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상정반을 이동시켜 네 개의 변(9a)(9b)(9c)(9d)을 갖는 사각형상의 기판을 연마하되, 상정반의 중심축이 상기 기판의 가장 자리와 평행한 제1 경로의 적어도 일부를 따라 이동하도록 하여 연마하는 단계; 및상정반을 이동시켜 상기 기판을 연마하되, 상정반의 중심축이 상기 기판의 가장 자리와 평행한 제2 경로의 적어도 일부를 따라 이동하도록 하여 연마하는 단계;를 포함하고,상기 제2 경로는 상기 제1 경로의 내부에 있고, 상기 상정반은 상기 제1경로의 적어도 한 꼭지점에서 상기 제2경로를 향해 안쪽으로 가로질러 이동하고, 상기 제2경로의 적어도 한 꼭지점에서 상기 제1경로를 향해 바깥쪽으로 가로질러 이동함으로써,상기 제1경로 중에서 상기 제2경로의 각 변과 마주보지 않는 꼭지점의 양측 부분에는 상기 제1경로의 나머지 부분보다 상정반의 중심축이 경유하는 횟수가 적게 하는 것을 특징으로 하는 기판 연마 방법
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제1항에 있어서,제1 경로는 변(9a)에 평행한 제1-1 경로(11)와, 변(9b)에 평행한 제1-2 경로(12)와, 변(9c)에 평행한 제1-3 경로(13)와, 변(9d)에 평행한 제1-4 경로(14)로 이루어지고,제2 경로는 변(9a)에 평행한 제2-1 경로(31)와, 변(9b)에 평행한 제2-2 경로(32)와, 변(9c)에 평행한 제2-3 경로(33)와, 변(9d)에 평행한 제2-4 경로(34)로 이루어지며,(a1) 제1-1 경로 및 제1-2 경로를 따라 상기 중심축을 이동 시키면서 기판을 연마하되, 제2-3 경로의 연장선과 제1-2 경로가 만나는 지점(22)까지 연마하는 단계; (a2) 상기 (a1) 단계 이후에, 상기 지점(22)에서부터 상기 연장선, 제2-3, 2-4, 2-1, 2-2 경로를 따라 기판을 연마하되, 제2-2 경로의 연장선과 제1-3 경로가 만나는 지점(24)까지 연마하는 단계; 및 (a3) 상기 (a2) 단계 이후에, 상기 지점(24)에서부터 제1-3, 1-4 경로를 따라 기판을 연마하되, 제2-1 경로의 연장선과 제1-4 경로가 만나는 지점(26)까지 연마하는 단계; (a4) 상기 (a3) 단계 이후에, 상기 지점(26)에서부터 제2-1 경로를 따라 기판을 연마하되, 제2-1 경로의 연장선과 제1-2 경로가 만나는 지점(40)까지 연마하는 단계;(a5) 상기 (a4) 단계 이후에, 상기 지점(40)에서부터 제1-2, 1-3 경로를 따라 기판을 연마하되, 제2-4 경로의 연장선과 제1-3 경로가 만나는 지점(42)까지 연마하는 단계;(a6) 상기 (a5) 단계 이후에, 상기 지점(42)에서부터 제2-4 경로를 따라 기판을 연마하되, 제2-4 경로의 연장선과 제1-1 경로가 만나는 지점(43)까지 연마하는 단계;(a7) 상기 (a6) 단계 이후에, 상기 지점(43)에서부터 제1-1 경로를 따라 기판을 연마하되, 제1-1 경로와 제2-2 경로의 연장선이 만나는 지점(44)까지 연마하는 단계;(a8) 상기 (a7) 단계 이후에, 상기 지점(44)에서부터 제2-2, 2-3 경로를 따라 기판을 연마하되, 제2-3 경로의 연장선과 제1-4 경로가 만나는 지점(45)까지 연마하는 단계; 및 (a9) 상기 (a8) 단계 이후에, 상기 지점(45)에서부터 제1-4 경로를 따라 기판을 연마하되, 상기 지점(26)까지 연마하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 연마 방법
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