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가스 유입관 및 가스 배출관을 포함하는 확산 튜브; 및상기 가스 배출관을 통해 배출된 불순물 가스가 유입되는 응축 튜브 및 상기 응축 튜브를 냉각하는 냉각부를 포함하는 응축기를 포함하며,상기 응축 튜브의 내부에는 상기 불순물 가스의 유동 속도를 감소시키는 복수의 블레이드가 위치하는 불순물 확산 시스템
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제1항에서,상기 블레이드가 위치하는 부분의 가스 유동 통로의 크기는 상기 블레이드가 위치하지 않는 부분의 가스 유동 통로의 크기에 비해 작게 형성되는 불순물 확산 시스템
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제2항에서,상기 블레이드가 위치하는 부분의 가스 유동 통로의 크기는 상기 블레이드가 위치하지 않는 부분의 가스 유동 통로의 크기의 0
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제2항에서,상기 블레이드의 높이는 상기 응축 튜브의 상기 내측 반지름 이상으로 형성되는 불순물 확산 시스템
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제2항에서,상기 블레이드는 상기 확산 튜브의 가스 배출관을 향해 경사지게 설치되는 불순물 확산 시스템
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제2항에서,상기 블레이드는 반달 형상으로 형성되는 불순물 확산 시스템
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제5항에서,상기 반달 형상의 블레이드는 상기 응축 튜브의 상측 내면과 하측 내면에 번갈아 가며 위치하는 불순물 확산 시스템
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제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에서,상기 냉각부는 상기 응축 튜브를 둘러싸는 서스(SUS) 재질의 냉각 자켓(jacket) 및 상기 냉각 자켓의 내부를 순환하는 냉각수를 포함하는 불순물 확산 시스템
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