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A) a) i) 불포화 카르복시산, 불포화 디카르복시산 무수물, 히드록시기를 갖는 불포화 화합물 또는 이들의 혼합물, ii) 입체장애(steric hindrance)를 지닌 벌키(bulky)한 알킬시클로기를 포함하는 불포화 화합물 및 iii) 에폭시기를 갖는 불포화 화합물로 중합된 중량평균분자량 7540 내지 8920 의 수지와; b) a)와 동일한 조성으로 중합된 중량평균분자량 4370 내지 6750 의 수지의 혼합물로 이루어진 알칼리 가용성 수지; B) 감광성 산발생제; C) 접착력 증진제 ; D) 계면활성제 및 E) 유기 용매를 포함하고,상기 A) a) iii) 에폭시기를 갖는 불포화 화합물은 총 단량체 100 중량부에 대하여 3 내지 60 중량부를 사용하며, 상기 A) 알칼리 가용성 수지의 함유량은 총 수지량 100 중량부에 대해 중량평균분자량 7540 내지 8920 의 수지 (a) 51 내지 68 중량부와, 동일한 조성을 지닌 중량평균분자량 4370 내지 6750 의 수지 (b) 32 내지 49 중량부를 혼합하여 사용하고,상기 C) 접착력 증진제는 A) 알칼리 가용성 수지 100 중량부에 대해 0
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청구항 1에 있어서, 상기 A) a) i)의 불포화 카르복시산, 불포화 디카르복시산 무수물, 히드록시기를 갖는 불포화 화합물 또는 이들의 혼합물은 (메타)아크릴산, 크로톤산, 말레인산, 푸마르산, 시트라콘산, 메타콘산, 이타콘산, (메타)아크릴산히드록시메틸, (메타)아크릴산 2-히드록시에틸, (메타)아크릴산 2-히드록시프로필, (메타)아크릴산 3-히드록시프로필, (메타)아크릴산 4-히드록시부틸, 디에틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 프로필렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 모노[2-(메타)아크릴로일옥시에틸]글리코사이드 및 (메타)아크릴산 4-히드록시페닐로 이루어진 군으로부터 선택된 단독 또는 2종 이상의 화합물을 혼합하여 사용하는 것을 특징으로 하는 유기 절연막용 감광성 수지 조성물
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청구항 1에 있어서, 상기 A) a) i)의 불포화 카르복시산, 불포화 디카르복시산 무수물, 히드록시기를 갖는 불포화 화합물은 총 단량체 100 중량부에 대하여 3 내지 40 중량부를 사용하는 것을 특징으로 하는 유기 절연막용 감광성 수지 조성물
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청구항 1에 있어서, 상기 A) a) ii) 입체장애를 지닌 벌키(bulky)한 알킬시클로기를 포함하는 불포화 화합물은 (메타)아크릴산 시클로펜틸, (메타)아크릴산 시클로헥실, (메타)아크릴산 2-메틸시클로헥실, (메타)아크릴산 디시클로펜타닐옥시에틸, (메타)아크릴산 디시클로펜테닐옥시에틸, (메타)아크릴산 트리시클로[5
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청구항 1에 있어서, 상기 A) a) ii) 입체장애를 지닌 벌키(bulky)한 알킬시클로기를 포함하는 불포화 화합물은 총 단량체 100 중량부에 대하여 3 내지 60 중량부를 사용하는 것을 특징으로 하는 유기 절연막용 감광성 수지 조성물
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청구항 1에 있어서, 상기 A) a) iii) 에폭시기를 갖는 불포화 화합물은 (메타)아크릴산글리시딜, (메타)아크릴산3,4-에폭시부틸, (메타)아크릴산6,7-에폭시헵틸, (메타)아크릴산2,3-에폭시시클로펜틸, (메타)아크릴산3,4-에폭시시클로헥실, α-에틸아크릴산글리시딜, α-에틸아크릴산6,7-에폭시헵틸, α-n-프로필아크릴산글리시딜, α-n-부틸아크릴산글리시딜로 이루어진 군으로부터 선택된 단독 또는 2종 이상의 화합물을 혼합하여 사용하는 것을 특징으로 하는 유기 절연막용 감광성 수지 조성물
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청구항 1에 있어서, 상기 E)의 유기 용매는 아세톤, 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤, 사이클로펜타논, 사이클로헥사논, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노프로필에테르, 에틸렌글리콜모노부틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노프로필에테르, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 메틸아세테이트, 에틸아세테이트, 부틸아세테이트, 메틸프로피오네이트, 에틸프로피오네이트, 3-메톡시메틸프로피오네이트, 에틸락테이트, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트 및 디프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트로 이루어진 군으로부터 선택된 단독 또는 2종 이상의 화합물을 혼합하여 사용하는 것을 특징으로 하는 유기 절연막용 감광성 수지 조성물
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청구항 1에 있어서, 상기 유기 절연막용 감광성 수지 조성물의 고형분 농도는 총 유기 절연막용 감광성 수지 조성물 100 중량부에 대해 5 내지 65 중량부인 것을 특징으로 하는 유기 절연막용 감광성 수지 조성물
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가) 기재 상에 청구항 1 내지 6, 10, 및 11 중 어느 한 항의 유기 절연막용 감광성 수지 조성물을 코팅하는 단계;나) 상기 조성물을 프리베이크하여 유기 절연막을 형성하는 단계;다) 상기 유기 절연막을 노광 및 현상하여 패턴화하는 단계; 및라) 상기 패턴화된 유기 절연막을 후노광 및 포스트베이크 하는 단계를 포함하는 유기 절연막의 제조방법
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청구항 12에 있어서, 상기 가)의 기재는 플라스틱 기판, 유리기판, 금속기판, 실리콘 웨이퍼 또는 SiO2 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 유기 절연막의 제조방법
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청구항 12에 있어서, 상기 나)의 프리베이크는 60 내지 115℃에서 1 내지 17분 동안 수행하는 것을 특징으로 하는 유기 절연막의 제조방법
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청구항 12에 있어서, 상기 나)의 프리베이크에 의해 형성된 유기 절연막의 두께가 3 내지 6㎛인 것을 특징으로 하는 유기 절연막의 제조방법
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청구항 12에 있어서, 상기 라)의 후노광은 200 내지 500mJ/㎠의 에너지를 사용하는 것을 특징으로 하는 유기 절연막의 제조방법
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청구항 12에 있어서, 상기 라)의 포스트베이크는 120 내지 250℃에서 10 내지 60분간 수행하는 것을 특징으로 하는 유기 절연막의 제조방법
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청구항 1 내지 6, 10, 및 11 중 어느 한 항의 유기 절연막용 감광성 수지 조성물로부터 제조된 유기절연막
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청구항 18의 유기 절연막을 포함하는 반도체소자
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청구항 18의 유기 절연막을 포함하는 액정표시소자
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