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피처리 부재가 내부에 위치하는 확산 챔버; 및 제1 외측관을 포함하는 제1 피팅부와, 제2 외측관 및 상기 제2 외측관의 내부에 위치하는 내측관을 포함하는 제2 피팅부를 포함하는 배기관을 포함하고,상기 제1 피팅부는,제1 단부가 상기 확산 챔버의 일측에 연결되며, 상기 제1 단부에 반대되는 제2 단부에 위치하는 제1 피팅을 포함하고,상기 제2 피팅부는,제1 단부에 위치하며 상기 제1 피팅에 결합되는 제2 피팅을 포함하고,상기 내측관은,상기 제2 피팅부의 상기 제1 단부에 반대되는 제2 단부로부터 상기 제1 피팅부의 상기 제1 단부까지 연장되고, 결합부에 의해 상기 제2 피팅부의 상기 제1 및 제2 단부 각각에서 상기 제2 피팅 및 상기 제2 외측관 각각에 결합되는열 확산 장치
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제1항에 있어서, 상기 내측관은 단일 구조로 형성되고, 상기 제1 및 제2 외측관은 서로 이격된 열 확산 장치
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제1항에 있어서, 상기 제1 피팅과 상기 제2 피팅을 고정하는 고정부를 더 포함하는 열 확산 장치
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제5항에 있어서,상기 결합부가 용접에 의하여 형성되는 열 확산 장치
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9
제1항에 있어서, 상기 배기관이 석영을 포함하는 열 확산 장치
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10
열 확산 장치의 확산 챔버의 일측에서 반응 기체를 배출하는 배기관으로서, 제1 외측관을 포함하는 제1 피팅부; 및 제2 외측관 및 상기 제2 외측관의 내부에 위치하는 내측관을 포함하는 제2 피팅부를 포함하고,상기 제1 피팅부는,제1 단부가 상기 확산 챔버의 일측에 연결되며, 상기 제1 단부에 반대되는 제2 단부에 위치하는 제1 피팅을 포함하고,상기 제2 피팅부는,제1 단부에 위치하며 상기 제1 피팅에 결합되는 제2 피팅을 포함하고,상기 내측관은,상기 제2 피팅부의 상기 제1 단부에 반대되는 제2 단부로부터 상기 제1 피팅부의 상기 제1 단부까지 연장되고, 결합부에 의해 상기 제2 피팅부의 상기 제1 및 제2 단부 각각에서 상기 제2 피팅 및 상기 제2 외측관 각각에 결합되는열 확산 장치용 배기관
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제10항에 있어서, 상기 내측관은 단일 구조로 형성되고, 상기 제1 및 제2 외측관은 서로 이격된 열 확산 장치용 배기관
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