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유리 기판의 표면에 금속 나노 입자로 구성된 금속 마스크를 생성하는 단계; 및상기 금속 마스크가 생성된 유리 기판을 가스로 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조를 포함하는 유리 기판의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 가스는 플루오린(fluorine) 계열의 가스 중의 하나, 플루오린(fluorine) 계열의 가스 중의 적어도 두개의 가스의 혼합 가스, 및 상기 하나 또는 상기 혼합 가스에 첨가 가스가 혼합된 가스 중 하나인 것을 특징으로 하는 나노 구조를 포함하는 유리 기판의 제조 방법
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제 2항에 있어서,상기 첨가 가스는 산소(O2) 및 수소(H2) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조를 포함하는 유리 기판의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 유리 기판을 부식액으로 세정하는 단계를 더 포함하고,상기 부식액은 상기 금속 마스크의 잔류물을 부식시키는 것을 특징으로 하는 나노 구조를 포함하는 유리 기판의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 금속 마스크를 생성하는 단계는,상기 유리 기판의 표면에 금속막을 증착하는 단계;상기 금속막이 증착된 유리 기판의 표면에 비드를 코팅하는 단계;산소 플라즈마로 상기 코팅된 비드를 식각하여 비드 마스크를 생성하는 단계; 및상기 생성된 비드 마스크를 이용하여, 플라즈마로 상기 금속막을 에칭하여 상기 금속 마스크를 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조를 포함하는 유리 기판의 제조 방법
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제 5항에 있어서,상기 증착된 금속막은 크롬 박막인 것을 특징으로 하는 나노 구조를 포함하는 유리 기판의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 금속 마스크를 생성하는 단계는,상기 유리 기판의 표면에 비드를 코팅하는 단계;산소 플라즈마로 상기 코팅된 비드를 식각하여 비드 마스크를 생성하는 단계;상기 비드 마스크가 생성된 유리 기판의 표면에 금속막을 증착하는 단계; 및상기 비드 마스크를 이용하여, 플라즈마로 상기 증착된 금속막을 에칭하여 상기 금속 마스크를 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조를 포함하는 유리 기판의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 금속 마스크를 생성하는 단계는,상기 유리 기판의 표면에 금속을 증착하는 단계; 및상기 증착된 금속을 열 처리하여, 상기 금속 마스크를 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조를 포함하는 유리 기판의 제조 방법
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영상을 표시하는 디스플레이 패널; 및상기 디스플레이 패널의 전단에 배치되는 유리 기판을 포함하고,상기 유리 기판의 표면에 직접적인 나노 구조가 형성되어, 상기 디스플레이 패널로부터 상기 유리 기판으로 입사된 광의 투과율을 높이는 것을 특징으로 하는 디스플레이
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제 9항에 있어서,상기 유리 기판의 나노 구조의 홀은 금속 나노 입자로 구성된 금속 마스크 사이의 틈을 통과한 가스에 의해 식각된 것을 특징으로 하는 디스플레이
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제 10항에 있어서,상기 금속 마스크는 상기 유리 기판에 증착된 금속 박막을 열 처리하여 생성된 것을 특징으로 하는 디스플레이
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제 10항에 있어서,상기 금속 마스크는 비드 마스크를 사이의 틈을 통과한 플라즈마(Plasma)에 의해 에칭되어 생성된 것을 특징으로 하는 디스플레이
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유리 기판에 있어서,상기 유리 기판의 일면에 직접적인 나노 구조를 포함하고,상기 나노 구조의 홀은 금속 나노 입자로 구성된 금속 마스크 사이의 틈을 통과한 가스에 의해 식각된 것을 특징으로 하는 유리 기판
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유리 기판의 표면에 금속 나노 입자로 구성된 금속 마스크를 생성하는 단계; 및상기 금속 마스크가 생성된 유리 기판을 가스로 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조를 포함하는 유리 기판을 포함하는 디스플레이의 제조 방법
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제 14항에 있어서,상기 식간된 유리 기판을 상기 디스플레이의 보호 유리 기판으로 상기 디스플레이에 장착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판을 포함하는 디스플레이의 제조 방법
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