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T자형 시드의 단차 방지 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015066951
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요약 본 발명의 일 측면은 실리콘 잉곳의 성장 시 사용되는 T자형 시드를 제조할 때 헤드부 하면에 발생되는 단차로 인한 실리콘 잉곳의 추락 위험을 감소시키는 T자형 시드의 단차 방지 장치 및 방법을 제공하는 것에 있으며, 이러한 본 발명의 실시예에 따른 T자형 시드의 단차 방지 장치는 T자형 시드로 가공되기 위한 복수개의 모체와 아대를 수용함과 동시에 고정시키는 지그와, 복수개의 모체의 일면을 연마하여 편평도를 향상시키는 연마기를 포함하며, 상기 지그는, 하판과, 서로 평행한 상태로 이격되어 상기 하판에 고정된 앞판 및 뒷판과, 서로 평행한 상태로 이격되어 상기 하판과 뒷판에 고정된 제1측판 및 제2측판과, 상기 뒷판이 위치하고 있는 방향 또는 그 반대 방향으로 이동할 수 있도록 상기 앞판에 형성된 제1A홀 및 제1B홀에 결합되는 전후방향 가압유닛과, 상기 제1측판이 위치하고 있는 방향 또는 그 반대 방향으로 이동할 수 있도록 상기 제2측판에 형성된 제2A홀 및 제2B홀에 결합되는 좌우방향 가압유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01) C30B 15/00 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01)
CPC C30B 15/36(2013.01) C30B 15/36(2013.01) C30B 15/36(2013.01) C30B 15/36(2013.01)
출원번호/일자 1020120000409 (2012.01.03)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1331558-0000 (2013.11.14)
공개번호/일자 10-2013-0079741 (2013.07.11) 문서열기
공고번호/일자 (20131120) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.01.03)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김철환 대한민국 경기 광명시 가림로 **, **
2 신동현 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)
2 박영복 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.01.03 수리 (Accepted) 1-1-2012-0004839-89
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.02.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.02.26 수리 (Accepted) 9-1-2013-0011335-32
4 등록결정서
Decision to grant
2013.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0608374-31
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
T자형 시드로 가공되기 위한 복수개의 모체와 아대를 수용함과 동시에 고정시키는 지그와, 복수개의 모체의 일면을 연마하여 편평도를 향상시키는 연마기를 포함하며,상기 지그는, 하판과, 서로 평행한 상태로 이격되어 상기 하판에 고정된 앞판 및 뒷판과, 서로 평행한 상태로 이격되어 상기 하판과 뒷판에 고정된 제1측판 및 제2측판과, 상기 뒷판이 위치하고 있는 방향 또는 그 반대 방향으로 이동할 수 있도록 상기 앞판에 형성된 제1A홀 및 제1B홀에 결합되는 전후방향 가압유닛과, 상기 제1측판이 위치하고 있는 방향 또는 그 반대 방향으로 이동할 수 있도록 상기 제2측판에 형성된 제2A홀 및 제2B홀에 결합되는 좌우방향 가압유닛을, 포함하는 것을 특징으로 하는 T자형 시드의 단차 방지 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 전후방향 가압유닛은 상기 복수개의 모체의 전면에서 상기 복수의 모체를 동시에 가압 또는 가압해제하기 위하여 좌우방향으로 길게 바 형상으로 형성되어 전후방향으로 이동되는 제1가압부재와, 상기 제1가압부재를 전후방향으로 이동시키기 위하여 상기 제1A홀에 나사 결합되는 제1나사부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 T자형 시드의 단차 방지 장치
3 3
제1항에 있어서,상기 좌우방향 가압유닛은 상기 복수개의 모체의 측면에서 상기 복수의 모체를 동시에 가압 또는 가압해제하기 위하여 전후방향으로 길게 바 형상으로 형성되어 좌우방향으로 이동되는 제2가압부재와, 상기 제2가압부재를 좌우방향으로 이동시키기 위하여 상기 제2A홀에 나사 결합되는 제2나사부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 T자형 시드의 단차 방지 장치
4 4
제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 제1 및 제2가압부재에는 각각 상기 제1B홀과 제2B홀에 끼워져 상기 제1 및 제2가압부재의 전후방향 및 좌우방향 이동을 안내하는 제1 및 제2가이드부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 T자형 시드의 단차 방지 장치
5 5
제1항에 있어서, 상기 복수개의 모체와 아대는 교번적으로 수용되는 것을 특징으로 하는 T자형 시드의 단차 방지 장치
6 6
T자형 시드로 가공되기 위한 복수개의 모체와 아대를 교번적으로 나열시키는 모체 나열 단계와, 교번적으로 나열된 복수개의 모체와 아대를 동시에 제1방향으로 고정시키는 제1방향 모체 고정 단계; 상기 제1방향으로 고정된 상기 복수개 모체와 아대를 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 동시에 고정시키는 제2방향 모체 고정 단계; 상기 제1방향 및 제2방향에서 고정된 모체의 일면을 연마하여 편평도를 향상시키는 모체 연마 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 T자형 시드의 단차 방지 방법
7 7
제6항에 있어서, 상기 제1방향 모체 고정 단계는, 상기 복수개의 모체의 전면에서 상기 복수의 모체를 동시에 가압 또는 가압해제하기 위하여 바(BAR) 형상으로 길게 형성되는 제1가압부재를 전후 방향으로 이동시키는 단계를 포함하며, 상기 제2방향 모체 고정 단계는, 상기 복수개의 모체의 측면에서 상기 복수의 모체를 동시에 가압 또는 가압해제하기 위하여 바(BAR) 형상으로 길게 형성되는 제2가압부재를 좌우 방향으로 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 T자형 시드의 단차 방지 방법
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패밀리정보가 없습니다
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