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제1 도전성 불순물을 함유하는 기판;상기 기판의 제1 면에 배치되며, 상기 제1 도전성 불순물과 반대인 제2 도전성 불순물을 함유하여 상기 기판과 p-n 접합을 형성하는 에미터부;상기 에미터부 위에 위치하는 반사 방지막;상기 반사 방지막의 위에 위치하며, 제1 영역에서 상기 에미터부와 연결되는 제1 전극; 및 상기 기판의 제2 면 위에 배치되며, 상기 기판과 연결되는 제2 전극;을 포함하며,상기 반사 방지막은 상기 제1 영역에서 상기 에미터부를 부분적으로 노출하는 복수의 개구부를 포함하고,상기 제1 전극은 상기 제1 영역에서 상기 복수의 개구부를 통해 노출된 상기 에미터부에 부분적으로 접촉되고,상기 에미터부는, 상기 제1 영역에서 상기 제1 전극과 직접 접촉하고 제1 면저항값을 갖는 복수의 고농도 도핑부와, 상기 제1 영역에서 상기 에미터부와 상기 제1 전극 사이에 위치하는 반사 방지막 아래에 형성되고 상기 복수의 고농도 도핑부보다 낮은 제2 면저항값을 갖는 저농도 도핑부,를 포함하고,상기 복수의 개구부는 개구폭이 다른 제1 및 제2 개구부를 포함하며, 상기 제1 개구부 및 제2 개구부는 상기 제1 영역으로 불규칙하게 배치되고,상기 복수의 고농도 도핑부는 상기 제1 개구부 아래에 형성되는 제1 고농도 도핑부와 상기 제2 개구부 아래에 형성되는 제2 고농도 도핑부를 포함하고,상기 제1 고농도 도핑부는 제1 두께를 가지며, 상기 제2 고농도 도핑부는 상기 제1 두께보다는 작고 상기 에미터부의 두께보다는 두꺼운 제2 두께를 갖는태양전지
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제1 항에 있어서,상기 반사 방지막에서 상기 복수의 개구부는 상기 제1 영역 내에만 형성되고, 상기 제1 전극이 위치하지 않는 나머지 제2 영역에는 형성되지 않는 태양 전지
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제1 항에 있어서,상기 반사 방지막의 제1 영역은 제1 방향으로 뻗어 있는 핑거 영역과 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 뻗어 있는 버스바 영역을 포함하는 태양 전지
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제1 항에 있어서,상기 반사 방지막의 제1 영역 내에 형성되는 상기 복수의 개구부 각각은 서로 이격되어 배치되는 태양 전지
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5
제1 항에 있어서,상기 복수의 개구부 각각의 평면 형상은 서로 이격된 도트 형상 또는 다각형 형상을 포함하는 태양 전지
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6
제3 항에 있어서,상기 반사 방지막의 제1 영역 중에서 상기 핑거 영역의 폭은 5μm ~ 20 μm 사이인 태양 전지
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7
제1 항에 있어서,상기 개구부의 최대 폭은 4 μm 이하인 태양 전지
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8
제1 항에 있어서,상기 복수의 개구부 사이의 최대 간격은 5 μm 이하인 태양 전지
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제2 항에 있어서,상기 저농도 도핑부는 상기 반사 방지막의 제2 영역에 아래에 위치하는 태양 전지
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제1 항에 있어서,상기 복수의 고농도 도핑부는 평면에서 보았을 때에 섬 형태로 형성되고, 일부는 서로 이격되거나, 일부는 서로 연결되는 태양 전지
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제1 항에 있어서,상기 복수의 개구부의 개구폭은 상기 개구부 아래에 형성된 상기 고농도 도핑부의 폭보다 좁은 태양 전지
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15
제9 항에 있어서,상기 복수의 개구부 아래에 형성된 상기 고농도 도핑부 각각의 폭의 합은 상기 제1 전극의 폭보다 좁은 태양 전지
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제9 항에 있어서,상기 반사 방지막과 접하는 상기 에미터부의 제1 면에는 복수의 요철이 형성되고,상기 에미터부의 제1 면 중에서 상기 반사 방지막의 제2 영역 아래에 형성되는 저농도 도핑부에 형성된 요철의 돌출 형상은 피라미드 형상을 포함하는 태양 전지
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제9 항에 있어서,상기 에미터부의 제1 면 중 상기 고농도 도핑부에 형성된 요철의 돌출 형상은 피라미드 형상과 다른 태양 전지
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제9 항에 있어서,상기 에미터부의 제1 면 중에서 상기 반사 방지막의 제1 영역에 형성된 상기 고농도 도핑부에 형성된 요철의 돌출 높이는 상기 제2 영역 아래에 형성되는 저농도 도핑부에 형성된 요철의 돌출 높이보다 작은 태양 전지
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20
제1 항에 있어서,상기 제1 전극은 상기 에미터부의 내부로 함입되지 않고, 상기 반사 방지막의 개구부를 통해 노출된 상기 에미터부의 표면에 접촉되는 태양 전지
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21
제1 항에 있어서,상기 제1 전극은 상기 복수의 개구부를 통해 노출된 상기 에미터부의 제1 표면에 위치하는 시드층, 및 상기 시드층 위에 위치하는 도전성 금속층을 포함하는 태양전지
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22
제21 항에 있어서,상기 시드층은 니켈을 포함하며, 상기 도전성 금속층은 구리(Cu), 주석(Sn) 및 은(Ag) 중 적어도 하나를 포함하는 태양전지
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