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촉매 금속 층 상에 그래핀 층을 형성하는 단계;상기 그래핀 층 상에 광에 의하여 점착성을 잃게 되는 지지층을 위치시키는 단계;상기 촉매 금속 층을 제거하는 단계;상기 그래핀 층 상에 기판을 위치시키는 단계; 및상기 지지층에 광을 조사하여 상기 지지층을 상기 그래핀 층으로부터 분리하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 광을 이용한 그래핀의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 지지층은, 광 전사 필름을 포함하는 것을 특징으로 하는 광을 이용한 그래핀의 제조 방법
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제 2항에 있어서, 상기 광 전사 필름은, 기재; 및점착성을 가지고, 광에 반응하여 상기 점착성을 잃게 되는 광 반응 점착층을 포함하는 것을 특징으로 하는 광을 이용한 그래핀의 제조 방법
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제 3항에 있어서, 상기 광 반응 점착층은, 자외선에 반응하여 점착성을 잃게되는 자외선 반응 점착층인 것을 특징으로 하는 광을 이용한 그래핀의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 광을 조사하여 상기 지지층을 분리하는 단계는, 면 광원 또는 원통형 광원을 이용하는 것을 특징으로 하는 광을 이용한 그래핀의 제조 방법
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제 5항에 있어서, 상기 촉매 금속 층, 그래핀 층, 지지층 및 기판 중 적어도 하나는 롤러에 의하여 이송되는 것을 특징으로 하는 광을 이용한 그래핀의 제조 방법
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제 6항에 있어서, 상기 롤러에는 상기 원통형 광원이 포함된 것을 특징으로 하는 광을 이용한 그래핀의 제조 방법
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제 7항에 있어서, 상기 원통형 광원이 포함된 롤러에는 적어도 일부분이 투명한 접촉부 또는 슬릿을 포함하는 것을 특징으로 하는 광을 이용한 그래핀의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 그래핀 층 상에 기판을 위치시키는 단계 이후에는, 상기 지지층 상에 패턴 마스크를 위치시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광을 이용한 그래핀의 제조 방법
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제 9항에 있어서, 상기 지지층에 광을 조사하여 상기 지지층을 분리하는 단계에서, 상기 그래핀이 상기 패턴을 가지도록 패터닝 되는 것을 특징으로 하는 광을 이용한 그래핀의 제조 방법
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제 9항에 있어서, 상기 패턴 마스크에 의하여 노광되지 않은 그래핀 층의 부분은, 상기 지지층과 함께 기판에서 분리되는 것을 특징으로 하는 광을 이용한 그래핀의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 지지층에 광을 조사하여 상기 지지층을 분리하는 단계는, 레이저 주사를 통하여 광을 조사하는 것을 특징으로 하는 광을 이용한 그래핀의 제조 방법
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제 12항에 있어서, 상기 레이저 주사는, 스캐닝 미러를 이용하는 것을 특징으로 하는 광을 이용한 그래핀의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 그래핀 층 상에 기판을 위치시키는 단계와, 상기 지지층에 광을 조사하는 과정은 동시에 이루어지는 것을 특징으로 하는 광을 이용한 그래핀의 제조 방법
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