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와이어 그리드 편광자 제조방법 및 그 제조방법을 이용한 와이어 그리드 편광자

  • 기술번호 : KST2015067914
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 와이어 그리드 편광자 제조방법에 관한 것으로, (a) 도전층, 제1 하드 마스크층 및 제2 하드 마스크층이 순차적으로 적층된 기판을 마련하는 단계; (b) 상기 제2 하드 마스크층 상에 패턴화된 레지스트층을 형성하는 단계; (c) 상기 패턴화된 레지스트층을 이용하여 제2 하드 마스크층을 패터닝하는 단계; (d) 상기 패터닝된 제2 하드 마스크층을 이용하여 제1 하드 마스크층을 패터닝하는 단계; 및 (e) 상기 패터닝된 제1 하드 마스크층 및 제2 하드 마스크층을 이용하여 도전층을 패터닝하는 단계를 포함한다.
Int. CL G02F 1/1335 (2006.01) G02B 5/30 (2006.01)
CPC G02B 5/3058(2013.01) G02B 5/3058(2013.01) G02B 5/3058(2013.01)
출원번호/일자 1020120050502 (2012.05.11)
출원인 주식회사 엘지화학
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0126391 (2013.11.20) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020150145206;
심사청구여부/일자 Y (2013.11.29)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재진 대한민국 대전 유성구
2 이종병 대한민국 대전 중구
3 박정호 대한민국 대전 유성구
4 신부건 대한민국 대전 유성구
5 김태수 대한민국 대전 중구
6 정진미 대한민국 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.05.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0379734-88
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.12.04 수리 (Accepted) 1-1-2012-1004150-64
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2013.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2013-1093245-02
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.07.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.08.08 수리 (Accepted) 9-1-2014-0066955-31
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.12.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0879993-06
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5000389-31
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.02.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0160542-53
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0432828-10
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2015.07.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0742309-16
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-0742308-71
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.08.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0554594-48
13 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2015.09.18 수리 (Accepted) 7-1-2015-0043010-15
14 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2015.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2015-1006843-46
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.12.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5161532-51
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.11.12 수리 (Accepted) 4-1-2018-5227604-80
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5261818-30
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164284-96
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 도전층, 제1 하드 마스크층 및 제2 하드 마스크층이 순차적으로 적층된 기판을 마련하는 단계;(b) 상기 제2 하드 마스크층 상에 패턴화된 레지스트층을 형성하는 단계; (c) 상기 패턴화된 레지스트층을 이용하여 제2 하드 마스크층을 패터닝하는 단계; (d) 상기 패터닝된 제2 하드 마스크층을 이용하여 제1 하드 마스크층을 패터닝하는 단계; 및(e) 상기 패터닝된 제1 하드 마스크층 및 제2 하드 마스크층을 이용하여 도전층을 패터닝하는 단계를 포함하는 와이어 그리드 편광자 제조방법
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 기판은 석영(SiO2), 유리 또는 투명 플라스틱인 와이어 그리드 편광자 제조방법
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 도전층은 알루미늄(Al)인 와이어 그리드 편광자 제조방법
4 4
청구항 1에 있어서, 상기 도전층의 두께는 50nm 내지 500nm인 와이어 그리드 편광자 제조방법
5 5
청구항 1에 있어서, 상기 제1 하드 마스크층은 석영(SiO2)이고, 상기 제2 하드 마스크층은 알루미늄(Al)인 와이어 그리드 편광자 제조방법
6 6
청구항 4에 있어서, 상기 제1 하드 마스크층의 두께는 상기 도전층 두께의 20 내지 30%인 와이어 그리드 편광자 제조방법
7 7
청구항 1에 있어서, 상기 제2 하드 마스크층의 두께는 10 nm 내지 50 nm인 와이어 그리드 편광자 제조방법
8 8
청구항 1에 있어서, 상기 (b) 단계는 간섭광 리소그래피 공정, 나노 임프린트 공정 또는 반도체 노광 공정에 의해 수행되는 것인 와이어 그리드 편광자 제조방법
9 9
청구항 1에 있어서, 상기 (c) 단계 내지 (e) 단계는 건식 식각 공정을 이용하는 것인 와이어 그리드 편광자 제조방법
10 10
기판; 및 상기 기판 상에 선 격자 형태의 도전성 패턴이 형성되고, 상기 도전성 패턴은 피치가 100 내지 200nm이며, 상기 도전성 패턴의 단차비가 2: 1 이상인 와이어 그리드 편광자
11 11
청구항 10에 있어서, 상기 도전성 패턴의 단차비는 4: 1 이상인 와이어 그리드 편광자
12 12
청구항 10에 있어서, 상기 도전성 패턴의 듀티(duty)는 0
13 13
청구항 10항에 있어서, 상기 도전성 패턴은 알루미늄으로 이루어지는 것인 와이어 그리드 편광판
14 14
청구항 10항에 있어서, 상기 와이어 그리드 편광판은 자외선 대역에서 편광도가 95% 이상인 와이어 그리드 편광판
15 15
청구항 10 내지 14의 와이어 그리드 편광자를 포함하는 LCD 휘도 향상용 편광판
16 16
청구항 10 내지 14의 와이어 그리드 편광자를 포함하는 LCD 프로젝터 편광판
17 17
청구항 10 내지 14의 와이어 그리드 편광자를 포함하는 광배향용 자외선 조사장치
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101584944 KR 대한민국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.