| 1 |
1
기판이 배치되는 챔버(Chamber);상기 챔버내로 가스를 공급하는 가스 배출구;오리피스들이 형성되지 않는 배플 구조를 가지고, 상기 가스배출구로부터 공급되는 가스를 분산시키는 분산부; 복수의 오리피스를 구비하고, 상기 분산부로부터 공급되는 상기 가스를 복수의 오리피스를 통하여 분배하는 적어도 하나의 분배판; 및상기 적어도 하나의 분배판 하부에 배치되며, 상기 기판을 지지하는 받침대;를 포함하며, 상기 적어도 하나의 분배판 중에서 상기 기판과 가장 인접한 분배판과 상기 기판 사이의 간격은 상기 기판과 가장 인접한 분배판과 상기 분산부 사이의 간격보다 좁고,상기 받침대는 상기 기판은 중심 부분보다 가장 자리 부분에 상대적으로 더 높은 열을 가하는 태양전지의 제조장치
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 적어도 하나의 분배판은 복수의 제2 오리피스를 구비하고, 상기 분산부로부터 공급되는 상기 가스를 상기 복수의 제2 오리피스를 통하여 분배하는 제2 분배판; 및복수의 제1 오리피스를 구비하고, 상기 제 2 분배판을 통과한 가스를 상기 복수의 제1 오리피스를 통하여 다시 분배하여 하단에 배치되는 상기 기판의 상부에 미세결정 실리콘층을 증착하는 제 1 분배판;을 포함하고,상기 제 2 분배판의 제2 오리피스는 상기 제 1 분배판의 제1 오리피스에 비해 간격 및 폭 중 적어도 하나가 다른 태양전지의 제조장치
|
| 3 |
3
제 2 항에 있어서,상기 제 1 분배판의 제1 오리피스들의 간격은 상기 제 2 분배판의 제2 오리피스들의 간격보다 작은 태양전지의 제조장치
|
| 4 |
4
제 2 항에 있어서,상기 제 1 분배판의 제1 오리피스의 폭은 상기 제 2 분배판의 제2 오리피스의 폭보다 작은 태양전지의 제조장치
|
| 5 |
5
제 2 항에 있어서,상기 제 2 분배판의 제2 오리피스들의 개수는 상기 제 1 분배판의 제1 오리피스들의 개수의 절반 이하인 태양전지의 제조장치
|
| 6 |
6
제 2 항에 있어서,상기 제 1 분배판, 상기 제 2 분배판 또는 상기 분산부 중 적어도 하나는 알루미늄 재질(Al)을 포함하는 태양전지의 제조장치
|
| 7 |
7
제 2 항에 있어서,상기 기판과 상기 제 1 분배판 사이의 간격은 상기 제 1 분배판과 상기 분산부 사이의 간격보다 작은 태양전지의 제조장치
|
| 8 |
8
제 7 항에 있어서,상기 기판과 상기 제 1 분배판 사이의 간격은 상기 제 1 분배판과 상기 제 2 분배판 사이의 간격 및 상기 제 2 분배판과 상기 분산부 사이의 간격 중 적어도 어느 하나보다 작은 태양전지의 제조장치
|
| 9 |
9
삭제
|
| 10 |
10
삭제
|
| 11 |
11
삭제
|
