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태양전지 제조 장치 및 태양전지 제조 방법

기술번호 : KST2015068682
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	실시예에 따른 태양전지 제조 장치는, 소스 주입부를 포함하는 챔버; 상기 챔버 내에 위치하는 필터부; 상기 챔버 내에 위치하는 기판 지지부; 상기 기판 지지부를 가열하는 제 1 가열 부재; 및 상기 필터부를 가열하는 제 2 가열 부재를 포함한다.실시예에 따른 태양전지 제조 방법은, 기판 상에 구리(Cu)-인듐(In)-갈륨(Ga) 박막층을 형성하는 단계; 및 상기 기판 상에 셀레늄(Se) 박막층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 셀레늄을 증착하는 단계는, 셀레늄 소스를 챔버 내에 투입하는 단계; 상기 셀레늄 소스가 필터부를 통과하는 단계; 및 상기 셀레늄 소스가 상기 기판 상에 증착하는 단계를 포함한다.
Int. CL	H01L 31/042 (2014.01) H01L 31/18 (2006.01)
CPC	H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01)
출원번호/일자	1020120082273 (2012.07.27)
출원인	엘지이노텍 주식회사
등록번호/일자	10-1349475-0000 (2014.01.02)
공개번호/일자
공고번호/일자	(20140110) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2012.07.27)
심사청구항수	13

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	엘지이노텍 주식회사	대한민국	서울특별시 강서구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	이진우	대한민국	서울 중구
2	권세한	대한민국	서울 중구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	서교준	대한민국	서울특별시 강남구 테헤란로 길, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	엘지이노텍 주식회사		서울특별시 중구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2012.07.27	수리 (Accepted)	1-1-2012-0602089-13
2	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2013.04.29	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0294968-19
3	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2013.06.27	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2013-0578232-72
4	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2013.06.27	수리 (Accepted)	1-1-2013-0578230-81
5	등록결정서 Decision to grant	2013.11.19	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0796144-56
6	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2014.10.27	수리 (Accepted)	4-1-2014-0093826-77
7	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2017.03.08	수리 (Accepted)	4-1-2017-5035901-08
8	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2018.07.18	수리 (Accepted)	4-1-2018-5136723-03
9	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.01.15	수리 (Accepted)	4-1-2020-5011221-01

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 소스 주입부를 포함하는 챔버;상기 챔버 내에 위치하는 필터부;상기 챔버 내에 위치하는 기판 지지부;상기 기판 지지부를 가열하는 제 1 가열 부재; 및상기 필터부를 가열하는 제 2 가열 부재를 포함하는 태양전지 제조 장치
2	2 제 1항에 있어서,상기 필터부는 상기 소스 주입부와 상기 기판 지지부 사이에 위치하는 태양전지 제조 장치
3	3 제 1항에 있어서,상기 필터부는 메쉬(mesh) 형상을 포함하는 태양전지 제조 장치
4	4 제 1항에 있어서,상기 제 2 가열 부재는 상기 필터부의 외주면을 둘러싸는 태양전지 제조 장치
5	5 제 4항에 있어서,상기 제 2 가열 부재는 와이어 형태를 포함하는 태양전지 제조 장치
6	6 제 1항에 있어서,상기 필터부는 흑연을 포함하는 태양전지 제조 장치
7	7 기판 상에 구리(Cu)-인듐(In)-갈륨(Ga) 박막층을 형성하는 단계; 및상기 기판 상에 셀레늄(Se) 박막층을 형성하는 단계를 포함하고,상기 셀레늄을 증착하는 단계는,셀레늄 소스를 챔버 내에 투입하는 단계;상기 셀레늄 소스가 필터부를 통과하는 단계; 및상기 셀레늄 소스가 상기 기판 상에 증착하는 단계를 포함하는 태양전지 제조 방법
8	8 제 7항에 있어서,상기 필터부는 가열 부재를 포함하는 태양전지 제조 방법
9	9 제 8항에 있어서,상기 셀레늄 소스를 챔버 내에 투입하는 단계 이후에,상기 필터부를 상기 가열 부재에 의해 가열하는 단계를 더 포함하는 태양전지 제조 방법
10	10 제 9항에 있어서,상기 필터부는 2500℃ 내지 3000℃로 가열되는 태양전지 제조 방법
11	11 제 8항에 있어서,상기 가열 부재는 상기 필터부의 외주면을 둘러싸는 태양전지 제조 방법
12	12 제 7항에 있어서,상기 필터부는 메쉬 형상을 포함하는 태양전지 제조 방법
13	13 제 7항에 있어서,상기 필터부는 흑연을 포함하는 태양전지 제조 방법

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허 등록번호 표입니다.
특허 등록번호	10-1349475-0000

권리란

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표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20120727 출원 번호 : 1020120082273 공고 연월일 : 20140110 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20131119 청구범위의 항수 : 13 유별 : H01L 31/18 발명의 명칭 : 태양전지 제조 장치 및 태양전지 제조 방법 존속기간(예정)만료일 : 20180103

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 엘지이노텍 주식회사 서울특별시 중구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	552,000 원	2014년 01월 02일	납입
제 4 년분	금 액	326,000 원	2016년 12월 07일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2012.07.27	수리 (Accepted)	1-1-2012-0602089-13
2	의견제출통지서	2013.04.29	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0294968-19
3	[명세서등 보정]보정서	2013.06.27	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2013-0578232-72
4	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2013.06.27	수리 (Accepted)	1-1-2013-0578230-81
5	등록결정서	2013.11.19	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0796144-56
6	출원인정보변경(경정)신고서	2014.10.27	수리 (Accepted)	4-1-2014-0093826-77
7	출원인정보변경(경정)신고서	2017.03.08	수리 (Accepted)	4-1-2017-5035901-08
8	출원인정보변경(경정)신고서	2018.07.18	수리 (Accepted)	4-1-2018-5136723-03
9	출원인정보변경(경정)신고서	2020.01.15	수리 (Accepted)	4-1-2020-5011221-01


기술번호	KST2015068682
자료제공기관	NTB
기술공급기관	LG그룹
기술명	태양전지 제조 장치 및 태양전지 제조 방법
기술개요	실시예에 따른 태양전지 제조 장치는, 소스 주입부를 포함하는 챔버; 상기 챔버 내에 위치하는 필터부; 상기 챔버 내에 위치하는 기판 지지부; 상기 기판 지지부를 가열하는 제 1 가열 부재; 및 상기 필터부를 가열하는 제 2 가열 부재를 포함한다.실시예에 따른 태양전지 제조 방법은, 기판 상에 구리(Cu)-인듐(In)-갈륨(Ga) 박막층을 형성하는 단계; 및 상기 기판 상에 셀레늄(Se) 박막층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 셀레늄을 증착하는 단계는, 셀레늄 소스를 챔버 내에 투입하는 단계; 상기 셀레늄 소스가 필터부를 통과하는 단계; 및 상기 셀레늄 소스가 상기 기판 상에 증착하는 단계를 포함한다.
개발상태
기술의 우수성
응용분야
시장규모 및 동향
희망거래유형
사업화적용실적
도입시고려사항

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