| 1 |
1
(A) 이물 검사를 할 제품을 적어도 두 개 이상의 카메라가 스캔하며 촬영하는 단계와, 여기서 상기 적어도 두 개 이상의 카메라는 상기 제품 면에 대하여 경사각 α 를 이뤄 설치되어 촬영되고;(B) 상기 촬영한 각 이미지(즉, 사진)에서, 촬영된 이물 간의 거리차(d)를 구하는 단계와;(C) 상기 구한 이물 간의 거리차(d)와, 상기 제품의 두께와, 상기 경사각 α 를 이용하여, 상기 각 촬영한 이미지로부터 특정 이물의 위치(h)를 계산하는 단계와;(D) 상기 계산한 특정 이물의 위치(h)와, 상기 구한 이물 간의 거리차(d)를 이용하여 상기 제품 내부의 결함을 검사하는 단계;를 포함하며,상기 (D) 단계는,상기 구한 이물 간의 거리차(d)와 상기 제품의 두께를 비교하는 단계와;상기 비교 단계에서, 상기 구한 이물 간의 거리차(d)가 상기 제품의 두께보다 작으면, 상기 촬영된 이미지에서 상기 이물은 상기 제품 내부의 결함인 것으로 판단하며, 상기 구한 이물 간의 거리차(d)가 상기 제품의 두께보다 같거나 크면, 제품의 표면 상에 이물이 있거나, 상기 제품에 이물이 없는 것으로 판단하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이물 검사 방법
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 (D) 단계는상기 계산한 특정 이물의 위치(h)에 해당하는 공정이 어떤 공정인지를 판단하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이물 검사 방법
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 (C) 단계에서상기 특정 이물 위치(h)는 h = d / (2 cotan α) + h_ref수학식을 이용하여 계산하고,여기서, 'd' 는 상기 구한 이물 간의 거리차이고, 'α'는 상기 적어도 두 개 이상의 카메라가 상기 제품 면에 대하여 설치된 각도이고, 'h_ref'는 상기 제품의 특성에 따라 결정되는 기준값인 것을 특징으로 하는 이물 검사 방법
|
| 5 |
5
제1항에 있어서, 상기 (D) 단계에서상기 계산한 특정 이물의 위치(h)가 상기 제품의 두께보다 작으면, 상기 특정 이물이 상기 제품 내부의 결함으로 판단하는 것을 특징으로 하는 이물 검사 방법
|
| 6 |
6
이물을 검사할 제품 면과 경사각 α를 이뤄 설치되어, 상기 제품을 스캔하여 촬영하는 적어도 두 개 이상의 카메라와;상기 적어도 두 개 이상의 카메라가 촬영한 이미지로부터 이물 간의 거리차(d)를 구하고, 상기 구한 이물간의 거리차(d)를 이용하여 상기 촬영한 이미지에서 특정 이물의 위치(h)를 계산하고,상기 계산한 특정 이물의 위치(h)와, 상기 구한 이물 간의 거리차(d)를 이용하여 상기 특정 이물이 상기 제품 내부의 결함인지를 검사하는 처리부;를 포함하며,상기 처리부는,상기 구한 이물 간의 거리차(d)와 상기 제품의 두께를 비교하여, 상기 구한 이물 간의 거리차(d)가 상기 제품의 두께보다 작으면, 상기 촬영된 이미지에서 상기 이물은 상기 제품 내부의 결함인 것으로 판단하며, 상기 구한 이물 간의 거리차(d)가 상기 제품의 두께보다 같거나 크면, 상기 제품의 표면 상에 이물이 있거나, 제품에 이물이 없는 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 이물 검사 광학 장치
|
| 7 |
7
제6항에 있어서, 상기 처리부는h = d / (2 cotan α) + h_ref수학식을 이용하여 상기 특정 이물의 위치(h)를 계산하고,여기서, 'd'는 상기 구한 이물 간의 거리차이고, 'α'는 상기 적어도 두 개 이상의 카메라가 상기 제품 면에 대하여 설치된 각도이고, 'h_ref'는 상기 제품의 특성에 따라 결정되는 기준값인 것을 특징으로 하는 이물 검사 광학 장치
|
| 8 |
8
제6항에 있어서, 상기 처리부는상기 계산한 특정 이물의 위치(h)가 상기 제품의 두께보다 작으면, 상기 특정 이물이 상기 제품 내부의 결함으로 판단하고, 또한상기 계산한 특정 이물의 위치(h)를 이용하여, 상기 제품에서 상기 특정 이물의 위치(h)에 해당하는 공정이 어떤 공정인지를 판단하는 것을 특징으로 하는 이물 검사 광학 장치
|
