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태양 전지 및 이를 제조하는 제조 장치와 방법

  • 기술번호 : KST2015066994
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 태양 전지 및 이를 제조하는 제조 장치와 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 태양 전지 제조 장치의 일례는 챔버 내부에 위치하여, 챔버 내부에 배치된 기판의 일면에 이온을 주입하는 이온 주입부; 및 이온 주입부와 기판 사이에 위치하며, 기판의 일면에 제1농도를 갖는 저농도 도핑부를 형성하기 위한 제1 개구부와 제1 농도보다 높은 제2 농도를 갖는 고농도 도핑부를 형성하기 위한 제2 개구부를 함께 구비하는 마스크;를 포함하고, 제2 개구부는 제1 방향으로 형성된 복수의 핑거 개구부와 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 형성되고 핑거 개구부와 연결된 복수의 버스 개구부를 포함하고, 마스크는 제2 개구부를 가로질러 형성되는 연결부를 더 포함한다.
Int. CL H01L 31/18 (2006.01.01) H01L 31/042 (2014.01.01) H01J 37/317 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020120006199 (2012.01.19)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-2052503-0000 (2019.11.29)
공개번호/일자 10-2013-0085208 (2013.07.29) 문서열기
공고번호/일자 (20200107) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.08.29)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 곽계영 대한민국 서울 서초구
2 마성봉 대한민국 서울 서초구
3 조성연 대한민국 서울 서초구
4 신명준 대한민국 서울 서초구
5 권태영 대한민국 서울 서초구
6 조해종 대한민국 서울 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인로얄 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로 ***, *층(서초동,서일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2012-0051572-85
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2016.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-0837410-60
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.01.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.03.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0042151-64
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.03.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0202690-92
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2017-0451175-16
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.05.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0451176-62
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2017.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0684576-66
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2017.10.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-1055844-09
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.10.25 수리 (Accepted) 1-1-2017-1055843-53
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2017.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0834555-37
13 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner		 2018.01.15 수리 (Accepted) 7-8-2018-0000906-78
14 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.07.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0484091-68
15 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.09.02 수리 (Accepted) 1-1-2019-0899393-16
16 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.09.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0899394-62
17 등록결정서
Decision to grant		 2019.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0789134-53
18 [명세서등 보정]보정서(심사관 직권보정)
 2019.12.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-5041305-13
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
챔버 내부에 위치하여, 상기 챔버 내부에 배치된 기판의 일면에 이온을 주입하는 이온 주입부; 및상기 이온 주입부와 상기 기판 사이에 위치하며, 상기 기판의 일면에 제1농도를 갖는 저농도 도핑부를 형성하기 위한 제1 개구부와 상기 제1 농도보다 높은 제2 농도를 갖는 고농도 도핑부를 형성하기 위한 제2 개구부를 함께 구비하는 마스크;를 포함하고,상기 제2 개구부는 제1 방향으로 형성된 복수의 핑거 개구부와 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 형성된 복수의 버스 개구부를 포함하고,상기 복수의 핑거 개구부와 상기 복수의 버스 개구부는 서로 교차되어 연결되며, 상기 마스크는 상기 복수의 버스 개구부를 가로질러 형성되며 상기 제2 농도보다 낮은 제3 농도를 갖는 중간 도핑부를 상기 기판에 형성하기 위한 복수의 연결부를 더 포함하고,상기 복수의 버스 개구부 중에서 중앙에 위치하는 중앙 버스 개구부에 위치한 복수의 제2 연결부는 상기 복수의 버스 개구부 중에서 상기 중앙 버스 개구부의 외측에 위치하는 외곽 버스 개구부에 위치한 복수의 제1 연결부보다 선폭이 크거나 개수가 더 많은 태양 전지 제조 장치
2 2
제1 항에 있어서,상기 마스크는 상기 제1 개구부와 상기 제2 개구부를 둘러싸는 가장자리부;와 상기 복수의 핑거 개구부와 상기 복수의 버스 개구부들에 의해 둘러싸이는 복수의 중앙부;를 포함하고,상기 가장자리부와 상기 복수의 중앙부 및 상기 제1, 2 연결부는 서로 동일한 두께로 형성되는 태양 전지 제조 장치
3 3
제2 항에 있어서,상기 제1 연결부는 상기 가장자리부와 상기 중앙부를 서로 연결하는 태양 전지 제조 장치
4 4
제3 항에 있어서,상기 제2 연결부는 서로 바로 인접한 상기 중앙부를 서로 연결하는 태양 전지 제조 장치
5 5
제4 항에 있어서,상기 제1 연결부 및 상기 제2 연결부는 상기 핑거 개구부를 더 가로질러 형성된 태양 전지 제조 장치
6 6
삭제
7 7
제3 항에 있어서,상기 제1 연결부의 폭은 상기 핑거 개구부의 폭과 동일하거나 작은 태양 전지 제조 장치
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
제1 항의 태양 전지 제조 장치를 이용한 태양 전지 제조 방법에 있어서,상기 기판이 상기 마스크의 제1 개구부 아래에 배치된 상태에서 상기 이온 주입부가 제1 방향으로 이동하는 동안 상기 이온을 주입하면서 상기 기판의 일면에 상기 저농도 도핑부를 형성하는 단계;상기 기판을 상기 제1 방향으로 이동하여 상기 마스크의 제2 개구부 아래로 위치시키는 단계; 및상기 이온 주입부가 상기 제1 방향으로 이동하는 동안 상기 이온을 주입하면서 상기 저농도 도핑부가 형성된 상기 기판의 일면에 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 뻗어 있는 상기 고농도 도핑부를 형성하는 단계; 를 포함하고,상기 고농도 도핑부를 형성하는 단계에서 상기 중간 도핑부를 상기 고농도 도핑부와 동시에 형성하는 태양 전지 제조 방법
12 12
제1 항의 태양 전지 제조 장치를 이용한 태양 전지 제조 방법에 있어서,상기 기판이 상기 마스크의 제1 개구부 아래에 배치된 상태에서 상기 이온 주입부가 상기 이온을 주입하는 동안 상기 기판과 상기 마스크를 동시에 제1 방향으로 이동하면서 상기 기판의 일면에 상기 저농도 도핑부를 형성하는 단계;상기 기판을 상기 마스크의 이동 방향과 반대 방향으로 이동하여 상기 마스크의 제2 개구부 아래로 이동시키는 단계; 및상기 기판이 상기 마스크의 제2 개구부 아래에 배치된 상태에서 상기 이온 주입부가 상기 이온을 주입하는 동안 상기 기판과 상기 마스크를 동시에 제1 방향으로 이동하면서 상기 저농도 도핑부가 형성된 상기 기판의 일면에 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 뻗어 있는 상기 고농도 도핑부를 형성하는 단계; 를 포함하고,상기 고농도 도핑부를 형성하는 단계에서 상기 중간 도핑부를 상기 고농도 도핑부와 동시에 형성하는 태양 전지 제조 방법
13 13
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US08680490 US 미국 FAMILY
2 US20130186457 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2013186457 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US8680490 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.