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제 1 몸체부;상기 제 1 몸체부 상에 배치되는 제 2 몸체부;상기 제 1 몸체부에 구비되고, 수평 방향으로 슬라이딩되는 푸싱부; 및상기 제 2 몸체부에 구비되고, 수평 방향으로 슬라이딩되는 받침부를 포함하는 잉곳 성장 장치의 분해 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 몸체부에 구비되고, 상기 푸싱부를 수평 방향으로 가이드하는 제 1 가이드부를 더 포함하는 잉곳 성장 장치의 분해 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 제 2 몸체부에 구비되고, 상기 받침부를 가이드하는 제 2 가이드부를 더 포함하는 잉곳 성장 장치의 분해 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 푸싱부는상기 제 1 가이드부 내에 배치되는 제 1 몸체부; 및상기 제 1 몸체부에 연결되는 제 1 패드부를 포함하는 잉곳 성장 장치의 분해 장치
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5 |
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제 3 항에 있어서, 상기 받침부는상기 제 2 가이드부 내에 배치되는 제 2 몸체부; 및상기 제 2 몸체부에 연결되는 제 2 패드부를 포함하는 잉곳 성장 장치의 분해 장치
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6 |
6
제 1 항에 있어서, 상기 받침부에 연결되고, 상기 받침부를 수평 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하는 잉곳 성장 장치의 분해 장치
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7 |
7
제 6 항에 있어서, 상기 구동부는상기 받침부에 연결되는 제 1 링크부;상기 제 1 링크부에 연결되는 몸체부; 및상기 몸체부에 연결되고, 상기 몸체부를 상하 방향으로 이동시키는 제 2 링크부를 포함하는 잉곳 성장 장치의 분해 장치
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8 |
8
제 7 항에 있어서, 상기 구동부는 상기 제 2 링크부에 연결되는 누름부를 포함하고,상기 누름부는 상기 제 1 몸체부에 회전 가능하도록 고정되는 잉곳 성장 장치의 분해 장치
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9
잉곳 성장 장치 내에 분해 장치를 배치시키는 단계; 및상기 분해 장치에 의해서, 상기 잉곳 성장 장치의 상부 핫존을 분해하는 단계를 포함하고,상기 분해 장치는제 1 몸체부;상기 제 1 몸체부 상에 배치되는 제 2 몸체부;상기 제 1 몸체부에 구비되고, 수평 방향으로 슬라이딩되는 푸싱부; 및상기 제 2 몸체부에 구비되고, 수평 방향으로 슬라이딩되는 받침부를 포함하는 잉곳 성장 장치의 분해 방법
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10
제 9 항에 있어서, 상기 푸싱부는 상기 상부 핫존의 내부면에 접촉되고,상기 받침부는 상기 핫존의 하부를 지지하는 잉곳 성장 장치의 분해 방법
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11
제 10 항에 있어서, 상기 분해 장치가 상기 잉곳 성장 장치 내에 배치된 후,상기 받침부는 상기 상부 핫존의 하부로 슬라이딩되는 잉곳 성장 장치의 분해 방법
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12 |
12
제 11 항에 있어서, 상기 분해 장치가 상기 잉곳 성장 장치 내에 배치된 후,상기 푸싱부는 상기 상부 핫존의 내면으로 슬라이딩되는 잉곳 성장 장치의 분해 방법
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