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웨이퍼를 승하강시키는 리프트핀; 써셉터를 지지하는 써셉터 지지축; 상기 써셉터 지지축을 하방에서 직립지지하는 플러그;상기 써셉터 지지축을 측방에서 지지하는 콜레트;상기 콜레트와 상기 플러그가 내부에 놓이는 로테이션 어셈블리; 및상기 플러그의 하측에는 플러그의 승하강동작과 각 부품의 동작을 제어하는 구동회로가 격납되는 구동부가 포함되는 에피텍셜 반응기이고, 상기 써셉터 지지축과 상기 플러그는 적어도 네 부분에서 접촉되는 에피텍셜 반응기
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제 1 항에 있어서, 상기 써셉터 지지축에는 적어도 두 개 이상의 돌기가 제공되고, 상기 플러그에는 상기 돌기가 삽입 지지되는 적어도 두 개 이상의 홈이 제공되는 에피텍셜 반응기
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제 1 항에 있어서, 상기 써셉터 지지축에는 적어도 한 개 이상의 돌출부 및 상기 돌출부에서 더 돌출되는 돌기가 일방향으로 제공되고, 상기 플러그에는 상기 돌출부가 삽입 지지되는 적어도 한 개 이상의 함몰부 및 상기 돌기가 삽입 지지되는 홈이 제공되는 에피텍셜 반응기
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제 2 항 또는 제 3 항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 돌기와 상기 홈은, 상기 써셉터 지지축과 상기 플러그의 단면에서 일방향으로 연장되는 형태로 마련되는 에피텍셜 반응기
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제 1 항에 있어서, 상기 콜레트는 일방향으로 상기 써셉터 지지축을 지지하고, 상기 플러그는 상기 콜레트가 지지하는 방향과 교차하는 다른 방향으로 상기 써셉터 지지축을 지지하는 에피텍셜 반응기
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써셉터를 지지하는 써셉터 지지축; 상기 써셉터 지지축의 적어도 어느 일 부분이 삽입되어 상기 써셉터 지지축의 직립을 유지하는 플러그; 상기 써셉터 지지축을 측방에서 지지하는 콜레트; 및상기 써셉터 지지축 및 플러그의 외부에서 상기 써셉터 지지축의 직립을 유지하는 로테이션 어셈블리가 포함되고, 상기 써셉터 지지축 및 상기 플러그에는 일방향으로 연장되는 형태의 홈 및 돌기가 적어도 두 개 이상 마련되는 에피텍셜 반응기의 써셉터 지지장치
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써셉터를 지지하는 써셉터 지지축; 상기 써셉터 지지축의 적어도 어느 일 부분이 삽입되어 상기 써셉터 지지축의 직립을 유지하는 플러그; 상기 써셉터 지지축을 측방에서 지지하는 콜레트; 및상기 써셉터 지지축 및 플러그의 외부에서 상기 써셉터 지지축의 직립을 유지하는 로테이션 어셈블리가 포함되고, 상기 써셉터 지지축에는, 일방향으로 연장되는 형태의 돌출부 및 상기 돌출부에서 더 돌출되는 돌기가 제공되고, 상기 플러그에는, 상기 돌출부 및 상기 돌기가 삽입되어 놓일 수 있는 함몰부가 제공되는 에피텍셜 반응기의 써셉터 지지장치
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제 6 항 또는 제 7 항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 콜레트가 상기 써셉터 지지축을 지지하는 방향은, 상기 플러그가 상기 써셉터 지지축을 지지하는 방향과 교차하는 에피텍셜 반응기의 써셉터 지지장치
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