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고니오미터 및 고니오미터의 사용방법

  • 기술번호 : KST2015066665
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요약 본 발명에 따른 고니오미터에는, 잉곳 오리엔테이션 측정장치; 상기 잉곳 오리엔테이션 측정장치와 인접되는 위치에 마련되고, 실리콘 잉곳이 안착되는 한 쌍의 롤러; 및 상기 한 쌍의 롤러의 사이 간격부에 마련되어, 상기 실리콘 잉곳에 고정되는 부가물이 놓이는 부가물 안착부가 포함된다. 본 발명에 따르면 실리콘 잉곳의 절단방향을 정교하게 맞출 수 있고, 이로써, 원하는 성능의 웨이퍼 및 반도체 칩을 얻을 수 있는 효과를 얻을 수 있다. 나아가서, 종래 다수개의 장비가 필요한 실리콘 잉곳의 절단의 준비과정에서 고니오미터만을 이용하여 절단의 준비과정을 수행할 수 있으므로, 공정의 경제성이 개선되는 장점을 기대할 수 있다.
Int. CL G01B 9/10 (2006.01) B28D 5/00 (2006.01)
CPC G01B 9/10(2013.01) G01B 9/10(2013.01) G01B 9/10(2013.01)
출원번호/일자 1020110143822 (2011.12.27)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1263132-0000 (2013.05.03)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20130520) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.12.27)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성호 대한민국 대구광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-1040956-45
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.02.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.04.03 수리 (Accepted) 9-1-2013-0022825-50
4 등록결정서
Decision to grant
2013.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0289918-29
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
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번호 청구항
1 1
잉곳 오리엔테이션 측정장치;상기 잉곳 오리엔테이션 측정장치와 인접되는 위치에 마련되고, 실리콘 잉곳이 안착되는 한 쌍의 롤러; 및상기 한 쌍의 롤러의 사이 간격부에 마련되어, 상기 실리콘 잉곳에 고정되는 부가물이 놓이는 부가물 안착부가 포함되는 고니오미터
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 한 쌍의 롤러를 승강시키는 승강장치가 포함되는 고니오미터
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 승강장치는 에어실린더 방식으로 동작되는 고니오미터
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 한 쌍의 롤러 중 적어도 하나에는 롤러의 회전을 멈추게 하는 롤러고정장치가 마련되는 고니오미터
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 롤러고정장치는 랙과 피니언 방식으로 구동되고, 상기 롤러의 축에 접촉하여 상기 축의 회전을 정지시키는 스토퍼가 포함되는 고니오미터
6 6
잉곳을 고니오미터의 롤러에 안착하고서 잉곳의 오리엔테이션을 정렬하는 단계; 및정렬된 잉곳이, 상기 고니오미터에 장착된 상태에서 회전이 불가능하게 멈추어 있도록 하고, 와이어쏘 장치의 장착에 필요한 부가물과 상기 잉곳이 부착되도록 하는 단계가 포함되는 고니오미터의 사용방법
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 부가물은 상기 고니오미터에 놓여있고, 상기 잉곳이 이동하여 상기 부가물에 부착되는 고니오미터의 사용방법
8 8
제 6 항에 있어서, 상기 롤러는 한 쌍으로 마련되고, 상기 부가물은 상기 한 쌍의 롤러의 사이 간격부에 놓이는 고니오미터의 사용방법
9 9
제 6 항에 있어서, 상기 잉곳이 회전되지 않도록 하기 위하여, 상기 롤러가 회전되지 않도록 하는 고니오미터의 사용방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.