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웨이퍼 노치 형성 장치

  • 기술번호 : KST2015065159
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요약 웨이퍼 노치 형성 장치가 개시된다. 웨이퍼 노치 형성 장치는 하우징; 상기 하우징 내에 배치되는 회전자; 상기 회전자로부터 연장되는 샤프트; 상기 하우징에 고정되고, 상기 샤프트에 설치되는 제 1 베어링; 상기 샤프트에 삽입되는 노치 휠; 및 상기 하우징에 고정되고, 상기 노치 휠의 끝단을 회전 가능하도록 고정시키는 노치 휠 지지부를 포함한다.
Int. CL H01L 21/68 (2006.01)
CPC H01L 21/67092(2013.01)
출원번호/일자 1020110091525 (2011.09.09)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1333896-0000 (2013.11.21)
공개번호/일자 10-2013-0028187 (2013.03.19) 문서열기
공고번호/일자 (20131127) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.09.09)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 배재현 대한민국 부산광역시 연제구
2 최은석 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.09.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0705591-14
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.01.30 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.03.11 수리 (Accepted) 9-1-2013-0015623-70
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.04.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0220268-11
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.05.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0482604-80
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0482609-18
7 등록결정서
Decision to grant
2013.10.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0723736-86
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하우징;상기 하우징 내에 배치되는 회전자;상기 회전자로부터 연장되는 샤프트;상기 하우징에 고정되고, 상기 샤프트에 설치되는 제 1 베어링;상기 샤프트에 삽입되는 노치 휠; 상기 하우징에 고정되고, 상기 노치 휠의 끝단을 회전 가능하도록 고정시키는 노치 휠 지지부;상기 노치 휠 지지부에 구비되는 제 2 베어링; 및상기 하우징에 고정되고, 상기 노치 휠 지지부를 상기 노치 휠이 연장되는 방향으로 가이드하는 가이드부;를 포함하고,상기 노치 휠의 끝단은 상기 제 2 베어링에 삽입되며,상기 노치 휠 지지부는 상기 하우징에 고정된 가이드부에 의해 하방으로 가이드되어, 상기 노치 휠은 상기 제 2 베어링이 설치된 홈을 통하여 분리되어 교체가 가능한 웨이퍼 노치 형성 장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 지지부, 상기 가이드부를 관통하는 고정부를 포함하는 웨이퍼 노치 형성 장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 지지부는상기 하우징으로 외부면으로부터 상기 노치 휠이 연장되는 방향으로 연장되는 제 1 연장부; 및상기 제 1 연장부로부터 상기 노치 휠과 교차하도록 연장되는 제 2 연장부를 포함하는 웨이퍼 노치 형성 장치
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 제 2 연장부에는 관통홈이 형성되고,상기 노치 휠의 끝단은 상기 관통홈 내에 삽입되는 웨이퍼 노치 형성 장치
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 하우징에 구비되고, 상기 회전자에 압축 공기를 분사하는 에어 베어링을 포함하는 웨이퍼 노치 형성 장치
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 회전자는 상기 압축 공기에 의해서 회전되는 웨이퍼 노치 형성 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.