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제1 도전성 타입을 갖는 기판을 제1 챔버에 위치시키는 단계,상기 기판의 제1 면 중 제1 영역을 드러내는 제1 부분을 구비한 제1 개구부가 형성된 제1 마스크를 상기 기판의 제1 면 위에 위치시키는 단계,상기 제1 마스크가 위치한 상기 기판의 제1 면 쪽에 상기 제1 도전성 타입과 다른 제2 도전성 타입을 갖는 제1 불순물 이온을 주입하여 상기 기판의 상기 제1 면의 상기 제1 영역에 제1 불순물부를 형성하는 단계,상기 제1 마스크를 제거하는 단계,상기 제1 불순물부를 구비한 상기 기판을 제2 챔버에 위치시키는 단계,상기 기판의 제1 면 중 제2 영역을 드러내는 제1 부분을 구비한 제2 개구부가 형성된 제2 마스크를 상기 기판의 제1 면 위에 위치시키는 단계,상기 제2 마스크가 위치한 상기 기판의 상기 제1 면 쪽에 상기 제1 도전성 타입을 갖는 제2 불순물 이온을 주입하여 상기 기판의 제1 면 중 제2 영역에 제2 불순물부를 형성하는 단계,상기 제1 및 제2 불순물부를 구비한 상기 기판을 열처리하여 상기 제1 및 제2 불순물부를 활성화시켜, 제1 불순물부를 에미터부로 형성하고 제2 불순물부를 전계부로 형성하는 단계, 그리고상기 에미터부와 연결된 제1 전극과 상기 전계부에 연결된 제2 전극을 형성하는 단계를 포함하고,상기 기판의 상기 제1 영역은 상기 기판의 제2 영역과 상이하고,상기 제1 개구부의 제1 부분의 폭과 상기 에미터부의 폭의 비, 그리고 상기 제2 개구부의 제1 부분의 폭과 상기 전계부의 폭의 비 중 하나는 0
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제1항에서,상기 제1 개구부는 상기 기판의 제1 면 중 제3 영역을 드러내는 제2 부분을 더 구비하고 있고,상기 제2 개구부는 상기 기판의 제1 면 중의 제4 영역을 드러내는 제2 부분을 더 구비하고 있으며,상기 제1 불순물부 형성 단계는 상기 기판의 제3 영역에 상기 제1 불순물 이온을 주입하여, 상기 제1 불순물부는 상기 기판의 제3 영역에 더 형성되고,상기 제2 불순물부 형성 단계는 상기 기판의 제4 영역에 상기 제2 불순물 이온을 주입하여 상기 제2 불순물부는 상기 기판의 상기 제4 영역에 더 형성되고,상기 에미터부 및 전계부 형성 단계에서, 상기 에미터부는 상기 기판의 제3 영역에 더 형성되고, 상기 전계부는 상기 기판의 제4 영역에 더 형성되고,상기 제1 및 제2 전극 형성 단계는 상기 기판의 제3 영역에 형성된 에미터부와 연결된 제1 버스바와 상기 기판의 제4 영역에 형성된 전계부와 연결된 제2 버스바를 추가로 형성하는 태양 전지의 제조 방법
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제2항에서,상기 제1 개구부의 제2 부분의 폭은 상기 제2 개구부의 제2 부분의 폭과 상이한 태양 전지의 제조 방법
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제3항에서,상기 제1 개구부의 제2 부분의 폭과 상기 에미터부의 폭의 비, 그리고 상기 제2 개구부의 제2 부분의 폭과 상기 전계부의 폭의 비 중 하나는 0
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5
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에서,상기 제1 도전성 타입은 n형이고, 상기 제2 도전성 타입은 p형인 태양 전지의 제조 방법
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6
제5항에서,상기 제1 개구부의 제1 부분의 폭에 대한 상기 에미터부의 폭의 비는 0
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7
제5항에서,상기 제1 개구부의 제2 부분의 폭에 대한 상기 에미터부의 폭의 비는 0
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8
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에서,상기 제1 도전성 타입은 p형이고, 상기 제2 도전성 타입은 n형인 태양 전지의 제조 방법
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9
제8항에서,상기 제1 개구부의 제1 부분의 폭에 대한 상기 에미터부의 폭의 비는 0
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10
제8항에서,상기 제1 개구부의 제2 부분의 폭에 대한 상기 에미터부의 폭의 비는 0
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제1항에서,상기 에미터부의 폭은 600㎛ 내지 800㎛이고, 상기 전계부의 폭은 200㎛ 내지 400㎛인 태양 전지의 제조 방법
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제1항에서,상기 제1 개구부의 제1 부분의 폭은 상기 제2 개구부의 상기 제1 부분의 폭과 상이한 태양 전지의 제조 방법
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13
제1항에서,상기 제1 및 제2 불순물부 활성화 단계는 950℃ 내지 1100℃의 온도에서 행해지는 태양 전지의 제조 방법
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14
제1항에서,상기 기판의 상기 제1 면의 반대편에 위치하는 상기 기판의 제2 면 위에 제1 보호부를 형성하는 단계를 더 포함하는 태양 전지의 제조 방법
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제14항에서,상기 제1 보호부 위에 반사 방지부를 형성하는 단계를 더 포함하는 태양 전지의 제조 방법
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