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이종 기판, 질화물 반도체 발광 소자 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015069549
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요약 본 발명은 발광 소자에 관한 것으로 특히, 이종 기판, 질화물 반도체 발광 소자 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 이러한 본 발명은, 실리콘 반도체를 포함하는 기판; 상기 기판 상에 위치하는 버퍼층; 상기 버퍼층 상에 위치하고, 질화물 반도체를 포함하는 제 1반도체층; 상기 질화물계 반도체층 상에 위치하고 제 1도핑 농도를 가지는 제 1전도성의 질화물 반도체를 포함하는 제 2반도체층; 및 상기 제 1반도체층과 제 2반도체층 사이에 위치하고, 적어도 한 층의 응력 보상층 및 상기 제 1도핑 농도와 같거나 낮은 제 2도핑 농도를 가지는 제 1전도성의 질화물 반도체를 포함하는 적어도 한 층의 제 3반도체층을 포함하는 응력 제어 구조를 포함하여 구성될 수 있다.
Int. CL H01L 33/02 (2014.01) H01L 33/32 (2014.01) H01L 33/12 (2014.01)
CPC
출원번호/일자 1020120123637 (2012.11.02)
출원인 엘지전자 주식회사, 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0057033 (2014.05.12) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.09.04)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
2 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이호준 대한민국 대구 중구
2 전기성 대한민국 서울 서초구
3 이계진 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)
2 박영복 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 서울특별시 영등포구
2 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2012-0901819-16
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
6 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2017.09.04 수리 (Accepted) 1-1-2017-0855328-70
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.09.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0855327-24
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0223903-04
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2018-0537998-04
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.05.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0537996-13
12 등록결정서
Decision to grant
2018.06.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0421948-36
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
실리콘 반도체를 포함하는 기판;상기 기판 상에 위치하는 버퍼층;상기 버퍼층 상에 위치하고, 질화물 반도체를 포함하는 제 1반도체층; 상기 질화물 반도체를 포함하는 제 1반도체층 상에 위치하고 제 1도핑 농도를 가지는 제 1전도성의 질화물 반도체를 포함하는 제 2반도체층; 및 상기 제 1반도체층과 제 2반도체층 사이에 위치하고, 서로 교번하여 위치하는 복수의 응력 보상층 및 상기 제 1도핑 농도와 같거나 낮은 제 2도핑 농도를 가지는 제 1전도성의 질화물 반도체를 포함하는 복수의 제 3반도체층을 포함하는 응력 제어 구조를 포함하여 구성되고,상기 복수의 제 3반도체층의 제 2도핑 농도는, 상기 제 2반도체층에 가까워질수록 높아지는 것을 특징으로 하는 이종 기판
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1항에 있어서, 상기 제 2도핑 농도는 제 1도핑 농도의 15% 내지 90%의 범위를 갖는 것을 특징으로 하는 이종 기판
5 5
제 1항에 있어서, 상기 실리콘 반도체는 {111} 결정면을 가지는 것을 특징으로 하는 이종 기판
6 6
제 1항에 있어서, 상기 버퍼층은 AlN 또는 AlGaN을 포함하는 것을 특징으로 하는 이종 기판
7 7
제 6항에 있어서, 상기 버퍼층의 Al 조성은, 상기 기판에서 멀어질수록 작아지는 것을 특징으로 하는 이종 기판
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
삭제
12 12
삭제
13 13
도전성 지지층;상기 도전성 지지층 상에 위치하는 결합 금속층;상기 결합 금속층 상에 위치하는 제 1전극;상기 제 1전극 상에 위치하고, 제 1전도성의 질화물 반도체를 포함하는 제 1반도체층;상기 제 1반도체층 상에 위치하는 활성층;상기 활성층 상에 위치하고, 제 1도핑 농도를 가지는 제 2전도성의 질화물 반도체를 포함하는 제 2반도체층;상기 제 2반도체층 상에 위치하며, 적어도 한 층의 응력 보상층 및 상기 제 1도핑 농도보다 낮은 제 2도핑 농도를 가지는 질화물 반도체를 포함하는 적어도 한 층의 제 3반도체층을 포함하는 응력 제어 구조; 및상기 응력 제어 구조의 적어도 일부에 형성된 광 추출 구조를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 질화물 반도체 발광 소자
14 14
제 13항에 있어서, 상기 응력 제어 구조는, 서로 교번하여 위치하는 복수의 응력 보상층 및 복수의 제 3반도체층을 포함하는 것을 특징으로 하는 질화물 반도체 발광 소자
15 15
제 13항에 있어서, 상기 제 2도핑 농도는 제 1도핑 농도의 15% 내지 90%의 범위를 갖는 것을 특징으로 하는 질화물 반도체 발광 소자
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP02728629 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 EP02728629 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 EP02728629 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
4 US09680055 US 미국 FAMILY
5 US20140124804 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP2728629 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
2 EP2728629 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
3 EP2728629 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
4 US2014124804 US 미국 DOCDBFAMILY
5 US9680055 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.