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웨이퍼 처리장치

  • 기술번호 : KST2015065662
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 실시 예의 웨이퍼 처리장치는 상부부터 하부까지 복수의 구간들로 구분되는 확산로와, 상기 복수의 구간들 각각에 이격하여 배치되는 복수의 슬롯(slot)들을 포함하는 보트(boat) 및 상기 복수의 구간들 중 적어도 하나의 구간에 배치되는 슬롯들 중 적어도 하나에 마련되고, 상기 적어도 하나의 구간에 소스 가스를 공급하는 서브 가스 공급부를 포함한다.
Int. CL H01L 21/22 (2006.01)
CPC H01L 21/67098(2013.01) H01L 21/67098(2013.01) H01L 21/67098(2013.01)
출원번호/일자 1020110101666 (2011.10.06)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1331557-0000 (2013.11.14)
공개번호/일자 10-2013-0037320 (2013.04.16) 문서열기
공고번호/일자 (20131120) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.10.06)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박용훈 대한민국 경상북도 구미시
2 용문석 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)
2 박영복 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.10.06 수리 (Accepted) 1-1-2011-0779557-39
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.05.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.06.19 수리 (Accepted) 9-1-2012-0047057-97
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.04.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0262720-10
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.05.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0428277-97
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2013-0428279-88
7 등록결정서
Decision to grant
2013.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0592703-40
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상부부터 하부까지 복수의 구간들로 구분되는 확산로;상기 복수의 구간들 각각에 이격하여 배치되는 복수의 슬롯(slot)들, 및 상기 복수의 슬롯들과 연결되고 상기 복수의 슬롯들을 지지하는 지지대를 포함하는 보트(boat); 및상기 복수의 구간들 중 적어도 하나의 구간에 배치되는 슬롯들 중 적어도 하나를 관통하는 제1홀, 상기 지지대를 관통하고 상기 제1홀과 연결되는 제2홀, 및 상기 제1홀과 연결되고 상기 확산로 내부로 개구되는 제3홀을 포함하고, 상기 제1홀 내지 제3홀들을 통하여 상기 적어도 하나의 구간에 소스 가스를 공급하는 서브 가스 공급부를 포함하며,상기 복수의 구간들 중 어느 하나의 구간에 마련되는 제1홀 및 제3홀의 개수는 상기 복수의 구간들 중 다른 어느 하나의 구간에 마련되는 제1홀 및 제3홀의 개수와 다른 웨이퍼 처리장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제1 항에 있어서, 상기 제3 홀은 인접하는 슬롯들 사이에 위치하는 상기 지지대 부분에 마련되는 웨이퍼 처리장치
7 7
삭제
8 8
제1 항에 있어서, 상기 복수의 구간들 중 어느 하나의 구간에 마련되는 제1 홀 및 제3 홀의 직경은 상기 복수의 구간들 중 다른 어느 하나의 구간에 마련되는 제1 홀 및 제3 홀의 직경과 서로 다른 웨이퍼 처리장치
9 9
제1 항에 있어서,상기 제1 홀 내지 제3 홀의 직경은 0
10 10
제1 항에 있어서, 상기 슬롯은상기 웨이퍼와 접촉하는 영역으로부터 가장자리까지 일정 각도로 하향 경사진 웨이퍼 처리장치
11 11
제10 항에 있어서, 상기 슬롯의 상기 하향 경사 각도는 10°~ 15°인 웨이퍼 처리장치
12 12
제1 항에 있어서,상기 확산로 내에 설치되어 가스를 상기 확산로 내에 공급하는 튜브; 및상기 확산로에 설치되고, 외부로부터 상기 가스를 상기 튜브와 상기 서브 가스 공급부에 공급하는 가스 공급 노즐부를 더 포함하는 웨이퍼 처리장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.