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도가니 보호막 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015067797
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 실리콘 질화물로 잉곳용 도가니 보호막을 제조하는 방법에 관한 것으로, 이는 유기 바인더를 사용하지 않아 불순물 오염 방지가 가능하고, 물과 실리콘 질화물 혼합물을 사용하기 때문에 제조가 간편하며, 실리콘 질화물 입자간 결합을 강화하여 잉곳용 충진 원료와의 접촉에 의해 벗겨지는 문제 해결이 가능한 강도가 높은 장점이 있고, 또한 도가니 하부 보호막의 두께 및 밀도를 변화시켜 단결정 또는 다결정 구조를 제어하였다. 그 결과 이러한 보호막을 포함하는 도가니를 이용하면 유사 단결정 또는 다결정 실리콘 잉곳을 제조할 시 단결정 또는 다결정 구조 제어가 용이하고, 유기 바인더 사용으로부터 야기되는 불순물 오염 최소화가 가능하여 고 품질의 실리콘 잉곳 제조가 가능하다.
Int. CL C30B 11/00 (2006.01) H01L 31/042 (2014.01) C30B 15/10 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01)
CPC C30B 15/10(2013.01) C30B 15/10(2013.01) C30B 15/10(2013.01) C30B 15/10(2013.01)
출원번호/일자 1020120036625 (2012.04.09)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-1431457-0000 (2014.08.12)
공개번호/일자 10-2013-0114353 (2013.10.18) 문서열기
공고번호/일자 (20140822) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.04.09)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문상진 대한민국 대전 유성구
2 소원욱 대한민국 대전 유성구
3 박동순 대한민국 대전 서구
4 구명회 대한민국 대전 서구
5 이운복 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.04.09 수리 (Accepted) 1-1-2012-0280511-15
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.04.01 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.04.12 수리 (Accepted) 9-1-2013-0029303-47
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0752100-38
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2013-1173857-88
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2014.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2014-0064045-19
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2014-0182466-51
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.02.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0182453-68
9 등록결정서
Decision to grant		 2014.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0520060-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
도가니의 내표면에 실리콘 질화물과 물로 구성되며, 실리콘 질화물을 10 ~ 70중량%로 포함하는 수분산액을 도포하는 단계; 및 도포된 도가니를 900 ~ 1,350℃에서 열처리하여 실리콘 질화물로 되는 보호막을 형성하는 단계;를 포함하는 도가니 보호막 제조방법
2 2
제 1항에 있어서,도가니 보호막은 실리콘, 게르마늄 또는 사피이어를 잉곳으로 사용하는 것을 특징으로 하는 도가니 보호막 제조방법
3 3
제 1항에 있어서,상기 보호막은 도가니 내표면에서 도가니 중심방향으로 위치에 따라 밀도구배를 가지는 것을 특징으로 하는 도가니 보호막의 제조방법
4 4
제 2항에 있어서,상기 보호막은 도가니의 저면 두께 또는 밀도가 도가니 중심에서 외측방향으로 증가하거나 감소하는 것을 특징으로 하는 도가니 보호막의 제조방법
5 5
제 2항에 있어서,상기 보호막은 도가니의 내표면의 측벽부 두께 또는 밀도가 상단방향으로 두께가 증가하거나 감소하는 것을 특징으로 하는 도가니 보호막의 제조방법
6 6
삭제
7 7
제 1항에 있어서,실리콘 질화물은 입경이 200 ~ 400 mesh인 도가니 보호막 제조방법
8 8
제 1항에 있어서,도포는 스프레이법, 브러싱법 및 페인팅법으로부터 선택되는 하나로 수행되는 실리콘 질화물을 보호막으로 하는 도가니 보호막 제조방법
9 9
제 1항에 있어서, 보호막은 두께가 50 ~ 600μm인 도가니 보호막 제조방법
10 10
제 1항에 있어서,도가니는 석영, 그라파이트 및 세라믹 중에서 선택되는 단독 또는 이들의 혼합물을 포함하는 것인 도가니 보호막 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업기술연구회 한국화학연구원 기관고유산업 광에너지 융합소재 원천기술 개발