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기판;상기 기판의 제1 면에 위치하며, 이온 주입된 제2 도전성 타입의 불순물을 포함하는 선택적 에미터부; 및상기 선택적 에미터부와 연결되는 제1 전극부를 포함하며,상기 선택적 에미터부는 제1 두께를 갖는 제1 에미터부 및 상기 제1 두께보다 제3 두께만큼 얇은 제2 두께를 갖는 제2 에미터부를 포함하고,상기 제1 전극부는 상기 제2 에미터부와 접촉하며,상기 제1 에미터부는 고농도 도핑부로 형성되고, 상기 제2 에미터부는 고농도 도핑부로 형성된 상기 제1 에미터부의 상부 표면이 상기 제3 두께만큼 제거되어 형성되고,상기 제2 에미터부의 상부 표면 불순물 농도는 상기 제1 에미터부의 상부 표면 불순물 농도보다 높으며,상기 제1 에미터부의 불순물 도핑 농도는 상기 제1 에미터부의 상부 표면으로부터 멀어질수록 점차적으로 증가하다가 점차적으로 감소하는 태양전지
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삭제
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삭제
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제1항에 있어서,상기 제2 에미터부의 불순물 도핑 농도는 상기 제2 에미터부의 상부 표면으로부터 멀어질수록 점차적으로 증가하다가 점차적으로 감소하거나, 상기 제2 에미터부의 상부 표면으로부터 멀어질수록 점차적으로 감소하는 태양전지
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제4항에서,상기 제1 두께와 상기 제2 두께의 차이인 상기 제3 두께는 상기 제1 에미터부의 불순물 도핑 농도가 점차적으로 증가하는 영역의 두께와 동일한 태양전지
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6
제4항에서,상기 제1 두께와 상기 제2 두께의 차이인 상기 제3 두께는 상기 제1 에미터부의 불순물 도핑 농도가 점차적으로 증가하는 영역의 두께보다 큰 태양전지
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7
제4항에서,상기 제1 두께와 상기 제2 두께의 차이인 상기 제3 두께는 상기 제1 에미터부의 불순물 도핑 농도가 점차적으로 증가하는 영역의 두께보다 작은 태양전지
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8
제1항 및 제4항 내지 제7항 중 어느 한 항에서,상기 제1 에미터부와 제2 에미터부의 하부 표면이 서로 동일한 평면상에 위치하는 태양전지
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9
제1 두께를 갖는 제1 에미터부 및 상기 제1 두께보다 얇은 제2 두께를 갖는 제2 에미터부를 포함하는 선택적 에미터부를 기판의 제1 면에 형성하는 단계; 및상기 제2 에미터부와 연결된 제1 전극부를 형성하는 단계를 포함하고,상기 선택적 에미터부를 형성하는 단계는,이온 주입법을 이용하여 상기 기판의 제1 면에 불순물을 이온 주입한 후, 상기 불순물을 활성화(activation) 시켜, 제1 두께를 갖는 제1 에미터부를 형성하는 단계; 및상기 제1 전극부가 위치하는 영역의 상기 제1 에미터부를 에치백 하여, 상기 제1 두께보다 얇은 제2 두께를 갖는 제2 에미터부를 형성하는 단계를 포함하는 태양전지의 제조 방법
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10
제9항에서,상기 제1 에미터부는 불순물 도핑 농도가 상기 제1 에미터부의 깊이 방향으로 점차적으로 증가하다가 점차적으로 감소하도록 형성하는 태양전지의 제조 방법
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11
제10항에서,상기 제2 에미터부는 불순물 도핑 농도가 상기 제2 에미터부의 깊이 방향으로 점차적으로 감소하도록 형성하는 태양전지의 제조 방법
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제11항에서,상기 제2 에미터부를 형성하는 단계에서, 상기 제1 에미터부의 불순물 도핑 농도가 점차적으로 증가하는 영역의 두께와 동일한 두께로 상기 제1 에미터부를 제거하는 태양전지의 제조 방법
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13
제11항에서,상기 제2 에미터부를 형성하는 단계에서, 상기 제1 에미터부의 불순물 도핑 농도가 점차적으로 증가하는 영역의 두께보다 두꺼운 두께로 상기 제1 에미터부를 제거하는 태양전지의 제조 방법
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제11항에서,상기 제2 에미터부를 형성하는 단계에서, 상기 제1 에미터부의 불순물 도핑 농도가 점차적으로 증가하는 영역의 두께보다 작은 두께로 상기 제1 에미터부를 제거하는 태양전지의 제조 방법
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제9항 내지 제14항 중 어느 한 항에서,상기 제2 에미터부를 형성하는 단계는,상기 제1 전극부가 위치하는 영역에 식각 페이스트를 형성하는 단계; 및상기 식각 페이스트에 의해 상기 제1 에미터부를 상기 제1 두께와 상기 제2 두께의 차이만큼 제거하는 단계를 포함하는 태양전지의 제조 방법
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제9항 내지 제14항 중 어느 한 항에서,상기 제2 에미터부를 형성하는 단계는,상기 제1 전극부가 위치하는 영역을 제외한 나머지 영역에 식각 방지막을 형성하는 단계; 및상기 제1 전극부가 위치하는 영역의 상기 제1 에미터부를 상기 제1 두께와 상기 제2 두께의 차이만큼 제거하는 단계를 포함하는 태양전지의 제조 방법
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