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챔버(chamber) 내에 태양 전지를 형성하기 위한 제1 기판을 배치한 후, 상기 챔버 내로 공정 가스를 공급하여 상기 제1 기판 위에 반사 방지막을 증착하고, 상기 제1 기판을 상기 챔버 외부로 배출하는 제1 증착 공정;상기 제1 증착 공정 이후, 상기 챔버 내에 제2 기판을 배치한 후, 상기 챔버 내로 공정 가스를 공급하여 상기 제2 기판 위에 반사 방지막을 증착하고, 상기 제2 기판을 상기 챔버 외부로 배출하는 제2 증착 공정; 및상기 제2 증착 공정 이후, 상기 챔버 내에 제3 기판을 배치한 후, 상기 챔버 내로 공정 가스를 공급하여 상기 제3 기판 위에 반사 방지막을 증착하고, 상기 제3 기판을 상기 챔버 외부로 배출하는 제3 증착 공정;을 포함하고,상기 제1 증착 공정과 상기 제2 증착 공정에서의 공정 가스 비율은 서로 다르고, 상기 제2 증착 공정과 상기 제3 증착 공정에서의 공정 가스 비율은 서로 동일한 태양 전지 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 제1 증착 공정, 상기 제2 증착 공정 및 상기 제3 증착 공정에서 증착된 반사 방지막의 두께는 공정 오차 범위내에서 실질적으로 서로 동일한 태양 전지 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 제1 증착 공정, 상기 제2 증착 공정 및 상기 제3 증착 공정에서 증착된 반사 방지막의 굴절률은 공정 오차 범위내에서 실질적으로 서로 동일한 태양 전지 제조 방법
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제2 항 또는 제3 항에 있어서,상기 공정 오차 범위는 10% 범위 이내인 태양 전지 제조 방법
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제1 항에 있어서,태양 전지 제조 방법은상기 제1 증착 공정과 상기 제2 증착 공정 사이에는 상기 제1 증착 공정 및 상기 제2 증착 공정에서의 공정 가스 비율과 다른 공정 가스 비율이 적용되는 제4 증착 공정을 더 포함하는 태양 전지 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 태양 전지 제조 방법은 상기 제3 증착 공정 이후, 상기 챔버 내벽에 증착된 상기 공정 가스 물질을 제거하는 클리닝(cleaning) 공정을 더 포함하는 태양 전지 제조 방법
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제6 항에 있어서,상기 클리닝 공정은 상기 제3 증착 공정이 복수 번 반복된 이후 수행되는 태양 전지 제조 방법
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제6 항에 있어서,상기 클리닝 공정이 최초로 수행된 이후부터는, 상기 제1 증착 공정이 수행되지 않고, 상기 제3 증착 공정이 복수 번 반복 수행될 때마다 한번 씩 상기 클리닝 공정이 수행되는 태양 전지 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 제1, 2, 3 증착 공정에서 증착되는 각 반사 방지막은 실리콘 질화막(SiNx), 실리콘 산화막(SiOx) 및 실리콘 질화산화막(SiNxOy) 중 어느 하나를 포함하는 태양 전지 제조 방법
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제9 항에 있어서,상기 제1, 2, 3 증착 공정에서 증착되는 각 반사 방지막은 실리콘 질화막(SiNx)을 포함하고,상기 제1, 2, 3 증착 공정에서의 각 공정 가스는 실란(SiH4) 가스, 암모니아(NH3) 가스 및 질소(N2) 가스를 포함하는 태양 전지 제조 방법
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제10 항에 있어서,상기 제2, 3 증착 공정에서의 실란(SiH4) 가스량(a) 대 암모니아(NH3) 가스량(b)의 비(a/b)는 상기 제1 증착 공정에서의 실란(SiH4) 가스량(a) 대 암모니아(NH3) 가스량(b)의 비(a/b)보다 작은 태양 전지 제조 방법
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제10 항에 있어서,상기 제2, 3 증착 공정에서의 질소(N2) 가스량(c) 대 실란(SiH4) 가스량(a)의 비(c/a)는 상기 제1 증착 공정에서의 질소(N2) 가스량(c) 대 실란(SiH4) 가스량(a)의 비(c/a)보다 큰 태양 전지 제조 방법
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제10 항에 있어서,상기 제1, 2, 3 증착 공정에서 공급되는 암모니아(NH3) 가스 및 질소(N2) 가스의 양은 각각 동일하고,상기 제2, 3 증착 공정에서의 실란(SiH4) 가스량은 상기 제1 증착 공정에서의 실란(SiH4) 가스량보다 작은 태양 전지 제조 방법
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제13 항에 있어서,상기 제2, 3 증착 공정에서의 실란(SiH4) 가스량은 상기 제1 증착 공정에서의 실란(SiH4) 가스량보다 200sccm ~ 400sccm 작은 태양 전지 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 제1 증착 공정이 복수 번 수행된 이후, 상기 제2 증착 공정이 수행되는 태양 전지 제조 방법
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