 공정으로 연마하는 연마 장치로서, 상기 판상형 모재를 순차적으로 공급하는 모재 이송부, 상기 모재가 공급되는 방향을 기준으로 모재의 상부에 위치하며, 상기 모재의 상면을 연마하는 연마기, 및 상기 연마기의 하면에 장착된 연마 패드를 포함하고 있으며, 상기 연마기는, 중심축을 포함하는 원판형 플레이트; 및상기 모재의 크기에 대응하여 연마기의 크기를 확장할 수 있도록, 상기 원판형 플레이트의 외주면으로부터 반경 방향으로 연장된 환형 플레이트;를 포함하는 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 연마 장치를 제공한다.
Int. CL B24B 7/24 (2006.01) H01L 21/304 (2006.01) B24D 3/10 (2006.01) B24B 7/06 (2006.01)
CPC B24B 7/06(2013.01) B24B 7/06(2013.01) B24B 7/06(2013.01) B24B 7/06(2013.01)
출원번호/일자 1020110075694 (2011.07.29)
출원인 주식회사 엘지화학
등록번호/일자 10-1361122-0000 (2014.02.04)
공개번호/일자 10-2013-0014079 (2013.02.07) 문서열기
공고번호/일자 (20140220) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.07.30)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 허순기 대한민국 대전광역시 유성구
2 이호경 대한민국 대전광역시 유성구
3 이대연 대한민국 충청북도 청원군
4 송재익 대한민국 경기도 파주시
5 마구호 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손창규 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *** *동 ****호(역삼동, 성지하이츠*차빌딩)(글로벌혜성특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.07.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0588072-73
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2012.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0605621-18
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.07.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.08.12 수리 (Accepted) 9-1-2013-0067705-78
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.09.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0646637-24
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.10.17 수리 (Accepted) 1-1-2013-0936929-84
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.10.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0936937-49
8 등록결정서
Decision to grant
2014.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0075644-41
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5000389-31
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.12.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5161532-51
11 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2018.01.04 수리 (Accepted) 1-1-2018-0010710-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.11.12 수리 (Accepted) 4-1-2018-5227604-80
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5261818-30
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164284-96
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
판상형 모재를 연속 공정으로 연마하는 연마 장치로서, 상기 판상형 모재를 순차적으로 공급하는 모재 이송부, 상기 모재가 공급되는 방향을 기준으로 모재의 상부에 위치하며, 상기 모재의 상면을 연마하는 연마기, 및 상기 연마기의 하면에 장착된 연마 패드를 포함하고 있으며, 상기 연마기는, 중심축을 포함하는 원판형 플레이트; 및 상기 모재의 크기에 대응하여 연마기의 크기를 확장할 수 있도록, 상기 원판형 플레이트의 외주면으로부터 반경 방향으로 연장된 환형 플레이트를 포함하는 구조로 이루어져 있으며, 상기 연마기는 환형 플레이트가 원판형 플레이트에 대해 상하 이동할 수 있도록 구동부를 포함하고, 상기 구동부는 환형 플레이트의 상면 및 내측면에 각각 모터부 및 기어부를 포함하고 있고, 상기 원판형 플레이트는 상기 기어부에 대응하는 홈부를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 모재는 유리 기판 또는 금속 기판인 것을 특징으로 하는 연마 장치
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 원판형 플레이트의 직경은 환형 플레이트의 직경을 기준으로 30% 내지 90%의 크기인 것을 특징으로 하는 연마 장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 환형 플레이트의 직경은 상기 모재 폭을 기준으로 50% 내지 130%의 크기인 것을 특징으로 하는 연마 장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 환형 플레이트는 원판형 플레이트에 대해 상하 수직 이동할 수 있는 구조로 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 연마 장치
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 이동 폭은 상기 원판형 플레이트의 두께를 기준으로 상하로 각각 0 내지 50%의 크기인 것을 특징으로 하는 연마 장치
7 7
제 5 항에 있어서, 상기 환형 플레이트의 원판형 플레이트에 대한 이동 폭은 3 mm 내지 200 mm인 것을 특징으로 하는 연마 장치
8 8
삭제
9 9
제 1 항에 있어서, 상기 구동부는 연마기의 중심축을 기준으로 대칭되는 둘 이상의 개수로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 연마 장치
10 10
삭제
11 11
제 1 항에 있어서, 상기 기어부 및 홈부에는 수평 방향으로 슬릿이 형성되어 있으며, 상기 모터부의 작동에 의해 기어부가 회전하면서 상기 홈부에 체결되어 높이가 조절되는 것을 특징으로 하는 연마 장치
12 12
제 1 항에 있어서, 상기 구동부는 환형 플레이트의 높이 및 속도를 동일하게 제어하는 것을 특징으로 하는 연마 장치
13 13
제 1 항에 있어서, 상기 연마 패드의 소재는 다이아몬드, 용융 알루미나, 탄화규소, 입방정 질화붕소(CBN), SG(Seed Gel) 및 인조 다이아몬드 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 연마 장치
14 14
제 13 항에 있어서, 상기 환형 플레이트 및 원판형 플레이트는 서로 다른 소재의 연마 패드를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 연마 장치
15 15
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.