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서로 반대되는 제1 면 및 제2 면을 구비하며, 제1 도전형 도펀트를 포함하는 반도체 기판을 준비하는 단계; 상기 반도체 기판의 상기 제1 면 및 상기 제2 면을 식각하여 제1 요철을 형성하는 단계; 상기 반도체 기판의 상기 제1 면 및 상기 제2 면에 제2 도전형 도펀트를 도핑하여 에미터층을 형성하는 단계; 상기 반도체 기판의 상기 제2 면을 식각하여 상기 제2 면에서 상기 에미터층을 제거하면서 상기 제1 요철과 다른 형상의 제2 요철을 형성하는 단계; 및 상기 반도체 기판의 상기 제2 면에 제2 도전형 도펀트를 도핑하여 후면 전계층을 형성하는 단계 를 포함하는 태양 전지의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제2 요철은 적어도 일부가 라운드진 태양 전지의 제조 방법
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제2항에 있어서, 상기 제2 요철은 상기 제2 면 상에 불규칙하게 분포하는 태양 전지의 제조 방법
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제2항에 있어서, 상기 제1 요철은 각진 부분을 포함하고, 상기 제2 요철을 형성하는 단계에서는, 상기 제2 면의 상기 제1 요철의 각진 부분이 식각되어 라운드진 형상을 가지는 상기 제2 요철이 형성되는 태양 전지의 제조 방법
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제2항에 있어서, 상기 제1 요철은 피라미드 형상을 포함하고,상기 제2 요철은 유충(wormlike) 형상을 포함하는 태양 전지의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 제2 요철을 형성하는 단계에서는 상기 반도체 기판의 상기 측면을 함께 식각하는 태양 전지의 제조 방법
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7
제1항에 있어서, 상기 제2 요철을 형성하는 단계에서는 상기 반도체 기판의 상기 제2 면을 2~4㎛의 두께만큼 식각하는 태양 전지의 제조 방법
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8
제1항에 있어서, 상기 제2 요철을 형성하는 단계는 습식 식각 방법에 의해 수행되는 태양 전지의 제조 방법
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9
제8항에 있어서, 상기 제1 요철을 형성하는 단계에서는, 알칼리 용액을 이용한 습식 식각 방법에 의해 수행되고, 상기 제2 요철을 형성하는 단계에서는, 산성 용액을 이용한 습식 식각 방법에 의해 수행되는 태양 전지의 제조 방법
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10
제1항에 있어서, 상기 제2 요철을 형성하는 단계는, 상기 에미터층을 형성하는 단계와 상기 후면 전계층을 형성하는 단계 사이에서의 인라인(inline) 공정에 의해 수행되는 태양 전지의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 에미터층을 형성하는 단계가 수행되는 장비와 상기 후면 전계층을 형성하는 단계가 수행되는 장비 사이에, 식각 용액을 수용하며 자동 이송 부재가 위치하는 프레임이 위치하고, 상기 제2 요철을 형성하는 단계는 상기 반도체 기판의 상기 제2 면이 상기 자동 이송 부재 쪽에 위치한 상태로 상기 자동 이송 부재 상에서 이동하면서 수행되는 태양 전지의 제조 방법
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제11항에 있어서,상기 자동 이송 부재는 복수의 롤을 포함하는 태양 전지의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 에미터층을 형성하는 단계는 열확산 방법에 의하여 수행되고, 상기 후면 전계층을 형성하는 단계는 이온 주입법에 의하여 수행되는 태양 전지의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제1 도전형 도펀트가 n형 도펀트를 포함하며,상기 제2 도전형 도펀트가 p형 도펀트를 포함하는 태양 전지의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 후면 전계층을 형성하는 단계 이후에, 상기 반도체 기판의 상기 제1 면의 불순물을 제거하고 상기 제2 면을 세정하는 단계 를 포함하는 태양 전지의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 후면 전계층을 형성하는 단계 이후에, 상기 반도체 기판의 상기 제1 면에 반사 방지막을 형성하고 상기 제2 면에 패시베이션 막을 형성하는 단계; 및 상기 반도체 기판에 전극을 형성하는 단계를 포함하는 태양 전지의 제조 방법
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서로 반대되는 제1 면 및 제2 면을 구비하며, 제1 도전형 도펀트를 포함하는 반도체 기판;상기 반도체 기판의 상기 제1 면에 형성되며, 제2 도전형 도펀트를 포함하는 에미터층; 상기 반도체 기판의 상기 제2 면에 형성되며, 제1 도전형 도펀트를 포함하는 후면 전계층; 상기 에미터층에 전기적으로 연결되는 제1 전극; 및상기 후면 전계층에 전기적으로 연결되는 제2 전극 을 포함하고, 상기 반도체 기판의 상기 제1 면에 각진 부분을 포함하는 제1 요철이 형성되고, 상기 반도체 기판의 상기 제2 면에 상기 제1 요철과 다른 형상을 가지도록 라운드진 형상을 가지는 제2 요철이 형성되는 태양 전지
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제17항에 있어서, 상기 제1 요철은 피라미드 형상을 포함하고,상기 제2 요철은 유충(wormlike) 형상을 포함하는 태양 전지
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제17항에 있어서, 상기 제2 요철은 상기 제2 면 상에 불규칙하게 분포하는 태양 전지
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제17항에 있어서,상기 제1 면의 반사도가 상기 제2 면의 반사도보다 낮은 태양 전지
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