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제1 도전성 타입의 불순물이 도핑된 기판의 제1 면에, 상기 제1 도전성 타입의 불순물과 반대인 제2 도전성 타입의 불순물을 도핑하여 제1 에미터 영역을 형성하는 단계;상기 제1 에미터 영역의 위에 제1 반사방지막을 형성하는 단계;상기 제1 에미터 영역의 일부에 상기 제2 도전성 타입의 불순물을 상기 제1 에미터 영역의 불순물 농도보다 높게 도핑하여 제2 에미터 영역을 형성하는 단계;상기 제2 에미터 영역 및 제1 반사방지막 위에 제2 반사방지막을 형성하는 단계;상기 제2 에미터 영역에 위치하는 제2 반사방지막 위에 제1 전극을 형성하기 위한 제1 페이스트를 스크린 인쇄하는 단계; 및상기 제1 페이스트를 열처리하여, 상기 제2 반사방지막을 뚫고 상기 제2 에미터 영역에 전기적으로 연결되는 제1 전극을 형성하는 단계;를 포함하고상기 제2 에미터 영역을 형성하는 단계는 상기 제1 반사방지막의 위에 상기 제2 도전성 타입의 불순물층을 형성한 이후, 상기 제1 에미터 영역의 일부에 위치하는 상기 불순물층에 레이저를 조사하여 상기 제1 반사방지막을 부분적으로 식각하면서, 동시에 상기 제1 에미터 영역의 일부에 상기 제2 에미터 영역을 형성하는 태양 전지 제조 방법
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제6 항에서,상기 제1 반사 방지막과 상기 제2 반사 방지막은 서로 굴절률이 다른 태양 전지 제조 방법
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제6항에서,상기 기판의 제1 면의 반대면인 제2 면에 제2 전극을 형성하기 위한 제2 페이스트를 형성하는 단계; 및상기 제2 페이스트를 열처리하여 제2 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 태양 전지 제조 방법
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제9 항에서,상기 제1 페이스트의 열처리 공정 및 상기 제2 페이스트의 열처리 공정을 동시에 수행하는 태양 전지 제조 방법
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제9 항에서,상기 제2 페이스트를 열처리할 때, 상기 기판의 제2 면에 후면 전계부를 형성하는 태양 전지 제조 방법
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제6 항에서,상기 기판의 제1 면에 상기 제2 에미터 영역을 형성하기 이전에 상기 기판의 제1 면 및 제2 면을 텍스처링(texturing) 처리하는 단계;를 더 포함하는 태양 전지 제조 방법
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제6 항에서,상기 제2 반사방지막의 두께를 상기 제1 반사방지막의 두께보다 두껍게 형성하는 태양 전지 제조 방법
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제6 항에서,상기 제1 반사방지막은 상기 제2 반사방지막과 상기 기판 사이의 굴절률을 갖는 물질로 형성하는 태양 전지 제조 방법
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제6 항에서,상기 제2 에미터 영역의 두께를 상기 제1 에미터 영역의 두께보다 두껍게 형성하는 태양 전지 제조 방법
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