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검사 대상물이 안착되는 스테이지와;상기 검사 대상물을 라인 단위로 스캔하는 라인 카메라를 구비하는 촬상부와;상기 검사 대상물의 셀 불량 검사시 상기 라인 카메라를 인포커스 모드로 조정하고, 상기 상부 외관 불량 검사시 상기 라인 카메라를 인포커스 모드 또는 아웃 포커스 모드로 조정하고, 상기 검사 대상물의 얼룩 불량 검사시 상기 라인 카메라를 아웃 포커스 모드로 조정하는 촬상 제어부와;상기 검사 대상물의 상기 상부 외관 불량 검사시 이용되는 동축 낙사 조명을 구비하며,상기 동축 낙사 조명은 상기 라인 카메라의 중심축과 수직하게 배열되는 광원과;상기 광원에서 생성되는 광을 상기 카메라의 중심축과 동축으로 반사시키는 빔스플리터와;상기 검사 대상물 내에 형성된 금속성 패턴의 반사율을 저감시키기 위해 상기 광원과 빔스플리터 사이에 위치하여 상기 광원에서 생성된 광을 균일하게 확산시키는 확산 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 촬상 제어부는 상기 라인 카메라와 상기 검사 대상물의 이격 거리를 조절하는 이동 제어부인 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 장치
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제 2 항에 있어서,상기 이동 제어부는 상기 검사 대상물의 상부 외관 불량 검사시 상기 인 포커스 모드일 때보다 상기 라인 카메라와 상기 검사 대상물의 이격 거리가 길어지도록 상기 라인 카메라를 상기 아웃 포커스 모드로 상향시키는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 확산 부재는 아크릴 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 장치
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제1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 이동 제어부는 상기 검사 대상물의 얼룩 불량 검사시 상기 인 포커스 모드일 때보다 상기 라인 카메라와 상기 검사 대상물의 이격 거리가 짧아지도록 상기 라인 카메라를 상기 아웃 포커스 모드로 하향시키는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 촬상 제어부는 상기 라인 카메라의 초점 조절링인 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 장치
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검사 대상물을 스테이지 상에 안착시키는 단계와;인 포커스 모드로 조정된 라인 카메라를 이용하여 상기 검사 대상물의 셀 불량을 검사하는 단계와;상기 인 포커스 모드 또는 아웃 포커스 모드로 조정된 라인 카메라를 이용하여 상기 검사 대상물의 상부 외관 불량을 검사하는 단계와;아웃 포커스 모드로 조정된 상기 라인 카메라를 이용하여 상기 검사 대상물의 얼룩 불량을 검사하는 단계를 포함하며,상기 검사 대상물의 상부 외관 불량을 검사하는 단계는상기 라인 카메라의 중심축과 수직하게 배열되는 광원, 상기 광원에서 생성되는 광을 상기 카메라의 중심축과 동축으로 반사시키는 빔스플리터, 상기 검사 대상물 내에 형성된 금속성 패턴의 반사율을 저감시키기 위해 상기 광원과 빔스플리터 사이에 위치하여 상기 광원에서 생성된 광을 균일하게 확산시키는 확산 부재를 구비하는 동축 낙사 조명을 이용하여 상기 검사 대상물의 상부 외관 불량을 검사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 방법
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제 7 항에 있어서,상기 검사 대상물의 상부 외관 불량을 검사하는 단계는 상기 인 포커스 모드일 때보다 상기 라인 카메라와 상기 검사 대상물의 이격 거리가 길어지도록 상기 라인 카메라를 상향시켜 상기 검사 대상물의 상부 외관 불량을 검사하는 단계인 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 방법
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제 8 항에 있어서,상기 확산 부재는 아크릴 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 방법
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제 7 항에 있어서,상기 검사 대상물의 얼룩 불량을 검사하는 단계는상기 인 포커스 모드일 때보다 상기 라인 카메라와 상기 검사 대상물의 이격 거리가 짧아지도록 상기 라인 카메라를 하향시켜 상기 검사 대상물의 얼룩 불량을 검사하는 단계인 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 방법
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제 7 항에 있어서,상기 라인 카메라의 초점 조절링을 이용하여 상기 라인 카메라를 인 포커스 모드 및 아웃 포커스 모드로 조정하는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 방법
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