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에피텍셜 반응기 및 에피텍셜 반응기의 리프트 핀

  • 기술번호 : KST2015066087
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 에피텍셜 반응기의 리트프 핀은, 에피텍셜 반응기에서 웨이퍼를 하측에서 지지하여 상기 웨이퍼를 승강시키는 부품으로서, 핀홀을 통과할 수 있는 몸통; 및 상기 몸통의 상부에 제공되어 상기 핀홀에 걸릴 수 있는 걸림부가 포함되고, 상기 몸통과 상기 걸림부로 이루어지는 형태의 무게중심이 기하중심의 하측에 놓여서, 상기 몸통이 직립하도록 하는 모멘트를 제공한다. 본 발명에 따르면, 웨이퍼의 불량을 방지할 수 있는 등의 효과를 얻을 수 있다.
Int. CL C23C 14/50 (2006.01) H01L 21/683 (2006.01) H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/68 (2006.01)
CPC H01L 21/68742(2013.01) H01L 21/68742(2013.01)
출원번호/일자 1020110115288 (2011.11.07)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1281403-0000 (2013.06.26)
공개번호/일자 10-2013-0050119 (2013.05.15) 문서열기
공고번호/일자 (20130702) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.11.07)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 한용수 대한민국 울산광역시 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0876884-52
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.12.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.01.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0003118-09
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.03.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0187402-13
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.04.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0349260-35
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2013-0349261-81
7 등록결정서
Decision to grant		 2013.06.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0428146-61
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
에피텍셜 반응기에서 웨이퍼를 하측에서 지지하여 상기 웨이퍼를 승강시키는 부품으로서, 핀홀을 통과할 수 있는 몸통; 및상기 몸통의 상부에 제공되어 상기 핀홀에 걸릴 수 있는 걸림부가 포함되고, 상기 몸통과 상기 걸림부로 이루어지는 형태의 무게중심이 기하중심의 하측에 놓여서, 상기 몸통이 직립하도록 하는 모멘트를 제공하고, 상기 모멘트를 제공하기 위하여, 상기 몸통의 상부에는 개구가 구비되는 에피텍셜 반응기의 리프트 핀
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 모멘트를 제공하기 위하여, 상기 몸통의 하단부에 마련되는 웨이트가 더 포함되는 에피텍셜 반응기의 리프트 핀
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 웨이트는, 상기 몸통의 하부에 별도의 물품으로 분리가능한 방식으로 결합되는 에피텍셜 반응기의 리프트 핀
4 4
제 2 항에 있어서, 상기 웨이트의 하면은 상기 몸통의 직경보다 크게 마련되는 에피텍셜 반응기의 리프트 핀
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 몸통의 하단면은 편평하게 마련되는 에피텍셜 반응기의 리프트 핀
6 6
삭제
7 7
웨이퍼를 재치하는 써셉터;상기 써셉터를 지지하는 써셉터 지지축;상기 웨이퍼를 선택적으로 지지하고, 상기 써셉터에 마련되는 핀홀을 통과하여 상하로 움직이는 리프트 핀; 및상기 리프트 핀을 승강시키는 리프트 핀 지지축이 포함되고, 상기 리프트 핀은, 무게중심이 기하중심의 하측에 놓여서 상기 핀홀에 대하여 직립되도록 하는 모멘트가 발생하는 구조로 제공되고, 상기 리프트 핀은 상기 핀홀을 통과하는 몸통과, 상기 몸통의 상부에 제공되어 상기 핀홀에 걸릴 수 있는 걸림부를 포함하고, 상기 모멘트를 제공하기 위하여, 상기 몸통의 상부에는 개구가 구비되는 에피텍셜 반응기
8 8
삭제
9 9
제 7 항에 있어서,상기 리프트 핀의 하부에는 분리 가능한 웨이트가 제공되는 에피텍셜 반응기
10 10
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.