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마이크로웨이브 에너지를 발생시키는 마이크로웨이브 발생기;상기 마이크로웨이브가 공진되는 공진기;상기 공진기의 내부에 수용되어 상기 마이크로웨이브를 유도하고, 내부로 유입되는 기체를 상기 유도된 마이크로웨이브에 의해 진동시켜서 플라즈마 열량을 염공으로 배출하는 도파관; 및상기 마이크로웨이브의 발진주파수 또는 파워에 따라, 상기 마이크로웨이브의 공진 주파수를 제어하기 위해 상기 공진기 및 도파관 중 적어도 하나의 상하 높이를 조절하는 제어신호를 생성하는 제어유닛;을 포함하고,상기 공진기 및 도파관 중 적어도 하나는 상기 제어신호에 따라 상하 높이가 변경되도록 형성되며,상기 제어유닛은,상기 마이크로웨이브 발생기로부터 제공받은 파워값을 미리정해진 값과 비교하고, 현재 마이크로웨이브의 발진주파수 또는 파워가 조절되도록, 상기 공진기 내의 마이크로웨이브의 공진 주파수를 제어하는 상기 제어신호를 생성하는 것을 특징으로 하는,마이크로웨이브 가스버너
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제1 항에 있어서,상기 제어유닛은,상기 마이크로웨이브 발생기에 의해 검출된 마이크로웨이브의 파워에 따라, 상기 마이크로웨이브의 발진 주파수의 크기 및 파워를 제어하는 피드백 신호를 출력하는 것을 특징으로 하는,마이크로웨이브 가스버너
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제2 항에 있어서,상기 마이크로웨이브 발생기는,상기 마이크로웨이브의 파워를 검출하는 파워 검출 수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는,마이크로웨이브 가스버너
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제2 항에 있어서,상기 마이크로웨이브 발생기는,상기 마이크로웨이브의 발진 주파수와 상기 공진 주파수의 변동을 감시하는 주파수 감시 수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는,마이크로웨이브 가스버너
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삭제
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제1 항에 있어서,상기 공진기는, 금속 또는 유전체로 이루어지는 것을 특징으로 하는,마이크로웨이브 가스버너
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제1 항에 있어서,상기 공진 주파수는, 300MHz 내지 10GHz 범위 내인 것을 특징으로 하는,마이크로웨이브 가스버너
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