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제 1 탄성체를 회전축으로 하여 구동되는 미러판;상기 미러판의 주위에 구비되고, 제 2 탄성체를 회전축으로 하여 구동되는 김블;상기 제 1 탄성체 및 제 2 탄성체, 상기 김블 및 미러판에 결합되고 전자계를 형성하여 구동력을 발생시키는 권선; 및상기 권선과 함께 상기 전자계를 형성하는 자석을 포함하는 스캐닝 마이크로미러에 있어서,상기 제 1 탄성체 및 제 2 탄성체 중 적어도 하나에 구비되고, 상기 미러판 또는 김블의 회전량에 비례하는 측정값을 생성하는 센서부; 및상기 측정값 및 상기 센서부의 주변 온도를 근거로 상기 미러판 또는 김블의 회전각을 검출하는 회전각 검출부를 포함하며,상기 센서부는, 다수의 압저항체를 포함하고,상기 회전각 검출부는, 상기 다수의 압저항체 중 상기 미러판 또는 상기 김블의 회전량에 따라 저항값의 변화가 서로 다른 두 개 이상의 압저항체를 선택하고, 상기 선택된 두 개 이상의 압저항체의 저항값을 합산한 값을 근거로 상기 센서부의 주변 온도를 검출하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러
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제1항에 있어서, 상기 센서부는,상기 탄성체의 비틀림에 따라 저항값이 변하는 압저항체(piezoresistor)인 스캐닝 마이크로미러
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제1항에 있어서, 상기 센서부는,상기 탄성체의 표면 또는 내부에 위치하는 것인 스캐닝 마이크로미러
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제1항에 있어서, 상기 센서부는,상기 제 1 탄성체의 양단 중 상기 김블 쪽 단부에 구비되고, 상기 제 2 탄성체의 양단 중 지지부 쪽 단부에 구비되는 것인 스캐닝 마이크로미러
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제1항에 있어서, 상기 미러판 또는 상기 김블의 회전각을 룩-업(look-up) 테이블 형태로 저장하는 메모리부를 더 포함하고,상기 회전각 검출부는,상기 메모리부의 룩-업 테이블로부터 상기 센서부의 주변 온도 및 측정값에 해당하는 상기 미러판 또는 상기 김블의 회전각을 검출하는 것인 스캐닝 마이크로미러
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제1항에 있어서, 상기 센서부는,상기 다수의 압저항체가 휘트스톤 브리지(Wheatstone bridge)의 형태를 구성하는 것인 스캐닝 마이크로미러
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제 1 탄성체를 회전축으로 하여 구동되는 미러판;상기 미러판의 주위에 구비되고, 제 2 탄성체를 회전축으로 하여 구동되는 김블;상기 제 1 탄성체 및 제 2 탄성체, 상기 김블 및 미러판에 결합되고 전자계를 형성하여 구동력을 발생시키는 권선; 및상기 권선과 함께 상기 전자계를 형성하는 자석을 포함하는 스캐닝 마이크로미러에 있어서,상기 제 1 탄성체 및 상기 제 2 탄성체 중 적어도 하나에 구비되고, 휘트스톤 브리지(Wheatstone bridge)의 형태로 구성된 다수의 압저항체를 포함하는 센서부; 및상기 휘트스톤 브리지의 두 노드(node)에 소정의 전류을 인가하고, 나머지 두 노드 사이의 출력 전압을 근거로 상기 미러판 또는 김블의 회전각을 검출하는 회전각 검출부를 포함하며,상기 센서부는,상기 출력 전압을 증폭시키는 증폭부를 더 포함하고,상기 증폭부의 이득은 이되, R0는 기준 온도에서의 저항값, R은 온도 T에서의 저항값, α는 R의 온도계수 및 β는 ΔR/R의 온도계수인 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러
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제 3 탄성체를 회전축으로 구동되는 미러판;상기 미러판의 주위에 구비되고, 상기 미러판과 서로 역위상으로 구동되는 내측 김블;상기 내측 김블의 주위에 구비되고, 제 4 탄성체를 통해 상기 내측 김블을 지지하는 외측 김블; 및제 5 탄성체를 통해 상기 외측 김블을 지지하는 지지부를 포함하되, 상기 외측 김블은 상기 제 5 탄성체를 회전축으로 구동되는 스캐닝 마이크로미러에 있어서,상기 제 3 탄성체, 상기 제 4 탄성체 및 상기 제 5 탄성체 중 적어도 하나에 구비되고, 상기 미러판, 상기 내측 김블 또는 외측 김블의 회전량에 비례하는 측정값을 생성하는 센서부; 및상기 측정값 및 상기 센서부의 주변 온도를 근거로 상기 미러판, 상기 내측 김블 또는 상기 외측 김블의 회전각을 검출하는 회전각 검출부를 포함하며,상기 센서부는, 다수의 압저항체를 포함하고,상기 회전각 검출부는, 상기 다수의 압저항체 중 상기 미러판 또는 상기 김블의 회전량에 따라 저항값의 변화가 서로 다른 두 개 이상의 압저항체를 선택하고, 상기 선택된 두 개 이상의 압저항체의 저항값을 합산한 값을 근거로 상기 센서부의 주변 온도를 검출하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러
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제12항에 있어서, 상기 미러판, 상기 내측 김블 또는 상기 외측 김블의 회전각을 룩-업(look-up) 테이블 형태로 저장하는 메모리부를 더 포함하고,상기 회전각 검출부는,상기 메모리부의 룩-업 테이블로부터 상기 센서부의 주변 온도 및 측정값에 해당하는 상기 미러판, 상기 내측 김블 또는 상기 외측 김블의 회전각을 검출하는 것인 스캐닝 마이크로미러
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제12항에 있어서, 상기 센서부는,상기 다수의 압저항체가 휘트스톤 브리지(Wheatstone bridge)의 형태를 구성하는 것인 스캐닝 마이크로미러
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