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온도 측정 장치, 웨이퍼 열처리 장치 및 웨이퍼 열처리 방법

  • 기술번호 : KST2015067542
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  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 온도 측정 장치, 이를 포함하는 웨이퍼 열처리 장치 및 웨이퍼 열처리 방법이 개시된다. 온도 측정 장치는 하나 이상의 홈이 형성되는 웨이퍼; 및 상기 홈 내에 배치되는 온도 측정부를 포함한다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01) H01L 21/324 (2006.01)
CPC H01L 21/67248(2013.01) H01L 21/67248(2013.01) H01L 21/67248(2013.01)
출원번호/일자 1020120020869 (2012.02.29)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1379149-0000 (2014.03.21)
공개번호/일자 10-2013-0099392 (2013.09.06) 문서열기
공고번호/일자 (20140328) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.02.29)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재영 대한민국 경북 문경시
2 용문석 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.02.29 수리 (Accepted) 1-1-2012-0167192-70
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0291908-76
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.06.10 수리 (Accepted) 1-1-2013-0509219-82
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.06.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0509218-36
5 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2013.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0751319-51
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.12.11 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-1133393-78
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2013-1133395-69
8 등록결정서
Decision to grant
2014.01.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0033139-22
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하나 이상의 홈이 형성되는 웨이퍼; 및상기 홈 내에 배치되는 온도 측정부;를 포함하고,상기 온도 측정부는, 열 기전력을 생성하기 위하여 전기적 특성이 상이한 제 1 배선과 제 2 배선을 갖는 금속배선과, 상기 금속배선으로부터 상기 열 기전력을 입력 받아 상기 홈의 온도를 측정하는 단자부를 포함하는 것을 특징으로 하는 온도 측정 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 홈은 상기 웨이퍼의 상면에 대하여 경사지는 내측면을 포함하는 온도 측정 장치
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 홈의 폭은 상기 홈의 바닥에서 상기 홈의 입구에 가까워질수록 작아지는 온도 측정 장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 배선과 제2 배선을 둘러싸고, 상기 웨이퍼 상에 배치되는 절연 튜브를 더 포함하는 온도 측정 장치
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 절연 튜브는 석영을 포함하는 온도 측정 장치
6 6
제 4 항에 있어서, 상기 절연 튜브 및 상기 웨이퍼 사이에 개재되고,상기 절연 튜브 및 상기 웨이퍼에 접착되는 접착층을 포함하는 온도 측정 장치
7 7
삭제
8 8
제 4 항에 있어서, 상기 제 1 배선과 상기 제 2 배선은 연결되어 상기 웨이퍼의 바깥으로 연장되고, 상기 연장된 제1 및 제 2 배선을 둘러싸는 절연막을 포함하며상기 절연막은 띠 형상을 가지는 온도 측정 장치
9 9
챔버; 및상기 챔버 내에 온도 측정 장치를 포함하고,상기 온도 측정 장치는하나 이상의 홈이 형성되는 웨이퍼; 상기 홈 내에 배치되고, 열 기전력을 생성하기 위하여 전기적 특성이 상이한 제 1 배선과 제 2 배선을 갖는 금속배선; 및상기 금속배선으로부터 열 기전력을 입력 받아 상기 홈의 온도를 측정하는 단자부;를 포함하는 웨이퍼 열처리 장치
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 온도 측정 장치 아래에 배치되고, 상기 온도 측정 장치를 지지하는 지지부를 포함하고,상기 홈은 상기 지지부에 대응하여 형성되는 웨이퍼 열처리 장치
11 11
삭제
12 12
삭제
13 13
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.