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장착구가 상면에 구비된 챔버;상기 챔버 내부에 설치되고, 원료가 용융되는 도가니;상기 장착구에 탈착 가능하게 설치되고, 원료를 상기 도가니로 공급하는 원료공급장치; 및상기 도가니 내부에 위치하고, 상기 원료공급장치로부터 떨어지는 원료를 완충시켜 상기 도가니로 안착시키는 완충부재;를 포함하고,상기 완충부재는,링 형상의 플랜지부와, 상기 플랜지부로부터 하부로 갈수록 직경이 좁아지는 원통 형상의 본체부와, 상기 본체부의 내주면에 구비된 요철부를 포함하는 단결정 성장장치
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제1항에 있어서,상기 완충부재는,상기 본체부의 내주면에 나선형으로 배열된 가이드부를 더 포함하는 단결정 성장장치
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제2항에 있어서,상기 완충부재는,상기 가이드부를 따라 원료가 안내되도록 상기 본체부 내주면을 따라 공기를 불어주는 송풍기를 더 포함하는 단결정 성장장치
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제1항에 있어서,상기 완충부재는 금속재질로 구성된 단결정 성장장치
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제1항에 있어서,상기 완충부재를 수직 방향으로 이동 가능하게 상기 완충부재를 상기 챔버에 매달리도록 설치하는 리프터(lifter);를 더 포함하는 단결정 성장장치
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제5항에 있어서,상기 리프터는,상기 챔버의 원주 방향으로 일정 간격을 두고 적어도 세 지점 이상에서 연결된 복수 개의 케이블과,상기 케이블들과 완충부재 사이에 구비되고, 상기 완충부재를 수평 방향에 대해 설정 각도 범위 내에서 움직일 수 있도록 완충 지지하는 완충 연결부를 포함하는 단결정 성장장치
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 도가니는 원료 공급 시에 회전 구동되는 단결정 성장장치
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 원료공급장치는 원료 공급 시에 회전 구동되는 단결정 성장장치
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 완충부재는 원료 공급 시에 회전 구동되는 단결정 성장장치
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 원료공급장치는,상기 챔버의 장착구에 안착되는 플랜지와,상기 플랜지의 하부에 연장되고, 원료가 채워지는 튜브와,상기 튜브의 하부를 개폐시키는 커버와,상기 커버로부터 수납 가능하게 설치되고, 원료 공급 시에 완충시키도록 펼쳐지는 복수개의 완충핀과,상기 커버 내부에 상기 완충핀들을 접은 상태로 내장시키는 원통 형상의 보관부와,상기 완충핀들과 커버를 순차적으로 작동시키는 개폐부재를 포함하도록 구성되며,상기 커버는 하부로 갈수록 직경이 넓어지는 콘 형상이고,상기 완충핀들은 상기 커버의 외부에서 상기 커버의 최대 직경보다 더 크게 펼쳐지는 단결정 성장장치
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제10항에 있어서,상기 완충핀들은 금속재질로 구성된 단결정 성장장치
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제10항에 있어서,상기 개폐부재는,상기 플랜지 상단에 구비된 캡과,상기 캡과 맞물리는 동시에 상기 커버의 상단과 연결되고, 회전됨에 따라 하향 이동되는 커버 지지대와,상기 커버 지지대를 관통하여 상기 완충핀들의 상단과 연결되고, 상하 이동 가능하게 설치된 완충핀 로드를 포함하는 단결정 성장장치
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제12항에 있어서,상기 완충핀 로드가 상기 지지대 커버에 대해 일정 거리만큼 상하 이동되면, 상기 완충핀 로드와 지지대 커버가 같이 회전될 수 있도록 서로 맞물리게 하는 복수개의 결합용 돌기 및 결합용 돌기가 구비된 단결정 성장장치
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챔버 내부에 구비된 도가니에 원료를 공급하는 단결정 성장장치의 원료공급장치에 있어서,상기 챔버의 장착구에 안착되는 플랜지;상기 플랜지의 하부에 연장되고, 원료가 채워지는 튜브;상기 튜브의 하부를 개폐시키는 커버;상기 커버로부터 수납 가능하게 설치되고, 원료 공급 시에 완충시키도록 펼쳐지는 복수개의 완충핀;상기 커버 내부에 상기 완충핀들을 접은 상태로 내장시키는 원통 형상의 보관부; 및상기 완충핀들과 커버를 순차적으로 작동시키는 개폐부재;를 포함하도록 구성되며, 상기 커버는 하부로 갈수록 직경이 넓어지는 콘 형상이고,상기 완충핀들은 상기 커버의 외부에서 상기 커버의 최대 직경보다 더 크게 펼쳐지는 단결정 성장장치의 원료공급장치
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제14항에 있어서,상기 완충핀들은 금속재질로 구성된 단결정 성장장치의 원료공급장치
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제14항 또는 제15항에 있어서,상기 개폐부재는,상기 플랜지 상단에 구비된 캡과,상기 캡과 맞물리는 동시에 상기 커버의 상단과 연결되고, 회전됨에 따라 하향 이동되는 커버 지지대와,상기 커버 지지대를 관통하여 상기 완충핀들의 상단과 연결되고, 상하 이동 가능하게 설치된 완충핀 로드를 포함하는 단결정 성장장치의 원료공급장치
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제16항에 있어서,상기 완충핀 로드가 상기 지지대 커버에 대해 일정 거리만큼 상하 이동되면, 상기 완충핀 로드와 지지대 커버가 같이 회전될 수 있도록 서로 맞물리게 하는 복수개의 결합용 돌기 및 결합용 돌기가 구비된 단결정 성장장치의 원료공급장치
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챔버 내부에 구비된 도가니에 원료를 공급하는 단결정 성장장치의 원료공급방법에 있어서,상기 챔버에 원료가 담긴 원료공급장치를 장착하는 제1단계;상기 원료공급장치로부터 원료를 낙하시키기 전에 부딪힐 수 있는 완충핀들을 펼치는 제2단계; 및상기 원료공급장치로부터 낙하하는 원료를 완충시켜 상기 도가니로 공급하는 제3단계;를 포함하는 단결정 성장장치의 원료공급방법
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제18항에 있어서,상기 제3단계는,상기 원료공급장치로부터 낙하하는 원료를 상기 도가니 내측에 위치한 완충부재에 부딪혀 완충시키는 과정과,상기 완충부재를 따라 원료가 상기 도가니로 공급되는 과정을 포함하는 단결정 성장장치의 원료공급방법
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제19항에 있어서,상기 제3단계에서 상기 원료공급장치의 중심축을 기준으로 상기 완충부재와 원료공급장치와 도가니 중 적어도 하나를 회전시키는 단결정 성장장치의 원료공급방법
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