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비금속 재질로 구성되는 원판을 준비하는 단계; 및상기 원판에 레이저를 조사하여 복수의 슬릿을 형성하는 단계를 포함하는 태양 전지용 마스크의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 레이저는 상기 슬릿의 경계선을 따라 조사되어 상기 슬릿에 해당하는 부분을 상기 원판으로부터 분리시키는 태양 전지용 마스크의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 복수의 슬릿의 폭이 각기 0
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제1항에 있어서,상기 레이저가 펨토초 레이저(femto second laser) 또는 피코초 레이저(pico second laser)인 태양 전지용 마스크의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 레이저가 피코초 레이저이고,상기 레이저의 파장이 300~800nm이며, 상기 레이저의 주파수가 100~400KHz이고, 상기 레이저의 출력이 30~50W인 태양 전지용 마스크의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 태양 전지용 마스크가 선택적 구조의 불순물층을 형성할 때 사용되는 태양 전지용 마스크의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 원판의 두께가 0
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제1항에 있어서,상기 복수의 슬릿은, 제1 방향으로 이어지며 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 서로 이격되는 복수의 제1 슬릿부를 포함하는 전지용 마스크의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 복수의 제1 슬릿부는 상기 제1 방향에서 서로 이격되는 복수의 슬릿 부분을 포함하는 태양 전지용 마스크의 제조 방법
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제9항에 있어서,상기 복수의 슬릿 부분은 상기 제1 방향에서 0
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제1항에 있어서,상기 복수의 슬릿은, 제1 방향으로 이어지는 복수의 제1 슬릿부와, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이어지며 상기 복수의 제1 슬릿부과 이격되는 적어도 하나의 제2 슬릿부를 포함하는 태양 전지용 마스크의 제조 방법
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제11항에 있어서,서로 인접한 상기 제1 슬릿부와 상기 제2 슬릿부는 상기 제1 방향에서 0
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비금속 재질로 구성되고, 폭이 각기 0
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제13항에 있어서,상기 복수의 슬릿은, 제1 방향으로 이어지며 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 서로 이격되는 복수의 제1 슬릿부를 포함하는 전지용 마스크의 제조 방법
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제14항에 있어서,상기 복수의 제1 슬릿부는 상기 제1 방향에서 서로 이격되는 복수의 슬릿 부분을 포함하는 태양 전지의 불순물층 형성용 마스크
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제15항에 있어서,상기 복수의 슬릿 부분은 상기 제1 방향에서 0
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제13항에 있어서,상기 복수의 슬릿은, 제1 방향으로 이어지는 복수의 제1 슬릿부와, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이어지며 상기 복수의 제1 슬릿부과 이격되는 적어도 하나의 제2 슬릿부를 포함하는 태양 전지의 불순물층 형성용 마스크
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제13항에 있어서,서로 인접한 상기 제1 슬릿부와 상기 제2 슬릿부는 상기 제1 방향에서 0
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제13항에 있어서,상기 비금속 재질이 흑연을 포함하는 태양 전지의 불순물층 형성용 마스크
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반도체 기판을 준비하는 단계; 상기 반도체 기판 위에 마스크를 위치시키는 단계; 및상기 반도체 기판에 불순물을 도핑하여 선택적 구조 또는 국부적 구조의 불순물층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 마스크는, 비금속 재질로 구성되는 원판에 레이저를 조사하여 형성된 복수의 슬릿을 포함하는 태양 전지용 불순물층의 제조 방법
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