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챔버와; 상기 챔버 내에 설치되고, 서로 합착된 제1 및 제2 유리 기판 중에서 상기 제1 유리 기판을 진공 흡착하는 제1 진공 흡착부와; 상기 챔버 내에 설치되고, 상기 제2 유리 기판을 진공 흡착하는 제2 진공 흡착부와; 상기 제1 진공 흡착부 및 상기 제2 진공 흡착부를 상승 또는 하강시키는 구동부와; 상기 챔버 내에 공기를 공급하는 공기 공급부를 포함하며,상기 제1 유리 기판의 배면에는 상기 제1 유리 기판의 합착면의 외각을 따라 설정된 폭을 갖는 홈이 형성되고, 상기 홈을 따라 압축 공기가 유입후 이동하면서 상기 제1 유리 기판은 상기 제1 진공 흡착부 방향으로 밀어 올려지며,상기 구동부는 상기 제1 진공 흡착부를 상승시키면서 상기 제1 유리 기판과 상기 제2 유리 기판이 서로 분리되도록 하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 장치
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제1항에 있어서, 상기 챔버는, 제1 챔버와; 실(Seal)에 의해 상기 제1 챔버와 결합됨으로써 밀폐되는 제2 챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 장치
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제4항에 있어서, 상기 실의 재질은, 실리콘, 에틸렌프로필렌 고무 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 장치
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제1항에 있어서, 상기 제1 진공 흡착부는, 다수의 공기 분출 홀을 갖는 제1 진공 척과; 상기 제1 진공 척의 외각을 따라 형성된 제1 오링(O-Ring)과; 상기 제1 진공 척에 설치된 제1 배관을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 장치
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제6항에 있어서, 상기 제2 진공 흡착부는, 상기 다수의 공기 분출 홀을 갖는 제2 진공 척과; 상기 제2 진공 척의 외각을 따라 형성된 제2 오링과; 상기 제2 진공 척에 설치된 제2 배관을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 장치
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제7항에 있어서, 상기 제1 진공 척이 상기 제1 유리 기판을 진공 흡착하도록, 상기 제1 유리 기판과 상기 제1 진공 척 사이에 밀폐된 공간의 공기를 상기 제1 배관을 통해 흡입하고; 상기 제2 진공 척이 상기 제2 유리 기판을 진공 흡착하도록, 상기 제2 유리 기판과 상기 제2 진공 척 사이에 밀폐된 공간의 공기를 상기 제2 배관을 통해 흡입하는 흡입부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 장치
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제7항에 있어서, 상기 제1 오링은,상기 제1 진공 척의 외각을 따라 형성된 홈에 고정되게 매립된 바디와;상기 바디로부터 돌출된 돌출부를 포함하며,상기 제2 오링은,상기 제2 진공 척의 외각을 따라 형성된 홈에 고정되게 매립된 바디와;상기 바디로부터 돌출된 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 장치
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제9항에 있어서, 상기 제1 유리 기판과 상기 제1 진공 척은 상기 돌출부에 의해 소정거리 이격되어 밀폐되며, 상기 제2 유리 기판과 상기 제2 진공 척은 상기 돌출부에 의해 소정거리 이격되어 밀폐되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 장치
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제6항에 있어서, 상기 공기 공급부는, 상기 챔버 내에 미리결정된 압력의 압축 공기를 상기 제1 진공 척의 외각에 형성된 관통홀을 통해 상기 챔버에 공급하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 장치
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챔버 내에 설치된 서로 합착된 제1 및 제2 유리 기판 중에서 상기 제1 유리 기판을 제1 진공 흡착부를 통해 진공 흡착하는 단계와; 상기 제2 유리 기판을 상기 챔버 내에 설치된 제2 진공 흡착부를 통해 진공 흡착하는 단계와;상기 제1 진공 흡착부 및 상기 제2 진공 흡착부를 상승 또는 하강시키는 단계와; 상기 챔버 내에 공기를 공급함으로써 상기 제1 유리 기판을 상기 제2 유리 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하며,상기 제1 유리 기판의 배면에는 상기 제1 유리 기판의 합착면의 외각을 따라 설정된 폭을 갖는 홈이 형성되고, 상기 제1 유리 기판을 분리하는 단계는, 상기 공급된 공기가 상기 홈을 따라 진입하면서 상기 제1 유리 기판을 상기 제1 진공 흡착부 방향으로 밀어올리며, 상기 제1 유리 기판에 진공 흡착된 상기 제1 진공 흡착부는 상승되면서 상기 제1 유리 기판을 상기 제2 유리 기판으로부터 분리시키는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 방법
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제12항에 있어서, 상기 제1 진공 흡착부는, 다수의 공기 분출 홀을 갖는 제1 진공 척과; 상기 제1 진공 척의 외각을 따라 형성된 제1 오링(O-Ring)과; 상기 제1 진공 척에 설치된 제1 배관을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 방법
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제15항에 있어서, 상기 제2 진공 흡착부는, 상기 다수의 공기 분출 홀을 갖는 제2 진공 척과; 상기 제2 진공 척의 외각을 따라 형성된 제2 오링과; 상기 제2 진공 척에 설치된 제2 배관을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 방법
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제16항에 있어서, 상기 제1 유리 기판을 진공 흡착하는 단계는, 상기 제1 진공 척이 상기 제1 유리 기판을 진공 흡착하도록, 상기 제1 유리 기판과 상기 제1 진공 척 사이에 밀폐된 공간의 공기를 상기 제1 배관을 통해 흡입하는 단계를 포함하며,상기 제2 유리 기판을 진공 흡착하는 단계는,상기 제2 진공 척이 상기 제2 유리 기판을 진공 흡착하도록, 상기 제2 유리 기판과 상기 제2 진공 척 사이에 밀폐된 공간의 공기를 상기 제2 배관을 통해 흡입하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 방법
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제16항에 있어서, 상기 제1 오링은,상기 제1 진공 척의 외각을 따라 형성된 홈에 고정되게 매립된 바디와;상기 바디로부터 돌출된 돌출부를 포함하며,상기 제2 오링은,상기 제2 진공 척의 외각을 따라 형성된 홈에 고정되게 매립된 바디와;상기 바디로부터 돌출된 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 방법
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제18항에 있어서, 상기 제1 유리 기판과 상기 제1 진공 척은 상기 돌출부에 의해 소정거리 이격되어 밀폐되며, 상기 제2 유리 기판과 상기 제2 진공 척은 상기 돌출부에 의해 소정거리 이격되어 밀폐되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 방법
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제15항에 있어서, 상기 챔버 내에 공기를 공급하는 단계는,상기 챔버 내에 미리결정된 압력의 압축 공기를 상기 제1 진공 척의 외각에 형성된 관통홀을 통해 상기 챔버에 공급하는 단계인 것을 특징으로 하는 유리 기판 분리 방법
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