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마스크리스 노광장치 및 노광방법

  • 기술번호 : KST2015069324
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판에 형성되는 패턴에 대한 그래픽 데이터 시스템 파일로부터 K개(K는 2 이상 정수)의 데이터 파일을 생성하여 출력하는 N개(N은 2 이상 정수)의 파일 생성부; N개의 파일 생성부로부터 출력된 K개의 데이터 파일을 하나로 병합하여 출력하는 파일 병합부; 파일 병합부에 의해 병합된 데이터 파일을 전송하는 파일 전송부; 파일 전송부로부터 병합된 데이터 파일을 수신하는 파일 수신부; 및 파일 수신부로부터 병합된 데이터 파일을 제공받는 마이크로미러 소자부를 포함하는 마스크리스 노광장치를 제공한다.
Int. CL G03F 7/20 (2006.01.01)
CPC G03F 7/70383(2013.01) G03F 7/70383(2013.01) G03F 7/70383(2013.01) G03F 7/70383(2013.01) G03F 7/70383(2013.01)
출원번호/일자 1020120118550 (2012.10.24)
출원인 엘지디스플레이 주식회사, 엘지전자 주식회사
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0052449 (2014.05.07) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.10.18)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
2 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문동희 대한민국 경기 파주시 쇠재로 **,
2 전덕찬 대한민국 경북 구미시
3 신영훈 대한민국 경기도 평택시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인로얄 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로 ***, *층(서초동,서일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
2 엘지전자 주식회사 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2012-0868612-53
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2017.10.18 수리 (Accepted) 1-1-2017-1028172-03
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.11.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.12.07 수리 (Accepted) 9-1-2018-0066667-35
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.02.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0118139-21
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.04.18 수리 (Accepted) 1-1-2019-0401701-07
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.04.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0401702-42
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2019.08.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0566065-82
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2019.08.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-0895851-33
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2019-0895850-98
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2019.09.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0675754-55
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판에 형성되는 패턴에 대한 그래픽 데이터 시스템 파일로부터 K개(K는 2 이상 정수)의 데이터 파일을 생성하여 출력하는 N개(N은 2 이상 정수)의 파일 생성부;상기 N개의 파일 생성부로부터 출력된 K개의 데이터 파일을 하나로 병합하여 출력하는 파일 병합부;상기 파일 병합부에 의해 병합된 데이터 파일을 전송하는 파일 전송부;상기 파일 전송부로부터 상기 병합된 데이터 파일을 수신하는 파일 수신부; 및상기 파일 수신부로부터 상기 병합된 데이터 파일을 제공받는 마이크로미러 소자부를 포함하고,상기 파일 생성부는 상기 K개의 데이터 파일 각각에 대한 식별번호를 각 데이터 파일의 헤더에 부여하여 비트맵(Bitmap) 형태로 생성하고,상기 파일 병합부는 상기 식별번호와 비트맵 인덱스를 기반으로 상기 K개의 데이터 파일이 비중첩하도록 병합하는 마스크리스 노광장치
2 2
제1항에 있어서,상기 파일 병합부는상기 K개의 데이터 파일이 모두 수신되면 상기 K개의 데이터 파일을 상기 식별번호 순으로 정렬한 후 하나로 병합하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광장치
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 파일 병합부는상기 K개의 데이터 파일을 저장하는 파일 저장부를 포함하고,상기 파일 병합부는상기 비트맵 인덱스를 사용하여 상기 파일 저장부에 저장된 상기 K개의 데이터 파일의 식별번호 순으로 병합하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광장치
5 5
제1항에 있어서,상기 파일 전송부와 상기 파일 수신부는광파이버 통신 방식으로 파일을 송수신하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광장치
6 6
제1항에 있어서,상기 파일 수신부는저전압 차등신호(LVDS) 방식으로 상기 병합된 데이터 파일을 상기 마이크로미러 소자부에 제공하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광장치
7 7
기판에 형성되는 패턴에 대한 그래픽 데이터 시스템 파일로부터 마이크로미러 소자부를 온/오프하는 K개(K는 2 이상 정수)의 데이터 파일을 생성하는 데이터 파일 생성 단계;상기 K개의 데이터 파일을 하나로 병합하는 파일 병합 단계; 및병합된 데이터 파일을 이용하여 마이크로미러 소자부를 온/오프하며 상기 기판을 노광하는 기판 노광 단계를 포함하고,상기 파일 생성 단계는 상기 K개의 데이터 파일 각각에 대한 식별번호를 각 데이터 파일의 헤더에 부여하여 비트맵(Bitmap) 형태로 생성하고,상기 파일 병합 단계는 상기 식별번호와 비트맵 인덱스를 기반으로 상기 K개의 데이터 파일이 비중첩하도록 병합하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광방법
8 8
제7항에 있어서,상기 파일 생성 단계는상기 K개의 데이터 파일이 모두 수신되면 상기 K개의 데이터 파일을 상기 식별번호 순으로 정렬한 후 하나로 병합하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광방법
9 9
삭제
10 10
제7항에 있어서,상기 파일 병합 단계는상기 비트맵 인덱스를 사용하여 상기 K개의 데이터 파일의 식별번호 순으로 병합하는 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광방법
11 11
삭제
12 12
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.