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전단측 전극(11)과 후단측 전극(10)을 각각 가지면서 전후 배치되는 전단측 내부 도체(13) 및 후단측 내부 도체(12)와, 상기 전후단측 내부 도체(12,13)의 둘레에 배치되는 외부 도체(14)와, 상기 전후단측 내부 도체(12,13)와 외부 도체(14) 사이에 개재되는 후단측 절연체(15) 및 전단측 절연체(16)를 포함하며,상기 후단측 절연체(15)는 전단에서 후단으로 갈수록 단면적이 점차적으로 증가하는 형태로 이루어진 전단의 제1매칭부(19)와, 전단에서 후단으로 갈수록 단면적이 점차적으로 감소하는 형태로 이루어진 후단의 제3매칭부(20)와, 상기 제1매칭부(19)와 제3매칭부(20)의 사이에 개재되는 제2매칭부(21)로 구성한 것을 특징으로 하는 고전압 급준 펄스 발생용 임피던스 정합 피킹 스위치
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청구항 1에 있어서, 상기 후단측 절연체(15)의 제1매칭부(19)와 제3매칭부(20)는 제2매칭부(21)를 사이에 두고 서로 반대 방향을 향해 있는 원뿔대의 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 고전압 급준 펄스 발생용 임피던스 정합 피킹 스위치
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 후단측 절연체(15)의 제3매칭부(20)는 안쪽으로 후단측 내부 도체(12)를 수용하며, 상기 후단측 내부 도체(12)의 제3매칭부 수용 부분은 후단에서 전단으로 갈수록 단면적이 점차적으로 감소하는 원뿔대 형상으로 이루어지는 동시에 제1매칭부 수용 부분은 후단에서 전단으로 갈수록 단면적이 점차적으로 감소하는 원뿔대 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 고전압 급준 펄스 발생용 임피던스 정합 피킹 스위치
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청구항 3에 있어서, 상기 후단측 내부 도체(12)의 제1매칭부 수용부(12a)는 후단과 측면이 이루는 각도()가 60∼65°이고, 제3매칭부 수용부(12b)는 후단과 측면이 이루는 각도()가 68∼79°인 것을 특징으로 하는 고전압 급준 펄스 발생용 임피던스 정합 피킹 스위치
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