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기판을 흡착하기 위한 흡착기구;상기 흡착기구가 복수개 결합되고, 상기 흡착기구들이 보관장치에 지지된 기판에 접촉되는 제1위치 및 상기 흡착기구들에 흡착된 기판을 상기 보관장치로부터 이격시키는 제2위치 간에 회전 가능하도록 상기 본체에 회전 가능하게 결합되는 지지기구;상기 지기기구가 회전 가능하게 결합되는 본체; 및상기 본체에 결합되는 이동수단을 포함하고,상기 지지기구는 상기 본체에 회전 가능하게 결합되는 회전부재, 및 상기 회전부재에 이동 가능하게 결합되는 지지부재를 포함하며;상기 이동수단은 상기 지지기구가 상기 제1위치에 위치된 상태에서 상기 흡착기구들이 상기 보관장치에 지지된 기판을 흡착하면, 상기 흡착기구들에 흡착된 기판 및 상기 보관장치에 남아있는 기판 간에 접촉되는 면적이 감소되도록 상기 지지부재를 이동시키고;상기 본체는 상기 제1위치와 상기 제2위치 간에 회전하는 지지기구가 통과하기 위한 통과공을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치
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제1항에 있어서, 상기 흡착기구는기판에 접촉되는 흡착패드;상기 흡착패드가 이동 가능하게 결합되는 결합부재; 및상기 흡착패드가 상기 결합부재를 기준으로 탄성적으로 이동하도록, 일측이 상기 흡착패드에 결합되고 타측이 상기 결합부재에 결합되는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치
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제1항에 있어서,상기 본체에 결합되는 회전기구를 포함하고,상기 회전기구는 상기 지지기구를 상기 제1위치 및 상기 제2위치 간에 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치
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제1항에 있어서,상기 지지기구에는 상기 흡착기구들이 서로 이격되게 결합되고,상기 흡착기구들은 상기 지지기구가 상기 제2위치에 위치될 때, 상기 기판과 상기 지지기구 사이에 위치되게 상기 지지기구에 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치
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제1항에 있어서,상기 본체에 결합되는 고정기구를 포함하고,상기 지지기구는 상기 고정기구가 삽입되기 위한 삽입홈을 포함하며,상기 고정기구는 상기 제2위치에 위치된 지지기구를 고정하기 위해 상기 삽입홈에 삽입되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치
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제1항에 있어서, 상기 흡착기구들은 상기 지지부재에 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치
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제1항에 있어서,상기 본체는 상기 제2위치에 위치된 지지기구를 지지하기 위한 받침부재를 포함하고;상기 받침부재는 상기 흡착기구들에 흡착된 기판이 수평상태로 유지되도록 상기 제2위치에 위치된 지지기구를 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치
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제1항에 있어서,상기 본체가 이동 가능하도록 상기 본체에 회전 가능하게 결합되는 이동기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치
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제1항에 있어서,상기 흡착기구들은 기판이 상기 제2위치에 위치된 지지기구로부터 이격된 위치에 위치되도록 상기 지지기구로부터 돌출되게 상기 지지기구에 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치
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제1항에 있어서,상기 지지기구는 서로 결합되는 복수개의 지지프레임을 포함하고,상기 지지프레임들은 관통공이 형성되도록 서로 교차하여 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치
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