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플라즈마 가열을 이용한 그래핀의 제조 장치

기술번호 : KST2015068303
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 그래핀의 제조 장치에 관한 것으로 특히, 플라즈마 가열을 이용한 그래핀의 제조 장치에 관한 것이다. 이와 같은 본 발명은, 유입부 및 배기부를 포함하는 챔버; 상기 챔버 내에 위치하는 기판에 플라즈마를 발생시켜 상기 기판을 가열시키는 가열부; 및 상기 가열부에 전원을 공급하는 전원부를 포함하여 구성된다.
Int. CL	B01J 19/08 (2015.01) C01B 31/02 (2006.01)
CPC	C01B 32/184(2013.01) C01B 32/184(2013.01)
출원번호/일자	1020120055568 (2012.05.24)
출원인	엘지전자 주식회사
등록번호/일자	10-1687620-0000 (2016.12.13)
공개번호/일자	10-2013-0131768 (2013.12.04) 문서열기
공고번호/일자	(20161219) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2015.01.09)
심사청구항수	13

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	엘지전자 주식회사	대한민국	서울특별시 영등포구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	박원배	대한민국	서울 서초구
2	정명희	대한민국	서울 서초구
3	노종현	대한민국	서울 서초구
4	서병화	대한민국	서울 서초구
5	문진산	대한민국	서울 서초구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	김용인	대한민국	서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)
2	방해철	대한민국	서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	엘지전자 주식회사		서울특별시 영등포구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2012.05.24	수리 (Accepted)	1-1-2012-0417860-14
2	[대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)	2014.12.01	수리 (Accepted)	1-1-2014-1163510-17
3	[심사청구]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)	2015.01.09	수리 (Accepted)	1-1-2015-0023206-03
4	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2015.05.22	수리 (Accepted)	4-1-2015-5068349-97
5	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2015.09.14	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
6	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2015.11.10	수리 (Accepted)	9-1-2015-0071518-55
7	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2016.06.02	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2016-0406262-58
8	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2016.07.14	수리 (Accepted)	1-1-2016-0682771-35
9	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2016.07.14	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2016-0682770-90
10	등록결정서 Decision to grant	2016.11.22	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2016-0842634-44
11	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.05.28	수리 (Accepted)	4-1-2020-5118228-40

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 유입부 및 배기부를 포함하는 챔버;상기 챔버 내에 위치하는 기판 상에 위치하는 전극을 포함하고, 상기 기판에는 제 1전극이 연결되고 상기 전극에는 제 2전극이 연결되어, 상기 기판과 전극 사이의 가열 영역에 탄소를 포함하는 반응 가스에 의한 플라즈마를 발생시켜 상기 기판을 가열시키는 가열부; 및상기 제 1전극 및 제 2전극을 통하여 상기 가열부에 전원을 공급하는 전원부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 그래핀의 제조 장치
2	2 제 1항에 있어서, 상기 챔버 내에는,상기 기판을 롤 상태로 공급할 수 있는 공급부; 및상기 기판을 롤 상태로 수납할 수 있는 수납부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 그래핀의 제조 장치
3	3 제 1항에 있어서, 상기 가열부의 일측에는 상기 기판을 이송시키기 위한 이송 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 그래핀의 제조 장치
4	4 제 1항에 있어서, 상기 플라즈마는 그래핀 성장을 위한 탄소와 수소의 화합물(CxHx) 기체에 의하여 발생하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 그래핀의 제조 장치
5	5 제 1항에 있어서, 상기 챔버 내에 위치하는 온도 센서; 및 상기 온도 센서의 감지 값에 따라 상기 전원부를 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 그래핀의 제조 장치
6	6 기판을 롤 상태로 공급할 수 있는 공급부;상기 기판을 롤 상태로 수납할 수 있는 수납부;상기 공급부와 수납부 사이에 위치하고, 상기 기판 상에 위치하는 평면 전극을 포함하고, 상기 기판에는 제1 전극이 연결되고 상기 평면 전극에는 제2 전극이 연결되어, 상기 기판과 평면 전극 사이의 가열 영역에 탄소를 포함하는 반응 가스 또는 분위기 가스에 의한 플라즈마를 발생시켜 상기 기판을 가열시키는 가열부;상기 제 1전극 및 제 2전극을 통하여 상기 가열부에 전원을 공급하는 전원부; 및가스 유입부 및 상기 공급부가 위치하는 공급 챔버, 가스 배기부 및 상기 수납부가 위치하는 수납 챔버, 및 상기 공급 챔버와 수납 챔버를 연결하며, 상기 가열부가 위치하는 히팅 챔버를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 그래핀의 제조 장치
7	7 제 6항에 있어서, 상기 가열부의 일측에는 상기 기판을 이송시키기 위한 이송 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 그래핀의 제조 장치
8	8 제 6항에 있어서, 상기 기판에는 상기 공급부 및 수납부 중 어느 하나를 통하여 제1 전극이 연결되는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 그래핀의 제조 장치
9	9 제 6항에 있어서, 상기 히팅 챔버의 크기는 상기 공급 챔버 및 수납 챔버의 크기보다 작은 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 그래핀의 제조 장치
10	10 제 9항에 있어서, 상기 공급부 및 수납부 중 적어도 어느 하나는 전도성을 가지며, 상기 제 2전극은, 상기 전도성인 공급부 또는 수납부를 통하여 기판에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 그래핀의 제조 장치
11	11 제 6항에 있어서, 상기 챔버 내에 위치하는 온도 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 그래핀의 제조 장치
12	12 제 11항에 있어서, 상기 온도 센서의 감지 값에 따라 상기 전원부를 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 그래핀의 제조 장치
13	13 제 6항에 있어서, 상기 플라즈마는 그래핀 성장을 위한 탄소와 수소의 화합물(CxHx) 기체에 의하여 발생하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 그래핀의 제조 장치

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-1687620-0000

권리란

표시번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 권리란 표입니다.
표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20120524 출원 번호 : 1020120055568 공고 연월일 : 20161219 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20161122 청구범위의 항수 : 13 유별 : C01B 31/02 발명의 명칭 : 플라즈마 가열을 이용한 그래핀의 제조 장치 존속기간(예정)만료일 :

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 엘지전자 주식회사 서울특별시 영등포구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	552,000 원	2016년 12월 14일	납입
제 4 년분	금 액	326,000 원	2019년 11월 22일	납입
제 5 년분	금 액	326,000 원	2020년 11월 13일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2012.05.24	수리 (Accepted)	1-1-2012-0417860-14
2	[대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서	2014.12.01	수리 (Accepted)	1-1-2014-1163510-17
3	[심사청구]심사청구(우선심사신청)서	2015.01.09	수리 (Accepted)	1-1-2015-0023206-03
4	출원인정보변경(경정)신고서	2015.05.22	수리 (Accepted)	4-1-2015-5068349-97
5	선행기술조사의뢰서	2015.09.14	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
6	선행기술조사보고서	2015.11.10	수리 (Accepted)	9-1-2015-0071518-55
7	의견제출통지서	2016.06.02	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2016-0406262-58
8	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2016.07.14	수리 (Accepted)	1-1-2016-0682771-35
9	[명세서등 보정]보정서	2016.07.14	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2016-0682770-90
10	등록결정서	2016.11.22	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2016-0842634-44
11	출원인정보변경(경정)신고서	2020.05.28	수리 (Accepted)	4-1-2020-5118228-40


기술번호	KST2015068303
자료제공기관	NTB
기술공급기관	LG그룹
기술명	플라즈마 가열을 이용한 그래핀의 제조 장치
기술개요	본 발명은 그래핀의 제조 장치에 관한 것으로 특히, 플라즈마 가열을 이용한 그래핀의 제조 장치에 관한 것이다. 이와 같은 본 발명은, 유입부 및 배기부를 포함하는 챔버; 상기 챔버 내에 위치하는 기판에 플라즈마를 발생시켜 상기 기판을 가열시키는 가열부; 및 상기 가열부에 전원을 공급하는 전원부를 포함하여 구성된다.
개발상태
기술의 우수성
응용분야
시장규모 및 동향
희망거래유형
사업화적용실적
도입시고려사항

중요키워드

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