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웨이퍼 연마장치 및 웨이퍼를 연마하는 방법

  • 기술번호 : KST2015067465
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 웨이퍼 연마장치 및 웨이퍼를 연마하는 방법이 개시된다. 웨이퍼 연마장치는 하정반; 상기 하정반 상에 배치되는 상정반; 상기 하정반 및 상기 상정반 사이에 배치되는 캐리어; 상기 캐리어를 구동하고, 상기 상정반의 주위에 배치되는 기어부; 및 상기 기어부에 배치되고, 상기 상정반의 외곽에 접촉되는 지지부를 포함한다.
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC B24B 37/04(2013.01) B24B 37/04(2013.01)
출원번호/일자 1020120020577 (2012.02.28)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1285897-0000 (2013.07.08)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20130712) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.02.28)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김동환 대한민국 서울 서초구
2 오현정 대한민국 대구 수성구
3 이재훈 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2012-0165093-12
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.02.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0086100-49
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.04.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0298826-92
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.04.05 수리 (Accepted) 1-1-2013-0298827-37
5 등록결정서
Decision to grant		 2013.07.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0456928-59
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하정반;상기 하정반 상에 배치되는 상정반;상기 하정반 및 상기 상정반 사이에 배치되는 캐리어;상기 캐리어를 구동하고, 상기 상정반의 주위에 배치되는 선 기어부 및 외곽 기어부; 및상기 외곽 기어부에 배치되고, 상기 상정반의 외곽에 접촉되는 지지부를 포함하고,상기 지지부는 상기 상정반의 측면을 따라 롤링하면서 상기 상정반을 지지하는 웨이퍼 연마장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 지지부는상기 외곽 기어부에 대하여 힌지 구동 가능하도록 고정되는 힌지부;상기 힌지부에 회전 가능하도록 고정되는 롤러부; 및상기 힌지부의 끝단에 배치되고, 상기 외곽 기어부에 고정되는 힌지축을 포함하는 웨이퍼 연마장치
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 롤러부는 상기 상정반과 직접 접촉되는 웨이퍼 연마장치
4 4
제 2 항에 있어서, 상기 외곽 기어부에 고정되고, 상기 힌지부의 측면에 배치되는 스톱퍼를 포함하는 웨이퍼 연마장치
5 5
제 2 항에 있어서, 상기 지지부는 복수개이며, 서로 동일한 간격으로 이격되는 웨이퍼 연마장치
6 6
서로 대향되는 상정반 및 하정반 사이에 캐리어를 배치시키고, 상기 캐리어 내에 웨이퍼를 배치시키는 단계;상기 캐리어를 구동하기 위한 선 기어부 및 외곽 기어부를 구비하는 단계;상기 외곽 기어부에 고정되는 지지부를 상기 상정반의 외곽에 접촉시키는 단계; 및상기 지지부는 상기 상정반의 측면을 따라 롤링하면서 상기 상정반을 지지하도록 배치되며, 상기 선 기어부 및 외곽 기어부를 통하여 상기 캐리어를 구동시켜서, 상기 웨이퍼를 연마하는 단계를 포함하는 웨이퍼를 연마하는 방법
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 지지부는상기 외곽 기어부에 대하여 힌지 구동 가능하도록 고정되는 힌지부;상기 힌지부에 회전 가능하도록 고정되고, 상기 상정반의 외곽에 접촉되는 롤러부; 및상기 힌지부의 끝단에 배치되고, 상기 외곽 기어부에 고정되는 힌지축을 포함하고,상기 롤러부가 상기 상정반의 외주면을 따라서 롤링되면서, 상기 선 기어부 및 외곽 기어부가 상기 캐리어를 구동하는 웨이퍼를 연마하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.