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플렉서블 엑스레이 디텍터의 제조 방법 및 플렉서블 엑스레이 디텍터를 갖는 방사선 검출 장치
- 기술번호 : KST2015069566
- 담당센터 : 부산기술혁신센터
- 전화번호 : 051-606-6561
| 요약 | 본 발명은, 플렉서블 엑스레이 디텍터의 제조 방법 및 플렉서블 엑스레이 디텍터를 갖는 방사선 검출 장치로서, 엑스레이 디텍터의 제조 방법에 있어서, 선택적 에칭을 위한 희생층이 형성된 보조 기판의 상부에 복수개의 픽셀형 이미지 센서를 배열하여 형성시키고, 그 상부에 PDMS(PolyDimethylsiloxane)를 접착한 후 에칭을 통해 상기 보조 기판을 제거하여 상기 복수개의 픽셀형 이미지 센서가 배열된 PDMS 스탬프를 제조하는 이미지 센서 배열 단계; 섬광체를 함유한 폴리머 수지를 이용하여 유연 기판을 준비하고, 상기 유연 기판의 상부에 복수개의 전극 라인을 형성시키는 메인 기판 제조 단계; 상기 유연 기판의 복수개의 전극 라인에 상기 복수개의 픽셀형 이미지 센서가 대응되어 연결되도록 상기 유연 기판의 상부에 상기 이미지 센서가 배열된 상기 PDMS 스탬프를 결합시키는 결합 단계; 및 상기 PDMS 스탬프를 제거하여 상기 유연 기판의 상부에 이미지 센서가 형성된 엑스레이 디텍터 제조 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 엑스레이 디텍터의 제조 방법. 및 이를 통해 제조된 플렉서블 엑스레이 티텍터를 갖는 방사선 검출 장치이며, 이와 같은 본 발명에 의하면 엑스레이 영상의 외각부가 흐리거나 번지는 현상을 제거하고 또한 영상이 왜곡되는 현상을 제거함으로써 더욱 선명하고 정확한 영상을 시현시키는 방사선 검출 장치를 제공할 수 있게 된다. |
|---|---|
| Int. CL | H01L 27/14 (2006.01) A61B 6/00 (2006.01) G01T 1/24 (2006.01) |
| CPC | H01L 27/14658(2013.01) H01L 27/14658(2013.01) H01L 27/14658(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020120134283 (2012.11.26) |
| 출원인 | 한국전기연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-1420250-0000 (2014.07.10) |
| 공개번호/일자 | 10-2014-0067257 (2014.06.05) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20140717) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2012.11.26) |
| 심사청구항수 | 6 |