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고온의 물이 수용된 수조;상기 수조 상측에 연통되고, 복수개의 램프가 내장된 건조부; 상기 램프들의 빛을 내부로 반사하는 반사조;상기 건조부 사이에 구비되고, 웨이퍼들의 위치를 감지하는 감지센서; 및상기 감지센서의 신호에 따라 상기 램프들의 작동을 제어하는 제어부;를 포함하고,상기 제어부는 상기 웨이퍼의 위치에 따라 상기 램프를 작동시켜, 상기 웨이퍼들이 수조에서 건조부로 인출되는 동시에 열건조가 진행되도록 하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 건조장치
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제1항에 있어서,상기 건조부는,상기 반사조 내부에 구비되고, 상기 램프들의 빛을 내부로 투과시키는 오염방지조를 포함하는 웨이퍼 건조장치
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제2항에 있어서,상기 반사조는 스테인레스 스틸 316(SUS-316) 재질인 웨이퍼 건조장치
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제2항에 있어서,상기 오염방지조는 상기 반사조보다 일정 길이 이상 더 높게 설치된 웨이퍼 건조장치
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제4항에 있어서,상기 오염방지조는 수정(Quartz) 재질인 웨이퍼 건조장치
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 감지센서는 상기 수조로부터 상기 건조부로 웨이퍼의 인출시 정상 감지신호를 발생시키고, 상기 제어부는 상기 감지센서의 정상 감지신호에 따라 상기 램프가 켜지도록 제어하는 웨이퍼 건조장치
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제6항에 있어서,상기 제어부는 웨이퍼들이 상기 수조로부터 상기 건조부까지 상승하는 일정시간 동안 웨이퍼의 열화를 방지하기 위하여 설정시간 간격으로 상기 램프의 온/오프를 제어하는 웨이퍼 건조장치
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제7항에 있어서,상기 감지센서는 웨이퍼들이 상기 수조로부터 상기 건조부까지 상승하는 일정시간 동안 상기 건조부로부터 상기 수조로 웨이퍼의 투입시 이상 감지신호를 발생시키고, 상기 제어부는 상기 감지센서의 이상 감지신호에 따라 상기 램프가 꺼지도록 제어하는 웨이퍼 건조장치
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복수개의 웨이퍼가 온수에 잠기는 제1단계;감지센서를 통해 상기 제1단계의 웨이퍼들이 온수로부터 인출되는 것을 감지하는 제2단계; 및상기 제2단계에서 감지된 상기 웨이퍼의 위치에 따라 램프를 일정시간동안 작동시켜, 상기 웨이퍼들이 수조에서 건조부로 인출되는 동시에 열건조가 진행되도록 하는 제3단계;를 포함하는 웨이퍼 건조방법
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제9항에 있어서,상기 제3단계는 웨이퍼들이 설정시간 간격으로 열 건조 및 휴지를 반복하는 웨이퍼 건조방법
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제10항에 있어서,상기 제3단계는 일정시간 동안 웨이퍼들이 온수로 재투입되는 것을 감지하는 제1과정과, 상기 제1과정의 감지신호에 따라 웨이퍼들의 열 건조가 정지되고, 이상 알림 신호를 발생시키는 제2과정을 포함하는 웨이퍼 건조방법
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