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폴리우레탄을 포함한 고분자 수지를 포함하는 패드 본체; 및비스페놀A로부터 유도된 에폭시 수지 및 폴리에테르아민의 혼합물의 열경화물을 포함하는 투명창;을 포함하고, 상기 투명창은 200 내지 1,000nm의 범위에 속하는 하나의 파장에서 93%이상의 투광율을 가지며,상기 비스페놀A로부터 유도된 에폭시 수지를 포함하는 열경화성 수지가 상기 패드 본체에 포함되는 고분자 수지에 비하여 높은 경도를 가지고,상기 투명창은 패드 본체에 형성된 CMP 연마 패드
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제1항에 있어서, 상기 패드 본체에 포함된 고분자 수지는 폴리아크릴, 폴리메타크릴, 폴리카보네이트, 나일론 수지, 폴리에스테르, 폴리 이미드, 폴리 아라미드, 폴리 스티렌, 폴리 비닐 알코올, 폴리아크릴아미드, 폴리에틸렌 옥사이드, 말레산 공중합체, 메틸셀룰로오즈, 카복시메틸 셀룰로오즈 및 이들의 공중합체로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 더 포함하는 CMP 연마 패드
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제1항에 있어서,상기 패드 본체에 접착부로 결합된 쿠션층을 더 포함하는 CMP 연마 패드
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폴리우레탄을 포함한 고분자 수지를 포함하는 패드 본체에 비스페놀A로부터 유도된 에폭시 수지 및 폴리에테르아민의 혼합물의 열경화물을 포함하는 투명창을 설치하는 단계를 포함하고, 상기 투명창은 200 내지 1,000nm의 범위에 속하는 하나의 파장에서 93%이상의 투광율을 가지며,상기 비스페놀A로부터 유도된 에폭시 수지를 포함하는 열경화성 수지가 상기 패드 본체에 포함되는 고분자 수지에 비하여 높은 경도를 갖는 CMP연마 패드의 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 투명창을 패드 본체에 설치하는 단계는, 패드 본체에 투명창 설치부를 형성하는 단계;비스페놀A로부터 유도된 에폭시 수지 및 폴리에테르아민의 혼합물을 상기 투명창 설치부에 주입하는 단계; 및 상기 주입된 비스페놀A로부터 유도된 에폭시 수지 및 폴리에테르아민의 혼합물을 경화하는 단계를 포함하는 CMP연마 패드의 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 투명창을 패드 본체에 설치하는 단계는, 패드 본체에 투명창 설치부를 형성하는 단계; 및경화된 투명창을 상기 투명창 설치부에 고정하는 단계를 포함하는 CMP연마 패드의 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 투명창을 패드 본체에 설치하는 단계는, 경화된 투명창을 주형에 위치시키고 패드 본체용 고분자 수지를 상기 주형에 주입하여 수지 성형물을 형성하는 단계; 및상기 수지 성형물로부터 시트 형태의 연마 패드를 제조하는 단계를 포함하는 CMP연마 패드의 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 패드 본체 상에 쿠션층을 형성하는 단계를 더 포함하는 CMP연마 패드의 제조 방법
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제1항의 CMP 연마 패드;회전 가능한 플래튼(platen);상기 연마 패드 상에 연마 슬러리(slurry)를 공급하는 공급부; 및상기 패드 상에 연마될 웨이퍼를 도입하는 연마 헤드(head)부를 포함하는 CMP 장치
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제12항에 있어서, 연마 종결점 검출 장치를 더 포함하는 CMP 장치
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