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유리기판용 캐리어를 이용하여 유리기판을 연마하는 유리기판 연마장치 및 연마 후 유리기판을 분리하는 유리기판 분리장치를 포함하는 유리기판의 연마 및 분리 시스템에 있어서,상기 캐리어는,상기 유리기판을 진공 흡착력에 의해 지지하는 흡착패드;를 포함하고, 또한 상기 캐리어의 저면에는 탈착홀이 형성되며,상기 유리기판 분리장치는,상기 흡착패드에 유리기판이 흡착된 캐리어를 이송하는 이송부;상기 흡착패드와 상기 유리기판의 사이로 분리용 유체(流體)를 공급하는 유체 공급부;상기 유리기판에 대향되고 상기 유리기판을 흡착하여 상기 흡착패드로부터 상기 유리기판을 분리시키는 분리부; 및상기 캐리어에 탈착되어 상기 유리기판이 상기 캐리어에 흡착되도록 하는 흡착부;를 포함하며,상기 흡착부는,진공펌프;상기 진공펌프에 연결되는 배기관;상기 배기관의 개방단부에 결합되어 전장이 신축되는 신축관; 및상기 신축관의 개방단부가 상기 탈착홀에 탈착되도록 상기 신축관을 신축시키는 신축관 탈착유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 연마 및 분리 시스템
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제1항에 있어서, 상기 캐리어는,상기 흡착패드를 지지하는 본체; 및 상기 본체의 저면으로부터 돌출되는 지지돌기;를 더 포함하며,상기 유리기판의 표면을 연마하는 유리기판 연마장치로부터 상기 유리기판을 상기 흡착패드로부터 분리하는 유리기판 분리장치로 이송되며, 상기 유리기판 연마장치 및 상기 유리기판 분리장치에서 상기 지지돌기가 클램핑되는 것을 특징으로 하는 유리기판의 연마 및 분리 시스템
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제2항에 있어서, 상기 흡착패드의 상면으로 개방되는 흡착홀;상기 흡착홀에 연통되는 흡착유로;상기 흡착유로에 연통되어 상기 흡착패드의 저면으로 개방되는 연통홀;및상기 연통홀에 연통되고 상기 본체의 저면으로 개방되어 배기관이 탈착되는 탈착홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 유리기판의 연마 및 분리 시스템
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제1항에 있어서,상기 유리기판 연마장치는,유리기판이 지지되는 캐리어를 지지하는 지지부; 및상기 지지부에 지지되는 상기 유리기판의 표면을 연마하는 연마부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 연마 및 분리 시스템
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제4항에 있어서, 상기 캐리어는 저면으로부터 돌출되는 지지돌기를 포함하며, 상기 지지부는,상기 캐리어를 지지하는 스테이지;상기 스테이지에 설치되어 상기 지지돌기를 클램핑하는 클램핑유닛;상기 스테이지로부터 돌출되어 상기 캐리어의 처짐을 방지하는 처짐방지돌기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 연마 및 분리 시스템
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제1항에 있어서,상기 유체 공급부는, 상기 흡착패드와 상기 유리기판의 사이로 기체를 공급하는 기체 공급라인;및상기 흡착패드와 상기 유리기판의 사이로 분리액을 공급하는 분리액 공급라인;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 연마 및 분리 시스템
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제8항에 있어서, 상기 분리액 공급라인은,상기 분리액이 수용되는 탱크;상기 유리기판과 상기 흡착패드의 사이로 개방되는 분리액 분사노즐;상기 탱크와 상기 분사노즐에 연결되는 분리액 공급관;및마이크로버블을 발생시키고 상기 분리액 공급관으로 상기 마이크로버블을 합류시키는 버블 발생기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 연마 및 분리 시스템
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제9항에 있어서, 상기 탱크에는 상기 탱크의 내벽과 상기 분리액의 표면장력을 증가시키는 계면활성제가 첨가되는 것을 특징으로 하는 유리기판의 연마 및 분리 시스템
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제10항에 있어서, 상기 계면활성제는,글리세린계 계면활성제인 것을 특징으로 유리기판의 연마 및 분리 시스템
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제9항에 있어서, 상기 유체 공급부는,상기 분리액이 상기 유리기판과 상기 흡착패드로 분사되어 외부로 배출되는 배출액을 상기 탱크로 유입시키는 유입관;및상기 유입관의 관로에 설치되어 상기 분리액으로부터 이물질을 걸러내는 필터;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 연마 및 분리 시스템
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제8항에 있어서, 상기 기체 공급라인은,기체를 압축시키는 콤프레셔;상기 유리기판과 상기 흡착패드의 사이로 개방되는 기체 분사노즐;및상기 콤프레셔와 상기 기체 분사노즐에 연결되는 기체 공급관;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 연마 및 분리 시스템
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제1항에 있어서, 상기 이송부는,상기 유체 공급부로부터 상기 분리부로 연장되어 상기 흡착패드에 흡착된 유리기판을 이송하는 분리이송 컨베이어;상기 분리이송 컨베이어의 입구 측에 연결되는 반입 컨베이어;및상기 분리이송 컨베이어의 출구 측에 연결되는 반출 컨베이어;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 연마 및 분리 시스템
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제 14항에 있어서, 상기 분리이송 컨베이어는, 구동풀리;상기 구동풀리로부터 이격되는 종동풀리;상기 구동풀리와 상기 종동풀리에 연결되는 컨베이어 벨트;및상기 구동풀리와 상기 종동풀리의 사이에 배치되어 상기 컨베이어 벨트의 처짐을 방지하는 처짐방지프레임;을 포함하며,상기 컨베이어 벨트에는 상기 컨베이어 벨트가 상기 구동풀리 또는 상기 종동풀리를 지나는 곡선구간에서 개방단부가 확대되고, 상기 컨베이어 벨트가 상기 구동풀리와 상기 종동풀리 사이의 직선구간에서 개방단부가 축소되는 지지홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 유리기판의 연마 및 분리 시스템
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제1항에 있어서, 상기 분리부는,상기 흡착패드로부터 상기 유리기판을 테두리부부터 분리시키는 것을 특징으로 하는 유리기판의 연마 및 분리 시스템
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제16항에 있어서, 상기 분리부는,상기 유리기판의 전면적에 대응되도록 배치되는 복수의 분리패드;및상기 복수의 분리패드를 각각 지지하며, 상기 복수의 분리패드 중 상기 유리기판의 테두리부에 대응되는 분리패드부터 순차적으로 개별 승강시키는 복수의 승강유닛;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 연마 및 분리 시스템
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제16항에 있어서, 상기 분리부는,상기 유리기판의 전면적에 대응되도록 배치되는 복수의 분리패드;상기 복수의 분리패드 중 상기 유리기판의 폭방향으로 배치되는 복수의 분리패드를 함께 선형 지지하는 복수의 지지대;및상기 복수의 지지대 중 상기 유리기판의 테두리부에 대응되는 지지대부터 순차적으로 승강시키는 복수의 승강유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 연마 및 분리 시스템
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제16항에 있어서, 상기 분리부는,상기 유리기판의 전면적에 대응되도록 배치되는 복수의 분리패드;상기 복수의 분리패드 중 상기 유리기판의 길이방향으로 배치되는 상기 복수의 분리패드를 함께 선형 지지하는 복수의 지지대;및상기 복수의 지지대 중 상기 유리기판의 테두리부에 대응되는 지지대부터 순차적으로 승강시키는 복수의 승강유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 연마 및 분리 시스템
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제16항에 있어서, 상기 분리부는,상기 유리기판의 전면적에 대응되도록 배치되는 복수의 분리패드;상기 유리기판의 길이방향 또는 상기 유리기판의 폭방향에 교차되는 사선방향으로 배치되는 적어도 하나의 상기 분리패드를 선형 지지하는 복수의 지지대;및상기 복수의 지지대 중 상기 유리기판의 테두리부에 대응되는 지지대부터 순차적으로 승강시키는 복수의 승강유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 연마 및 분리 시스템
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제16항에 있어서, 상기 분리부는,상기 유리기판의 전면적에 대응되도록 배치되는 복수의 분리패드;상기 유리기판의 중앙부로부터 상기 유리기판의 테두리방향으로 확장되는 형태의 링 형태로 상기 복수의 분리패드를 지지하는 복수의 지지대;상기 복수의 지지대 중 상기 유리기판의 테두리부에 대응되는 지지대부터 순차적으로 승강시키는 복수의 승강유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 연마 및 분리 시스템
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제16항에 있어서, 상기 분리부는,상기 유리기판의 전면적에 대응되도록 배치되는 복수의 분리패드;상기 유리기판을 향해 볼록한 곡면이 형성되고 상기 곡면에 상기 복수의 흡착패드를 함께 지지하는 지지대;상기 지지대의 중앙부에 설치되는 힌지;및상기 지지대가 상기 힌지를 중심으로 회전되도록 상기 지지대를 승강시키는 승강유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 연마 및 분리 시스템
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제17항 내지 제22항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 분리부는,상기 승강유닛을 지지하고, 상기 유리기판의 이송속도에 동기화된 이송속도로 이송블럭을 이송하는 이송유닛;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 연마 및 분리 시스템
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