맞춤기술찾기

이전대상기술

저반사 필름용 마스터 몰드 제조방법 및 그 제조방법을 이용한 저반사 필름용 마스터 몰드

  • 기술번호 : KST2015067466
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 저반사 필름용 마스터 몰드 제조방법에 관한 것으로, (a) 하드 마스크층이 적층된 기판을 마련하는 단계; (b) 적어도 2번의 나노 임프린트 공정을 이용하여 상기 하드 마스크층을 패터닝하는 단계; 및 (c) 상기 패터닝된 하드 마스크층을 이용하여 상기 기판을 패터닝하는 단계를 포함한다.
Int. CL B29C 33/42 (2006.01) B29C 59/02 (2006.01) B29D 11/00 (2006.01)
CPC B29C 33/3842(2013.01) B29C 33/3842(2013.01) B29C 33/3842(2013.01) B29C 33/3842(2013.01) B29C 33/3842(2013.01) B29C 33/3842(2013.01) B29C 33/3842(2013.01)
출원번호/일자 1020120021332 (2012.02.29)
출원인 주식회사 엘지화학
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0099656 (2013.09.06) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020150131722;
심사청구여부/일자 Y (2013.11.29)
심사청구항수 14

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 박정호 대한민국 대전 유성구
2 이종병 대한민국 대전 중구
3 신부건 대한민국 대전 유성구
4 김태수 대한민국 대전 중구
5 김재진 대한민국 대전 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.02.29 수리 (Accepted) 1-1-2012-0170238-53
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.12.04 수리 (Accepted) 1-1-2012-1004150-64
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2013.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2013-1093190-89
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.11.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.12.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2014-0049890-80
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.12.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0898329-00
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5000389-31
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.02.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0195374-98
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-0195375-33
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.06.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0439232-16
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2015.07.30 보정각하 (Rejection of amendment) 1-1-2015-0742304-99
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-0742303-43
13 보정각하결정서
Decision of Rejection for Amendment
2015.08.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0593027-31
14 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.08.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0593028-87
15 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2015.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2015-0906837-14
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.12.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5161532-51
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.11.12 수리 (Accepted) 4-1-2018-5227604-80
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5261818-30
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164284-96
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 하드 마스크층이 적층된 기판을 마련하는 단계;(b) 적어도 2번의 나노 임프린트 공정을 이용하여 상기 하드 마스크층을 패터닝하는 단계; 및(c) 상기 패터닝된 하드 마스크층을 이용하여 상기 기판을 패터닝하는 단계 및(d) 상기 패터닝된 기판을 식각하여 상기 기판의 상부방향으로 유효 굴절률이 점진적으로 변하는 구조의 저반사 형상을 갖도록 패터닝하는 단계를 포함하는 저반사필름용 마스터 몰드 제조방법
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 (d) 단계에서 형성된 저반사 형상은 모스 아이(moth eye) 형상인 저반사 필름용 마스터 몰드 제조방법
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 (b) 단계는,(b-1) 상기 하드 마스크층 상에 제1 레지스트층을 형성하는 단계;(b-2) 상호 평행한 제1 패턴이 형성된 스템퍼를 임프린트하여 상기 제1 레지스트층을 패터닝하는 단계;(b-3) 상기 패터닝된 제1 레지스트층을 이용하여 상기 하드 마스크층을 패터닝하는 단계;(b-4) 상기 하드 마스크층 상에 제2 레지스트층을 도포하는 단계;(b-5) 상기 제1 패턴과 교차하는 제2 패턴이 형성된 스템퍼를 임프린트하여 상기 제2 레지스트층을 패터닝하는 단계; 및(b-6) 상기 패터닝된 제2 레지스트층을 이용하여 상기 하드 마스크층을 패터닝하는 단계를 포함하는 저반사 필름용 마스터 몰드 제조방법
4 4
청구항 3에 있어서, 상기 (b-3) 단계와 상기 (b-4) 단계 사이 및 상기 (b-5) 단계 이후에 상기 제1 레지스트층 또는 상기 제2 레지스트층을 제거하는 단계를 더 포함하는 저반사 필름용 마스터 몰드 제조방법
5 5
청구항 3에 있어서, 상기 제1 패턴과 상기 제2 패턴은 직교하는 것인 저반사 필름용 마스터 몰드 제조방법
6 6
청구항 3에 있어서, 상기 제1 패턴과 상기 제2 패턴은 기울기를 갖고 교차하는 것인 저반사 필름용 마스터 몰드 제조방법
7 7
청구항 3에 있어서, 상기 제1 패턴과 상기 제2 패턴의 단차비가 동일한 것인 저반사 필름용 마스터 몰드 제조방법
8 8
청구항 3에 있어서, 상기 제1 패턴과 상기 제2 패턴의 단차비가 서로 다른 것인 저반사 필름용 마스터 몰드 제조방법
9 9
청구항 1에 있어서, 상기 하드 마스크층은 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 구리(Cu), 니켈(Ni), 탄탈륨(Ta), 철(Fe), 금(Au), 은(Ag) 또는 몰리브덴(Mo)으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상으로 이루어진 것인 저반사 필름용 마스터 몰드 제조방법
10 10
청구항 1에 있어서, 상기 기판은 11cm×11cm 이상의 대면적인 저반사 필름용 마스터 몰드 제조방법
11 11
청구항 1에 있어서, 상기 (c) 단계에서 패터닝된 기판은 패턴의 단차비가 0
12 12
청구항 1에 따라 제조된 저반사 필름용 마스터 몰드
13 13
패턴의 단차비가 0
14 14
청구항 13에 있어서, 상기 저반사 형상은 모스 아이(moth eye) 형상인 저반사 필름용 마스터 몰드
15 15
청구항 12 또는 13의 저반사 필름용 마스터 몰드를 이용하여 제조된 저반사 필름
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR1020150111342 KR 대한민국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.